[年报]捷佳伟创(300724):2021年年度报告

时间：2022年04月27日 00:54:59 中财网

原标题:捷佳伟创:2021年年度报告

深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
2021年年度报告
2022-036
2022年 04月
第一节 重要提示、目录和释义
公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

公司负责人余仲、主管会计工作负责人金晶磊及会计机构负责人(会计主管人员)蒋红声明：保证本年度报告中财务报告的真实、准确、完整。

所有董事均已出席了审议本报告的董事会会议。

公司存在光伏政策变动风险、市场竞争逐渐加剧的风险、技术研发风险、经营规模持续扩张引致的管理风险、存货规模较大风险、对外担保的偿付风险、重大疫情、自然因素等不可抗力风险、募集资金投资项目实施风险详细内容详见本报告第三节“管理层讨论与分析”中“十一、公司未来发展的展望”部分，敬请广大投资者注意投资风险。

公司经本次董事会审议通过的利润分配预案为：以 348,277,595股为基数，向全体股东每 10股派发现金红利 1.80元（含税），送红股 0股（含税），以资本公积金向全体股东每 10股转增 0股。

目录
第一节 重要提示、目录和释义 ....................................................................................................... 2
第二节 公司简介和主要财务指标 ................................................................................................... 7
第三节 管理层讨论与分析 ............................................................................................................. 11
第四节 公司治理.............................................................................................................................. 56
第五节 环境和社会责任 ................................................................................................................. 80
第六节 重要事项.............................................................................................................................. 82
第七节 股份变动及股东情况 ....................................................................................................... 140
第八节 优先股相关情况 ............................................................................................................... 149
第九节 债券相关情况 ................................................................................................................... 150
第十节 财务报告............................................................................................................................ 151
备查文件目录
（一）载有法定代表人签名的年度报告文本；
（二）载有公司负责人、主管会计工作负责人、会计机构负责人签名并盖章的财务报表； （三）载有会计师事务所盖章、注册会计师签名并盖章的审计报告原件； （四）报告期内在中国证监会指定网站上公开披露过的所有公司文件的正本及公告的原稿； （五）其他有关资料；
以上备查文件在置备地点：公司董事会办公室。

释义

释义项	指	释义内容
本公司、公司、捷佳伟创	指	深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
捷佳有限	指	深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司，公司前身
深圳捷佳创、捷华德亿	指	深圳市捷佳创精密设备有限公司，2012年 4月更名为深圳市捷华德亿 精密设备有限公司
常州捷佳创	指	常州捷佳创精密机械有限公司
湖北弘元	指	湖北弘元光伏科技有限公司，湖北天合光能有限公司前身
湖北天合	指	湖北天合光能有限公司
深圳创翔	指	深圳市创翔软件有限公司，于 2022年 1月完成注销
捷佳创智能	指	常州捷佳创智能装备有限公司
捷佳汇业	指	常州捷佳汇业投资合伙企业（有限合伙），于 2021年 11月完成注销
佳创鼎业	指	常州佳创鼎业投资合伙企业（有限合伙），2019年 8月更名为常州佳 创鼎业创业投资合伙企业（有限合伙），于 2021年 11月完成注销
恒兴伟业	指	深圳市恒兴业投资合伙企业（有限合伙），2021年 8月更名为平潭恒 兴伟业投资合伙企业（有限合伙）
弘兴远业	指	深圳市弘兴远业投资合伙企业（有限合伙），2021年 11月更名为厦门 市弘兴远业投资合伙企业（有限合伙）
鼎兴伟业	指	深圳市鼎兴伟业投资合伙企业（有限合伙），2021年 8月更名为平潭 鼎兴伟业投资合伙企业（有限合伙）
富海银涛	指	深圳市富海银涛叁号投资合伙企业（有限合伙），2021年 3月更名为 珠海横琴富海银涛叁号股权投资基金合伙企业（有限合伙）
捷佳创科技	指	S.Cテクノロジー株式会社（捷佳创科技有限责任公司）
KPI	指	クアトロンプラス株式会社（Kuatron Plus Inc.）
临汾伟创	指	临汾伟创光伏新能源有限公司，于 2020年 12月完成注销
泰州捷佳创	指	泰州捷佳创精密装备有限公司
创微微电子	指	创微微电子（常州）有限公司
《公司法》	指	《中华人民共和国公司法》
《证券法》	指	《中华人民共和国证券法》
半导体掺杂沉积光伏设备	指	扩散设备及 PECVD设备等
湿法工艺光伏设备	指	清洗设备、制绒设备和刻蚀设备等
HIT、HJT	指	Heterojunction with Intrinsic Thinlayer，异质结太阳电池
TOPCon	指	Tunnel Oxide Passivated Contact，隧穿氧化层钝化接触
报告期	指	2021年 1月 1日至 2021年 12月 31日

第二节 公司简介和主要财务指标
一、公司信息

股票简称	捷佳伟创	股票代码	300724
公司的中文名称	深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
公司的中文简称	捷佳伟创
公司的外文名称（如有）	Shenzhen S.C New Energy Technology Corporation
公司的外文名称缩写（如有	S.C
公司的法定代表人	余仲
注册地址	深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路 62号一层至六层
注册地址的邮政编码	518118
公司注册地址历史变更情况	公司上市时注册地址为深圳市龙岗区横岗街道横坪公路 89号涌鑫工业厂区 3号厂房第 1层 4号厂房第 1、2、4、5层及 5号厂房第 1层，2019年 5月 6日变更为深圳市坪山区龙田街道 竹坑社区金牛东路 62号一层至六层
办公地址	深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路 62号一层至六层
办公地址的邮政编码	518118
公司国际互联网网址	http://www.chinasc.com.cn
电子信箱	[email protected]

二、联系人和联系方式

	董事会秘书	证券事务代表
姓名	谭湘萍	褚秀梅
联系地址	深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东 路 62号一层至六层	深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东 路 62号一层至六层
电话	0755-81449633	0755-81449633
传真	0755-81449990	0755-81449990
电子信箱	[email protected]	[email protected]

三、信息披露及备置地点

公司披露年度报告的证券交易所网站	《证券时报》、《证券日报》
公司披露年度报告的媒体名称及网址	http://www.cninfo.com.cn
公司年度报告备置地点	公司董事会办公室

四、其他有关资料
公司聘请的会计师事务所

会计师事务所名称	容诚会计师事务所（特殊普通合伙）
会计师事务所办公地址	厦门火炬高新区软件创新大厦 A区 14楼 a单元 19室
签字会计师姓名	李建彬、连益民、叶亚萍

公司聘请的报告期内履行持续督导职责的保荐机构
√ 适用 □ 不适用

保荐机构名称	保荐机构办公地址	保荐代表人姓名	持续督导期间
中信建投证券股份有限公司	北京市东城区朝阳门内大街 2 号凯恒中心 B座 9层	周百川、潘庆明	2020年 11月 19日-2023年 12 月 31日

公司聘请的报告期内履行持续督导职责的财务顾问
□ 适用 √ 不适用
五、主要会计数据和财务指标
公司是否需追溯调整或重述以前年度会计数据
□ 是 √ 否

	2021年	2020年	本年比上年增减	2019年
营业收入（元）	5,047,209,787.16	4,044,249,652.71	24.80%	2,527,163,536.21
归属于上市公司股东的净利润 （元）	717,399,875.37	523,027,422.77	37.16%	381,913,420.05
归属于上市公司股东的扣除非经 常性损益的净利润（元）	660,883,989.59	470,988,507.69	40.32%	352,615,618.40
经营活动产生的现金流量净额 （元）	1,349,496,089.09	333,765,090.50	304.33%	-254,268,048.66
基本每股收益（元/股）	2.12	1.63	30.06%	1.19
稀释每股收益（元/股）	2.12	1.63	30.06%	1.19
加权平均净资产收益率	14.30%	18.66%	-4.36%	16.01%
	2021年末	2020年末	本年末比上年末增减	2019年末
资产总额（元）	12,782,945,386.56	9,283,432,461.47	37.70%	6,666,074,645.35
归属于上市公司股东的净资产 （元）	6,202,409,268.02	3,036,163,328.03	104.28%	2,552,252,348.60

公司最近三个会计年度扣除非经常性损益前后净利润孰低者均为负值，且最近一年审计报告显示公司持续经营能力存在不确
定性
□ 是 √ 否
扣除非经常损益前后的净利润孰低者为负值
□ 是 √ 否
六、分季度主要财务指标
单位：元

	第一季度	第二季度	第三季度	第四季度
营业收入	1,177,039,946.47	1,446,507,803.84	1,121,520,497.30	1,302,141,539.55
归属于上市公司股东的净利润	211,308,759.62	246,528,899.78	141,658,972.64	117,903,243.33
归属于上市公司股东的扣除非经 常性损益的净利润	197,740,324.67	226,839,822.53	134,838,351.09	101,465,491.30
经营活动产生的现金流量净额	297,985,291.29	248,302,690.30	8,892,188.57	794,315,918.93

上述财务指标或其加总数是否与公司已披露季度报告、半年度报告相关财务指标存在重大差异 □ 是 √ 否
七、境内外会计准则下会计数据差异
1、同时按照国际会计准则与按照中国会计准则披露的财务报告中净利润和净资产差异情况 □ 适用 √ 不适用
公司报告期不存在按照国际会计准则与按照中国会计准则披露的财务报告中净利润和净资产差异情况。

2、同时按照境外会计准则与按照中国会计准则披露的财务报告中净利润和净资产差异情况 □ 适用 √ 不适用
公司报告期不存在按照境外会计准则与按照中国会计准则披露的财务报告中净利润和净资产差异情况。

八、非经常性损益项目及金额
√ 适用 □ 不适用
单位：元

项目	2021年金额	2020年金额	2019年金额	说明
非流动资产处置损益（包括已计提资产减 值准备的冲销部分）	1,027,337.19	-157,822.93	-331,341.80
计入当期损益的政府补助（与公司正常经 营业务密切相关，符合国家政策规定、按 照一定标准定额或定量持续享受的政府补 助除外）	50,872,556.27	43,474,783.56	18,388,550.50
除同公司正常经营业务相关的有效套期保 值业务外，持有交易性金融资产、交易性 金融负债产生的公允价值变动损益，以及 处置交易性金融资产交易性金融负债和可 供出售金融资产取得的投资收益	10,293,337.05	3,528,760.65	9,113,520.43
单独进行减值测试的应收款项减值准备转	5,731,327.13	13,059,008.20	6,013,940.18
回
除上述各项之外的其他营业外收入和支出	-1,391,231.13	1,416,918.89	1,316,389.13
减：所得税影响额	10,017,383.04	9,214,735.84	5,183,160.81
少数股东权益影响额（税后）	57.69	67,997.45	20,095.98
合计	56,515,885.78	52,038,915.08	29,297,801.65	--

其他符合非经常性损益定义的损益项目的具体情况：
□ 适用 √ 不适用
公司不存在其他符合非经常性损益定义的损益项目的具体情况。

将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第 1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益项目
的情况说明
□ 适用 √ 不适用
公司报告期不存在将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第 1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定
为经常性损益的项目的情形。

第三节 管理层讨论与分析 一、报告期内公司所处行业情况 （一）行业所属分类 根据中国证监会《上市公司行业分类指引》的分类标准，公司所在行业为大类“C 制造业”中的专用设备制造业，行业分 类代码为C35； 根据国家统计局《国民经济行业分类》（GB/T4754-2017），晶体硅太阳能电池生产设备行业属于光伏设备及元器件制 造（行业代码：C3825）行业，隶属于太阳能光伏行业。 主要产品包括PECVD及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒、全自动丝网印刷设备等晶体硅太 阳能电池生产工艺流程中的主要及配套自动化设备、智能车间系统以及高端显示、先进半导体的湿法、炉管类设备研发、制 造和销售。 （二）公司所属行业发展情况 1、全球光伏行业情况 近年来，随着国际社会对保障能源安全、保护生态环境、应对气候变化等问题日益重视，许多国家已将可再生能源作为 新一代能源技术的战略制高点和经济发展的重要新领域，其中太阳能光伏发电是可再生能源利用的重要组成部分之一。随着 产业技术的逐步成熟与进步，在经历震荡、调整后，在经济高速发展、政府政策支持和技术进步等众多因素的驱动下，全球 太阳能光伏发电新增装机容量持续增加，随着平价上网的实现，光伏行业的发展从政策驱动向内生动力驱动转变，太阳能光 伏发电将在能源消费中占据重要的席位，不但能替代部分常规能源，而且有望发展成为能源供应的主体。 根据国际能源署分析，预计到2030年全球新增装机容量将达到660GW，到2050 年，近90%的发电来自可再生能源，风能 和太阳能光伏发电合计占近70%，其余大部分来自核电。从2030 年到2050 年，每年将增加600GW的太阳能光伏，电力部门 将是最早实现净零排放的部门，主要原因包括成本低、政策支持广泛，以及一系列成熟的可再生能源技术。首先是太阳能光 伏：它是大多数市场上最便宜的电力新来源，并在 130 多个国家有政策支持。 全球已有多个国家提出了“零碳”或“碳中和”的气候目标，发展以光伏为代表的可再生能源已成为全球共识，再加上光伏 发电在越来越多的国家成为最有竞争力的电源形式，预计全球光伏市场将持续高速增长。2021 年，全球光伏新增装机预计 或将达到170 GW，创历史新高。未来，在光伏发电成本持续下降和全球绿色复苏等有利因素的推动下，全球光伏新增装机 仍将快速增长。在多国“碳中和”目标、清洁能源转型及绿色复苏的推动下，预计“十四五”期间，全球光伏年均新增装机将超 过220GW。根据中国光伏行业协会预测，全球光伏年度新增装机规模、新增规模预测如下图所示： 2011-2021 年全球光伏年度新增装机规模以及 2022-2030 年新增规模预测（单位：GW）来源：中国光伏行业协会CPIA
2、国内光伏行业情况 我国太阳能光伏产业虽起步略晚，但受惠于全球光伏行业的发展，凭借良好的产业配套优势、人力资源优势、成本优势 以及国家的大力扶持政策，充分利用国外市场要素，通过自主创新与引进消化吸收再创新相结合，逐步形成了具有我国自主 特色的光伏产业技术体系，并在世界光伏产业的快速发展中，扮演了非常重要的角色。近年来，随着我国加快能源结构的优 化调整，在政策推动和光伏发电成本下降的利好之下，光伏装机容量将持续攀升。据中国光伏行业协会统计，2021年，国内 光伏新增装机54.88GW，同比增加13.9%，其中，分布式光伏装机29.28GW，占全部新增光伏发电装机的53.4%，历史上首次 突破50%。2021 年户用装机达21.6GW，创历史新高，占2021 年我国新增光伏装机的39.4%。根据中国光伏行业协会预测， 国内光伏年度新增装机规模、新增规模预测如下图所示： 2011-2021 年国内光伏年度新增装机规模以及2022-2030 年新增规模预测（单位：GW）来源：中国光伏行业协会CPIA

根据中国光伏行业协会的预测，在“十四五”期间，我国光伏年均新增光伏装机或将在70GW-90GW之间，为达成2030年
碳达峰，2060年前实现碳中和，光伏行业将成为长期处于高速发展的新能源行业之一，2026年我国光伏发电行业累计装机量
可能在673GW-793GW之间。

技术进步成为加速光伏行业发展的重要推动力，自2015年我国启动光伏“领跑者”计划以来，通过鼓励建设先进光伏发电
技术示范基地、新技术应用示范工程等，促进先进光伏技术和产品的应用，为推动光伏产业技术进步、成本下降和产业转型
升级等起到了积极作用。随着上网电价的持续下降，太阳能电池的转换效率持续提升，成本持续下降，电池行业的集中度也
不断提升，行业从同质化竞争向注重高效化转变。目前，我国先进晶体硅电池技术发展呈现多样化以及迭代加速的趋势，背
面钝化（PERC）技术已发展成为高效电池的主流，并向大尺寸和智能化发展；随着PERC技术发展成熟，在降本提效方面较
难有进一步突破，2021年TOPCon、HJT等一批高效晶硅电池工艺技术在围绕着降本提效不断进行技术创新，在转换效率方
面不断刷新纪录，引领着全球新技术发展。行业内众多电池片厂家也开始纷纷布局TOPCon产线，带动TOPCon技术路线加
速产业化。此外，受技术迭代加快、2021年行业内各产业链供需失衡等因素的影响，光伏行业各环节集中度进一步提升，从
同质化竞争向注重高效化、一体化转变，高效低成本成为了技术主流，我国光伏产业已具备了技术、规模、成本、人才的全
球竞争优势。

随着行业的不断壮大及成熟，补贴退坡的加速及平价上网的实现，开发高效电池，降低度电成本即降本增效进一步成为
行业发展的趋势和主流方向，而太阳能电池生产设备的技术水平和稳定性是提高电池转换效率，降低太阳能度电成本的重要
因素。目前，我国光伏电池设备制造企业通过工艺与装备的创新融合，以提高设备产能、智能化程度及转换效率为目标，同
时适应大硅片生产，已具备了成套工艺设备及自动化设备的供应能力，实现了设备国产替代，并在国际竞争中处于优势地位。

随着光伏行业持续增长、电池技术迭代加速、电池转换效率不断提升以及制造成本加速降低的背景下，太阳能电池设备行业
向高效化、高产能化和智能化的竞争转变，设备行业技术水平不断提升，市场需求持续增加，作为光伏高效路线重要环节的
光伏设备行业将迎来新的发展机遇。

（三）周期性特点
由于太阳能发电的绿色、环保和节能，包括中国在内的世界各国都在执行或准备出台各种鼓励政策，大力发展太阳能
光伏产业，鼓励技术进步和电池转换率的提升，积极推动太阳能行业降本提效。目前光伏发电在许多国家和地区已实现了“平
价上网”，国内光伏应用已逐步采用不依赖国家补贴的市场化的持续发展模式。因此，作为光伏行业重要的配套产业，太阳
能电池设备行业将保持一段较长时期的景气周期。随着光伏电池生产技术迭代较快，电池片技术进步带来了新一轮技术周期，
公司也在各个技术路线下通过创新推出了产能更大，效率更高的设备，也加快了光伏行业的更新周期。

（四）行业相关政策及影响
1、行业主管监管体制和行业主管部门
太阳能光伏行业涉及国民经济的多个领域，主要接受以下政府部门及行业组织的直接监督管理： （1）国家发展和改革委员会、国家能源局和工业和信息化部
国家发展和改革委员会是我国政府负责接纳及批准清洁发展项目的主管机构，其职责为：负责起草电价管理的相关法律
法规或规章、电价调整政策，制定电价调整的国家计划或确定全国性重大电力项目的电价；负责拟订清洁能源发展规划；推
动清洁能源等高技术产业发展，实施技术进步和产业现代化的宏观指导；指导引进的重大技术和重大成套装备的消化创新工
作。

国家能源局及地方政府投资主管部门负责光伏发电项目的核准。国家能源局的主要职责包括：研究提出能源发展战略、
政策，研究拟定发展规划，研究提出能源体制改革的建议，推进能源可持续发展战略的实施，组织可再生能源和新能源的开
发利用，指导能源节约、能源综合利用和环境保护工作。

工业和信息化部主要职责为拟订并组织实施工业行业规划、产业政策和标准；监测工业行业日常运行；推动重大技术装
备发展和自主创新。

（2）行业监管组织
新能源发电行业全国性自律组织主要有中国循环经济协会可再生能源专业委员会、中国可再生能源学会等。公司是中国
可再生能源协会的会员，接受相关行业自律协会的指导。同时，公司也是中国电子专用设备工业协会会员。中国电子专用设
备工业协会是全国性工业行业协会，其上级业务主管部门是工业和信息化部。另外公司是中国光伏行业协会会员单位，主要
由民政部批准成立、工业和信息化部为业务主管单位的国家一级协会。

2、主要法律法规及政策
为实现碳达峰碳中和目标，2021年至今国家先后出台了一系列鼓励和促进行业健康发展的政策，主要如下：

日期	发文机关	文件	具体内容
2021年3月		《中华人民共和国国民经 济和社会发展第十四个五 年规划和2035年远景目标 纲要》	推进能源革命，建设清洁低碳、安全高效的能源体系，提高 能源供给保障能力。加快发展非化石能源，坚持集中式和分 布式并举，大力提升风电、光伏发电规模，加快发展东中部 分布式能源，有序发展海上风电，加快西南水电基地建设， 安全稳妥推动沿海核电建设，建设一批多能互补的清洁能源 基地，非化石能源占能源消费总量比重提高到20%左右。
2021年5月	国家能源局	《关于2021年风电、光伏发 电开发建设有关事项的通 知》	推动风电、光伏发电高质量跃升发展。2021年，全国风电、 光伏发电发电量占全社会用电量的比重达到11%左右，后续 逐年提高，确保2025年非化石能源消费占一次能源消费的比 重达到20%左右。2021年户用光伏发电项目国家财政补贴预 算额度为5亿元。
2021年6月	国家能源局综合 司	《关于报送整县（市、区 屋顶分布式光伏开发试点 方案的通知》。	开展整县（市、区）屋顶分布式光伏建设，项目申报试点县 （市、区）的党政机关建筑屋顶总面积可安装光伏发电比例 不低于50%；学校、医院、村委会等公共建筑屋顶总面积可 安装光伏发电比例不低于40%；工商业厂房屋顶总面积可安 装光伏发电比例不低于30%；农村居民屋顶总面积可安装光
			伏发电比例不低于20%。
2021年9月	中共中央 国务院	《关于完整准确全面贯彻 新发展理念做好碳达峰碳 中和工作的意见》	实施可再生能源替代行动，大力发展风能、太阳能、生物质 能、海洋能、地热能等，不断提高非化石能源消费比重。坚 持集中式与分布式并举，优先推动风能、太阳能就地就近开 发利用。构建以新能源为主体的新型电力系统，提高电网对 高比例可再生能源的消纳和调控能力。 到2030年，经济社会发展全面绿色转型取得显著成效，重点 耗能行业能源利用效率达到国际先进水平。单位国内生产总 值能耗大幅下降；单位国内生产总值二氧化碳排放比2005年 下降65%以上；非化石能源消费比重达到25%左右，风电、 太阳能发电总装机容量达到12亿千瓦以上。
2021年10月	国务院	《关于印发2030年前碳达 峰行动方案的通知》	全面推进风电、太阳能发电大规模开发和高质量发展，坚持 集中式与分布式并举，加快建设风电和光伏发电基地。加快 智能光伏产业创新升级和特色应用，创新“光伏+”模式，推 进光伏发电多元布局。到2030年，风电、太阳能发电总装机 容量达到12亿千瓦以上。深化可再生能源建筑应用，推广光 伏发电与建筑一体化应用。到2025年，城镇建筑可再生能源 替代率达到8%，新建公共机构建筑、新建厂房屋顶光伏覆盖 率力争达到50%。
2021年12月	国资委	《关于推进中央企业高质 量发展做好碳达峰碳中和 工作的指导意见》	优化非化石能源发展布局，不断提高非化石能源业务占比。 完善清洁能源装备制造产业链，支撑清洁能源开发利用。全 面推进风电、太阳能发电大规模、高质量发展，因地制宜发 展生物质能，探索深化海洋能、地热能等开发利用。坚持集 中式与分布式并举，优先推动风能、太阳能就地就近开发利 用，加快智能光伏产业创新升级和特色应用。
2021年12月	工业和信息化部	《“十四五”工业绿色发展 规划》	发展大尺寸高效光伏组件、大功率海上风电装备、氢燃料燃 气轮机、 超高压氢气压缩机、高效氢燃料电池、一体化商 用小型反应堆等新能源装备。推动智能光伏创新升级和行业 特色应用。
2022年1月	工业和信息化部 住房和城乡建设 部、交通运输部 农业农村部、国家 能源局	《智能光伏产业创新发展 行动计划（2021-2025年）	到2025年，光伏行业智能化水平显著提升，产业技术创新取 得突破。新型高效太阳能电池量产化转换效率显著提升，形 成完善的硅料、硅片、装备、材料、器件等配套能力。智能 光伏产业生态体系建设基本完成，与新一代信息技术融合水 平逐步深化。智能制造、绿色制造取得明显进展，智能光伏 产品供应能力增强。
2022年1月	国家发展改革委 国家能源局	《关于完善能源绿色低碳 转型体制机制和政策措施 的意见》	完善能源绿色低碳转型科技创新激励政策。探索以市场化方 式吸引社会资本支持资金投入大、研究难度高的战略性清洁 低碳能源技术研发和示范项目。采取“揭榜挂帅”等方式组织 重大关键技术攻关，完善支持首台（套）先进重大能源技术 装备示范应用的政策，推动能源领域重大技术装备推广应 用。强化国有能源企业节能低碳相关考核，推动企业加大能 源技术创新投入，推广应用新技术，提升技术水平。
2022年3月	国家能源局	《2022年能源工作指导意 见》	非化石能源占能源消费总量比重提高到17.3%左右，新增电 能替代电量1800亿千瓦时左右，风电、光伏发电发电量占全 社会用电量的比重达到12.2%左右。
2022年3月	国家发展改革委 财政部、中国人民 银行、银保监会 国家能源局	《关于引导加大金融支持 力度 促进风电和光伏发电 等行业健康有序发展的通 知》	大力发展可再生能源是推动绿色低碳发展、加快生态文明建 设的重要支撑，是应对气候变化、履行我国国际承诺的重要 举措，我国实现2030年前碳排放达峰和努力争取2060年前碳 中和的目标任务艰巨，需要进一步加快发展风电、光伏发电 生物质发电等可再生能源。采取措施缓解可再生能源企业困 难，促进可再生能源良性发展，是实现应对气候变化目标， 更好履行我国对外庄重承诺的必要举措。各地政府主管部 门、有关金融机构要充分认识发展可再生能源的重要意义， 合力帮助企业渡过难关，支持风电、光伏发电、生物质发电 等行业健康有序发展。
2022年4月	国家能源局、科学 技术部	《“十四五”能源领域科技 创新规划》	从聚焦大规模高比例可再生能源开发利用方面，提出了新型 光伏系统及关键部件技术、高效钙钛矿电池制备与产业化生 产技术、高效低成本光伏电池技术、光伏组件回收处理与再 利用技术等太阳能发电及利用技术。

此外，国务院、各部委还从电价、电力市场交易、可再生能源电力消纳、储能、项目建设管理等各方面出台相关政策，
积极推动光伏产业发展。

3、行业政策的影响
2021年是“十四五”开局之年，在中国经济新发展格局下，由“高碳能源”转型到“绿色低碳能源”也成为能源产业变革的必
由之路。围绕着碳中和碳达峰这一目标，国家相继出台了推动光伏产业发展的相关政策，鼓励光伏行业技术创新，发展高效
低成本光伏电池技术，从提升非石化能源占比、发展分布式电站、规范电力交易市场和项目建设管理、大力发展储能、推动
可再生能源电力消纳、加大金融支持力度等各方面，为光伏行业持续、健康、快速发展提供了政策引导和支持。光伏行业将
迎来持续向好的发展前景。

（五）公司所处的行业地位
公司在太阳能电池设备生产领域，行业地位突出。公司作为太阳能电池设备的领先企业，主要根据下游客户的需求提供
满足下游客户技术需求的设备解决方案，包括PERC、TOPCon、HJT、HBC、IBC、钙钛矿等技术的设备，公司在各电池技
术路线上都进行了设备技术的布局，并且在TOPCon、HJT等新一代技术路线上推出了在降本或增效上具有优势的差异化设
备产品；同时公司顺应产品技术发展路径向半导体设备领域延伸，探索在半导体领域中创新性的应用，实现产业结构的优化，
提升公司在相关领域的自主创新能力和研发水平，推进新产品研发和技术创新，力争发展成为国际领先的新能源、半导体专
用设备服务提供商、系统解决方案集成商。根据中国电子专用设备工业协会统计，公司主营产品销售收入、利税连续4年位
列中国电子专用设备行业前十名单位。

二、报告期内公司从事的主要业务
（一）公司的主要业务情况
公司是一家国内领先的从事晶体硅太阳能电池设备研发、生产和销售的国家高新技术企业。主要产品包括PECVD及扩
散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要
及配套自动化设备、智能车间系统以及高端显示、先进半导体的湿法、炉管类设备研发、制造和销售。

（二）公司的经营模式
1、采购模式
公司的采购模式为“以销定产、以产定购”。公司签订销售合同后，由技术部门根据客户需求设计出图纸和采购计划，
所需炉机柜、机箱、五金件等部分结构类材料和部分零部件根据图纸向合格供应商定制加工，其他原材料、电子元器件等标
准件直接向市场采购。

2、生产模式
公司生产的产品属于专用设备，采用以销定产的生产模式，根据客户订单及定制化需求，公司产品采用模块化设计及组
装，功能模块可独立运行，也可将多个模块组装为整机。公司在生产过程中通过标准件外购和结构件外协加工的形式完成模
块和整机的组装，在满足客户定制化需求的同时，提高了生产效率，同时也可以保障公司交付设备质量的一致性和稳定性。

3、销售模式
公司作为专用设备的厂商，采取直销模式，即公司直接与最终用户或最终用户指定方签署合同和结算货款，并负责设备
的安装调试和售后服务。

4、盈利模式
公司凭借自身的技术研发实力和良好的信誉，通过技术创新持续研发适用于新技术路线下的新产品，并不断改进现有产
品质量，向客户提供性能稳定、品质可靠的晶体硅太阳能电池生产设备，并通过提供优质的技术服务支持为产品销售提供保
障，从而获得收入并实现盈利。

（三）报告期内主要的业绩驱动因素
我国光伏行业持续增长为我国太阳能电池设备市场发展营造了良好的市场环境。在行业技术进步、电池转换效率提高
以及制造成本加速降低的背景下，作为光伏高效路线重要环节的光伏设备行业将迎来新的发展机遇。同时国家出台了旨在促
进先进光伏技术产品应用和产业升级，加强光伏产品和工程质量管理的一系列政策与措施，为光伏设备市场发展营造了良好
的市场环境和发展空间，公司紧紧围绕“高效化、国际化、智能化、多元化”的发展战略，在光伏PERC、TOPCon、HJT、钙
钛矿等各技术路线上及半导体领域加强技术创新和新产品的研发，向客户提供性能稳定、品质可靠的设备，并通过提供优质
的技术服务支持为产品销售提供保障，从而获得收入并实现盈利。报告期内，公司实现营业收入504,720.98万元，同比增长
24.80%；归属于母公司所有者的净利润71,739.99万元，同比增长37.16%。

三、核心竞争力分析
在帮助客户降低晶体硅电池生产成本、提高电池转换效率的同时，公司在技术研发、自主创新、产品与服务等方面逐渐
形成了突出的核心竞争优势，积累了行业内主流客户资源，拥有了良好的市场口碑和较高的品牌知名度。

1、研发创新能力优势
公司建立了健全的研发体系，同时全面推进“产学研”一体化建设，将设备研发与电池制造工艺研发紧密结合，以满足
太阳能电池生产企业对提高转换效率和降低生产成本的需求。公司自成立以来，不断进行技术和产品创新，丰富产品规格种
类，推动先进晶体硅太阳能电池工艺技术的发展进程，具有较强的技术研发实力。截止2021年12月31日，公司已取得专利428
项，其中发明专利45项。2021年，公司获得“深圳市知识产权优势单位”、“广东省知识产权示范企业”，公司一种低压扩散炉
炉门封闭装置获得“中国专利优秀奖”。由江苏大学、天合光能、常州大学和常州捷佳创协同创新、联合攻关的“高效低成本
晶硅太阳能电池表界面制造关键技术及应用”项目荣获“国家技术发明奖二等奖”。

2、技术优势
公司一直专注于晶体硅太阳能电池生产设备的技术与工艺研发，积累了丰富的行业应用经验，通过持续的技术与产品
创新，掌握了多项具备独创性的核心工艺技术。持续的技术研发和丰富的技术储备使公司主要产品在技术和质量水平上达到
国际先进水平。公司产品凭借高性价比优势迅速占领市场，并得到了用户的充分肯定和国内外同行的认可，产品已广泛应用
于国内外知名太阳能电池制造企业，市场占有率较高。公司作为太阳能电池设备的领先企业，在PERC、TOPCon、HJT等技
术路线上进行了全面布局，并且推出了具有优势的差异化设备产品；同时公司顺应产品技术发展路径向半导体设备领域延伸，
利用自身在光伏行业丰富的技术积累和人才储备，以及引进优秀的国内外技术团队，探索在半导体领域中创新性的应用，实
现产业结构的优化，提升公司在相关领域的自主创新能力和研发水平，推进新产品研发和技术创新，确保公司在半导体设备
领域取得突破。

3、客户资源优势
凭借在技术研发、产品性能、服务质量方面的综合优势，公司与主流的晶体硅太阳能电池生产企业建立了长期合作关
系。同时，公司通过与国内外主流企业的合作，促进公司研发生产技术的不断创新和产品性能的持续提高。

4、个性化定制的技术服务优势
公司采取以销定产的生产模式，能够针对不同客户的技术需求进行个性化设计和定制，最大程度地满足不同客户的差
异化产品技术需求，并致力于提供高水准的服务，同时公司售后技术服务体系健全，专业化程度高，响应速度快，还能提供
生产线的高水平工艺技术、生产管理支持等增值服务项目，为客户项目顺利生产提供支持。

5、管理优势
公司的技术和管理团队均具有多年电子专用设备、光伏设备领域的从业经验，特别是部分核心技术及管理骨干长期以
来一直从事电子专用设备的研究和制造，在太阳能电池生产线上工作多年，对下游客户的需求、设备的工艺性能和国内外的
技术均作了深入研究和积累。在生产管理上，公司应用“工时计件制”，将设备制造整个过程进行标准化、流程化作业，实现
“人动机不动”的特殊流水线作业模式，大幅提高了设备制造效率并降低了制造成本，实现了“快而不乱”、“大而不乱”的规模
化生产，有效提高了生产能力并保障了产品质量稳定。

6、区域优势
公司及子公司地处工业发达的珠三角地区及长三角地区，是我国装备业的重要生产基地。该地区零部件加工厂商众多，
供应链各环节发展成熟，为公司生产提供了充分的保障。良好的区域发展环境使得公司能专注于提升研发实力与巩固核心竞
争优势，有利于公司以较低成本采购高质量的原材料，也节省了公司的运输及人工成本。

四、主营业务分析
1、概述
（一）公司经营业绩情况
2021年国内外形势复杂多变，新冠疫情依然在全球蔓延扩散，世界经济艰难复苏，中美等国际贸易摩擦不断，全球供应
链受阻问题突出，大宗商品价格持续上涨，对全球经济发展有着深远影响。随着全球对清洁能源发展的支持力度不断加大，
2021年全球光伏新增装机容量或将达170GW再创新高；2021年光伏产业围绕着降本增效的技术变革关注度不断提高，电池
技术发展方向不明确，对于下游厂商的扩线步伐有所延缓；同时虽然受到行业内供需关系失衡导致硅料等原材料价格不断上
涨， 2021年国内新增装机容量同比仍然增长了13.9%。公司积极应对国内外经济和行业环境的新形势和新挑战，抓住行业变
革契机，持续通过技术创新强化核心竞争力，努力提升公司技术服务的能力和产品的质量，同时拓展新产品新业务，积极开
拓国内外市场，稳步推进各项业务的开展，使得2021年经营业绩持续稳步上升。2021年度，公司实现营业收入504,720.98万
元，比去年同期增长24.80%；归属于母公司所有者的净利润71,739.99万元，同比增长37.16%。截至报告期末，公司总资产
1,278,294.54万元，同比增长37.70%；归属于母公司所有者权益620,240.93万元，同比增长104.28%。

（二）研发情况
报告期内，公司研发投入23,781.55万元，比去年同期增长24.38%。公司在产品和技术保持国内领先的基础上，不断加
大对技术研究和新产品开发的资源投入，推进高效电池片设备的研发，从而持续保持并提升在国内光伏设备行业中的技术领
先地位。

随着降本增效进一步成为光伏制造环节的发展方向，行业技术升级以及技术更替进一步加快，公司为积极应对市场和技
术的变化，以高效率、高产能和智能化为研发方向，在新技术路线上全面布局，陆续升级并推出适应电池生产新工艺生产技
术的高效、高产能的设备。

在TOPCon技术路线上公司已具备整线设备交付能力，核心设备PE-Poly和硼扩散设备已成功交付客户量产运行，LPCVD
也在客户端得到了验证，其中PE-Poly实现了隧穿层、Poly层、原位掺杂层的“三合一”制备，不仅解决了传统TOPCon电池生
产过程中绕镀、能耗高、石英件高损耗的固有难点，而且大大缩短了原位掺杂工艺时间，提高了生产效率，有效提升TOPCon
的转换效率和良率，进一步加快TOPCon电池的大规模产业化。

在HJT技术路线上，公司为满足新设备、新材料、新工艺的验证，打造高效HJT技术全流程交钥匙解决方案，在下属子
公司常州捷佳创建立了HJT中试线，并于2021年7月HJT中试线高效电池首片下线。伴随着首片下线，HJT制绒、非晶硅镀膜、
TCO、丝网印刷等四道工序的主机及自动化全线贯通，该项目所有工艺设备及自动化设备由公司自主研发，具有完全知识产
权，标志着公司HJT电池技术和设备研发再上新台阶。公司创新性的管式PECVD已进入工艺匹配和量产化定型；公司自主研
发的PAR持续优化，稳定性能，助力异质结再创新高，其转换效率的显著优势已在客户端得到了充分的验证。

在钙钛矿电池技术路线上，公司RPD设备取得了钙钛矿中试线的订单，同时钙钛矿的整线设备也进入了研发阶段。

在半导体设备领域，公司全资子公司创微微电子自主开发了6吋、8吋、12吋湿法刻蚀清洗设备，包括有篮和无篮的槽式
设备及单片设备，涵盖多种前道湿法工艺，实现了公司从光伏装备领域向半导体装备领域的战略上的拓展。

（三）知识产权布局及技术创新荣誉
公司持续加大研发创新力度，同时结合研发项目提前布局做好知识产权保护。截至2021年末，集团公司已取得专利428
项，其中发明专利45项、实用新型专利360项、外观设计专利23项。在软件著作权方面，也同步申请了知识产权保护。

公司凭借突出的研发成果，获得了各项荣誉。2021年，由江苏大学、天合光能、常州大学和常州捷佳创协同创新、联合
攻关的“高效低成本晶硅太阳能电池表界面制造关键技术及应用”项目荣获国家技术发明奖二等奖”，这是国家对光伏制造领
域重大原理创新及技术突破的最高肯定，是光伏领跑新能源，推动“双碳”目标大跨步前进的重大荣誉。公司发明专利“一种
低压扩散炉炉门密封装置”获得第二十二届中国专利优秀奖；在2021年的“太阳谷”国际论坛“异质结产业创新颁奖”环节中，
公司荣获“异质结设备国产化技术突破大奖”；公司“高效晶体硅太阳能电池低成本制造关键技术及装备”获得教育部高等学校
科技研究优秀成果奖一等奖；公司“高性能氧化锌透明电极制备关键技术及LED芯片应用” 和“管式等离子体增强化学气相沉
积系列设备关键技术创新及产业化”项目获得广东省科技进步奖二等奖；公司“高效晶体硅N型双面太阳电池组件关键技术及
产业化”获得江苏省科技奖二等奖；公司“管式低压扩散炉系列设备关键技术研发及产业化”和“晶体硅太阳能电池片智能制造
车间系统研发及产业化项目”项目获得深圳市科技进步奖二等奖，至此，公司主营产品均获得政府科学技术奖励，是对公司
产品技术的认可。2021年，常州捷佳创精密机械有限公司获得国家专精特新“小巨人”企业称号。2021年，公司获批组建广东
省高效晶体硅太阳能电池设备制造工程技术研究中心，还荣获广东省知识产权示范企业，荣获深圳市知识产权优势单位。各
项荣誉既是对公司研发创新成果的肯定，亦是公司研发创新的动力。公司始终围绕着降本增效这一行业目标，在设备端通过
研发创新不断推出适应于市场和客户需求的新产品。

（四）积极开拓业务发展，全方位夯实市场战略
2021年在国际贸易摩擦、新冠疫情及供需失衡导致的硅料价格上涨等因素的影响下，对行业造成了一定的冲击，特别是
对下游电池片和组件企业的投产扩产计划有所延缓。面对复杂的市场环境，公司积极开拓国内外市场，继续保持领先的市场
优势；在夯实国内市场的同时，公司在海外市场实现了HJT设备在欧洲市场的突破，同时向国际市场积极拓展TOPCon、大
尺寸PERC整线交钥匙业务；在半导体装备领域，公司的半导体清洗设备实现了交付，并取得行业主流客户的重复性批量定
单。

（五）加强生产精益管理和品质管控，保障公司产品质量核心竞争力 公司不断加强制造团队建设，通过 “分布式仓库+模块化”完善供应链和仓储的物料管理，确保生产物料在能够及时供应，
缩短交货周期，提升产品制造交付能力。同时全方位加强了供应链的管理，通过引入考核淘汰机制，实现供应商的优胜劣汰
和提质增效。完善供应商的准入制度，健全了采购工作规范，对供应商的开发、准入、评价考核均形成了一套规范化的管理
机制。产品质量是客户满意度的第一关，公司重视物料源头管理，从供应商来料开始严格把控物料质量，在制程与设备终检
时更是采取质量问题“零容忍”的原则。此外，公司严格按照ISO9001的质量管理体系有效运作。为了公司产品更好的出口海
外，更是将多类产品申请通过了CE认证。

2、收入与成本
（1）营业收入构成
营业收入整体情况
单位：元

	2021年		2020年		同比增减
	金额	占营业收入比重	金额	占营业收入比重
营业收入合计	5,047,209,787.16	100%	4,044,249,652.71	100%	24.80%
分行业
太阳能电池生产设 备	5,047,209,787.16	100.00%	4,044,249,652.71	100.00%	24.80%
分产品
工艺设备	4,200,116,718.62	83.22%	3,425,420,914.67	84.70%	22.62%
自动化配套设备	682,170,767.39	13.52%	471,294,050.00	11.65%	44.74%
配件	164,922,301.15	3.27%	147,534,688.04	3.65%	11.79%
分地区
境内	4,762,892,908.63	94.37%	3,477,751,538.87	85.99%	36.95%
境外	284,316,878.53	5.63%	566,498,113.84	14.01%	-49.81%
分销售模式
直销	5,047,209,787.16	100.00%	4,044,249,652.71	100.00%	24.80%

（2）占公司营业收入或营业利润 10%以上的行业、产品、地区、销售模式的情况 √ 适用 □ 不适用
单位：元

	营业收入	营业成本	毛利率	营业收入比上年 同期增减	营业成本比上年 同期增减	毛利率比上年同 期增减
分行业
太阳能电池生产 设备	5,047,209,787.16	3,805,769,632.26	24.60%	24.80%	27.90%	-1.83%
分产品
工艺设备	4,200,116,718.62	3,098,737,159.25	26.22%	22.62%	21.99%	0.38%
自动化设备	682,170,767.39	618,162,174.67	9.38%	44.74%	67.82%	-12.46%
分地区
境内	4,762,892,908.63	3,630,631,628.74	23.77%	36.95%	41.93%	-2.67%
境外	284,316,878.53	175,138,003.52	38.40%	-49.81%	-58.06%	12.11%
分销售模式
直销	5,047,209,787.16	3,805,769,632.26	24.60%	24.80%	27.90%	-1.83%

公司主营业务数据统计口径在报告期发生调整的情况下，公司最近 1年按报告期末口径调整后的主营业务数据 □ 适用 √ 不适用
（3）公司实物销售收入是否大于劳务收入
√ 是 □ 否

行业分类	项目	单位	2021年	2020年	同比增减
太阳能电池生产设 备	销售量	管/台	7,427	6,608	12.39%
	生产量	管/台	6,945	6,154	12.85%
	库存量	管/台	222	155	43.23%
	出货量	管/台	6,878	6,082	13.09%

相关数据同比发生变动 30%以上的原因说明
√ 适用 □ 不适用
随着行业高速发展，电池技术迭代加快，公司订单保持良好态势，产品市场反应良好，因疫情影响出货进度，导致库存量增
加。

（4）公司已签订的重大销售合同、重大采购合同截至本报告期的履行情况 √ 适用 □ 不适用
已签订的重大销售合同截至本报告期的履行情况
√ 适用 □ 不适用
单位：万元

合同标 的

对方当 事人

合同总 金额

合计已 履行金 额

本报告 期履行 金额

待履行 金额

本期确 认的销 售收入 金额

累计确 认的销 售收入 金额

应收账 款回款 情况

是否正 常履行

影响重 大合同 履行的 各项条 件是否 发生重 大变化

是否存 在合同 无法履 行的重 大风险

合同未 正常履 行的说 明

工艺设 备、自动 化配套 设备等

通威股 份及通 威子公 司

97,926.9 6

97,446.7 8

41,177.0 8

39,977.7 5

86,236.0 9

85,235.5 3

是

否

否

不适用

已签订的重大采购合同截至本报告期的履行情况
□ 适用 √ 不适用
（5）营业成本构成
产品分类
产品分类
单位：元

产品分类	项目	2021年		2020年		同比增减
		金额	占营业成本比重	金额	占营业成本比重
太阳能电池生产 设备	直接材料	3,221,902,021.47	84.66%	2,560,170,081.77	86.04%	25.85%
太阳能电池生产	人工成本	149,541,026.45	3.93%	120,657,155.85	4.05%	23.94%
设备
太阳能电池生产 设备	制造费用	345,456,286.00	9.08%	227,696,581.27	7.65%	51.72%
配件	直接材料	88,870,298.34	2.34%	67,028,020.20	2.25%	32.59%
合计		3,805,769,632.26	100.00%	2,975,551,839.09	100.00%	27.90%

说明
报告期内，公司太阳能电池生产设备营业成本占比增长主要系随营业收入增长占比较去年同期有较大增长所致。成本各项目
占比无重大变化。

（6）报告期内合并范围是否发生变动
√ 是 □ 否
2021年11月常州捷佳创精密机械有限公司在江苏新设全资子公司苏州创微激光科技有限公司。新设子公司经营范围为技术服
务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广、激光打标加工，电子专用设备制造，光电子器件制造，其他电
子器件制造，光电子器件销售；技术进出口。

（7）公司报告期内业务、产品或服务发生重大变化或调整有关情况 □ 适用 √ 不适用
（8）主要销售客户和主要供应商情况
公司主要销售客户情况

前五名客户合计销售金额（元）	2,859,725,567.15
前五名客户合计销售金额占年度销售总额比例	56.66%
前五名客户销售额中关联方销售额占年度销售总额比 例	0.00%

公司前 5大客户资料

序号	客户名称	销售额（元）	占年度销售总额比例
1	客户一	944,867,384.35	18.72%
2	客户二	646,096,109.51	12.80%
3	客户三	476,916,542.77	9.45%
4	客户四	412,815,422.00	8.18%
5	客户五	379,030,108.52	7.51%
合计	--	2,859,725,567.15	56.66%

主要客户其他情况说明
□ 适用 √ 不适用
公司主要供应商情况

前五名供应商合计采购金额（元）	659,160,462.75
前五名供应商合计采购金额占年度采购总额比例	18.72%
前五名供应商采购额中关联方采购额占年度采购总额 比例	0.00%

公司前 5名供应商资料

序号	供应商名称	采购额（元）	占年度采购总额比例
1	供应商一	259,599,026.65	7.37%
2	供应商二	160,099,114.98	4.55%
3	供应商三	92,455,642.13	2.63%
4	供应商四	76,945,268.15	2.19%
5	供应商五	70,061,410.84	1.99%
合计	--	659,160,462.75	18.72%

主要供应商其他情况说明
□ 适用 √ 不适用
3、费用
单位：元

	2021年	2020年	同比增减	重大变动说明
销售费用	71,360,732.74	80,783,230.34	-11.66%	无重大变化
管理费用	101,510,433.40	85,792,741.20	18.32%	无重大变化
财务费用	-6,763,077.41	52,098,390.06	-112.98%	主要系报告期利息收入增加以及汇 率波动导致
研发费用	237,815,520.37	191,207,829.68	24.38%	主要系研发投入增加所致

4、研发投入
√ 适用 □ 不适用

主要研发项目名称	项目目的	项目进展	拟达到的目标	预计对公司未来发展的影响
DOA-420扩散氧化 退火炉研发	2019年 8月，中环股份 发布了 M12大尺寸硅 片，其边长 210mm，对 角 295mm，相比 M2硅 片表面积提升了 80.5% 同时，其他厂家也已经 在布局推出大尺寸硅 片。为了紧跟市场趋势 为了更好的服务硅片制 造企业，我司开展满足 大尺寸硅片的 DOA-420	量产阶段	1、设备高度：3.91米内； 2、石英管内径：420MM； 3、每管产能：最大 1200片 （3.2槽距）； 4、工艺温度：870℃； 5、工艺压力：50~150mbar	对公司当时扩散炉设备进行 升级，提升产品性能及竞争 力。
	扩散氧化退火炉研发， 充分满足客户的需求。
小型线性连续生产 反应式等离子体镀 膜设备 （RPD1000A）	本项目研发小型线性连 续生产反应式等离子体 镀膜设备，可用于制备 TCO膜，金属膜与介电 材料等，应用在发光二 极管（LED）的透明导 电金属膜（TCO）的制 备。线性 RPD其特色为 可连续不间断的蒸镀高 质量 TCO薄膜，故其开 机时间、产能及量产稳 定性皆高于行业标准。 目前 LED产业的 TCO 层也是使用类似 RPD技 术，属于批次性 RPD， 己知其每台设备每小时 产能约为 72片，半线性 RPD其产能初估为其 5 倍以上，故线性 RPD不 论产能，生产成本及可 自动化程度，可完全打 败及取代现行批次生产 模式的 RPD，彻底蹎覆 LED产业。	研发完成	1、镀膜宽度：323mm; 2、温度条件：镀膜前基板预 热 200℃，60秒； 3、镀膜厚度：100nm，±5% 单一托盘内膜厚均匀性， ±5%单一循环托盘间平均膜 厚均匀性； 4、面电阻： 100nm：＜40ohn/sq. 60nm：＜120ohn/sq. 30nm：＜240ohn/sq. 5、穿透率：400~700nm波长 范围平均穿透率（仅 ITO膜 质):60nm：＞74%，30nm： ＞84%； 6、托盘生产节拍：242.9秒 （镀膜厚度 100nm）； 7、托盘传输速度：镀膜区： 13.2mm/sec（镀膜厚度 100nm）非镀膜区： 450mm/sec（max.） 8、托盘尺寸：宽 660mm×长 520mm。	拓展公司产品线，开展 LED 行业新的应用市场。
HJT中试线设计和 监督建设实施	HJT技术路线成为下一 代电池技术的主要方向 之一，目前正处在量产 阶段高速发展初期，组 建 HJT中试线有助于我 司进行 HJT整线工艺技 术的掌握和整线设备完 善。使我司拥有的整线 技术交付能力，可以快 速地占领国内外市场。	中试线运行	项目拟建一条 250MWHJT 电池中试线。实现如下指标 1、硅片适用尺寸 166-210mm 2、具备整片和半片电池制造 能力 3、制绒产能：8000片/H 4、PECVD产能：3000片/H （具备升级 6000空间和能 力） 5、PAR产能：6000片/H 6、印刷两条单轨，一条整片 一条半片。单轨产能 3000片 /H（按照整片计算） 7、电池转换效率和良品率行 业领先水平。	整合公司 HJ T 整线工艺和设 备，进行 HJT中试线运行， 保证公司核心设备研发进程 和整线交付能力，提高 HJT 电池市场竞争力。
LD-420A型管式 LPCVD设备研发	本设备主要用于晶体硅 太阳能电池制造中	研发完成	1、设备外形尺寸：9.31 * 2.125 * 3.82米(长*宽*高)；	对公司 LD-360A型 LPCVD 设备进行升级，提升产品性
（右手机）	TOPCon电池 Oxide隧 穿层及 Poly-Si层的制 备，原位掺杂。随着行 业的发展，210mm硅片 应用逐渐推广，为适应 大尺寸硅片，开发 LD-420A型 LPCVD设 备研发，以适应市场需 求。		2 炉管数 ：5管； 3、工艺石英管内径：420mm 4、每管装片量：最大 1600 片，2.38槽距（背靠背）； 5、硅片规格：156～210mm 最大硅片规格 210； 6、工艺温度：400～800℃ 7、加热温区数量：8温区， PC+CPU+2自由度智能串级 温度控制器＋8点内、外热 偶控温； 8、恒温区长度及精度：≤±1℃ /2200mm（600℃）； 9、温度斜变能力: 最大可控 升温速率：16℃/min、最大 降温速率：3℃/min；10、温 度稳定性： ±1℃/24h （400～800℃）； 11、工作压力：50～600Pa 范围内可调； 12、压力稳定性：±3Pa； 13、极限真空：≤3Pa； 14、隧穿氧化层厚度：1～ 2nm； 15、 Poly-Si层厚度：80～ 200nm； 16、隧穿氧化层膜厚均匀性 片内均匀性≤5%；片间均匀 性≤5%；批间均匀性≤4%； 17、Poly-Si层膜厚均匀性： 片内均匀性≤4%；片间均匀 性≤7%；批间均匀性≤4%； 18、传送舟：定位精度： ≤±0.5mm，最大承载重量： 40kg。	能及竞争力。
双面镀膜设备 PAR5500A	异质结太阳能电池中透 明导电膜分为正面与背 面透明导电膜，正面透 明导电膜为主要入光 面，需要具备高透光性 与导电性，而背面透明 导电膜主要功能为导 电。如果两面都用高性 能的反应式等离子体镀	研发完成	1、产速：≧5,500片/小时 2、硅片尺寸：G1、M6、M10 M12 3、硅片厚度：≤180μm 4、设备稼动率：≥90% 5、平均透过率：>88% 6、载流子迁移率： ≥80cm2/V·s	降低 HJT 电池设备成本， 有 利于 HJT 产线的应用推广。 巩固公司在高效电池装备领 域的市场地位。
	膜设备（RPD），需要两 台设备与两套自动化， 如此一来将造成设备生 产的高成本。本项目提 出以反应式等离子体镀 膜设备沉积正面透明导 电膜，以磁控溅射镀膜 设备沉积背面透明导电 膜，并将两台镀膜设备 整合至同一真空设备 中，以一台设备与一台 自动化实现低成本与兼 具高效率的透明导电膜 镀膜设备。
PD-480管式等离 子体淀积炉研发 （右手）	随着210mm硅片的推广 应用，研发 PD-480型 PECVD适应大尺寸硅 片生产迫在眉睫。另外 PD-480PECVD可以提 高产能，每管产能由 416 片/管增加到 560片/管。 每小时产能约 5810片。 一台 PD-480（六管）设 备是 PD-450（五管）产 能的 1.6倍。单管产能增 加，可以减少单片电池 片水、电、气的消耗。	量产阶段	1、设备外形尺寸： 8944mm*2200mm*4350mm （长*宽*高，不含真空泵）； 2、设备机型：6管右手； 3、工艺石英管内径：φ480mm 4、 每管装片量：560片/管 （168以下硅片）；384片/管 （210硅片）； 5、极限真空：≤1Pa； 6、工艺指标：片内≤4% 片 间≤4% 批间≤3%。	对公司当时 PECVD设备进 行升级，提升产品性能及竞 争力。
1GW分体式 AGV 智能生产线	太阳能电池无人化、智 能化生产线是光伏产业 未来发展的必然趋势。 目前公司已有智能生产 线产品采用 AGV和载 具一体式的结构设计， 非标的一体式 AGV搬 运小车在成本上已无降 低空间。本项目研发智 能生产线产品采用 AGV 和载具分离的结构设 计，即采用物流仓储行 业的标准的 AGV小车 搬运可移动式载具方 式，提供低成本的智能 生产线解决方案。	研发完成	1、生产线各工序间采用潜伏 式 AGV搬运可移动式载具 方式搬运物料。 2、采用标准潜伏式 AGV。 3、动力对接系统具有智能对 接可移动式载具功能。 4、可移动式载具具有对接潜 伏式 AGV、动力对接系统、 人工推动功能。5、生产线具 有离线自动发料站。 6、生产线具有离线立篮自动 暂存站。7、生产线具有离线 人工缓存站。 8、生产线具有 MCS智能生 产任务调度系统。 9、生产线具有 RCS AGV车	对公司当时 AGV智能生产 线产品进行升级，降低成本 提升产品性能及竞争力。
			队智能调度系统。
量产型 1GW分体 式 AGV智能生产 线	对分体式 AGV智能生 产线进行量产优化，在 产品结构、零件加工、 产品兼容性上做进一步 改进，提升产品的稳定 性，进一步优化智能生 产线，压缩生产周期， 降低生产成本，有效提 升市场竞争力。	量产阶段	1、生产线各工序间采用 AGV搬运物料。2、AGV具 有智能对接自动化，自动传 输物料功能。 3、生产线具有离线自动发料 站。 4、生产线具有 AGV小车。 5、生产线具有智能生产任务 调度系统。6、生产线具有 AGV车队智能调度系统。 7、生产线具有质量自动检 测、追踪追溯、召回返工管 控系统。 8、生产线具有 MES功能。	对公司公司新研发的分体式 AG V 智能生产线进行量产 优化，降低成本，提升产品 性能及竞争力。
HW-CVD(热丝化 学气相沉积镀膜） 设备	针对目前市场上的 HJT 电池的本征非晶硅膜、 双面掺杂非晶硅薄膜沉 积，业界惯用有两种不 同的选择，等离子体增 强化学气相沉积 （PECVD）和热丝化学 气相沉积（HWCVD）。 由于 PECVD镀膜中，等 离子体轰击损伤对非晶 硅薄膜的影响，有较高 的几率会导致电池的转 换效率偏低。而在 HWCVD设备中，对非 晶硅薄膜的轰击和损伤 小，电池转换效率明显 提高。同时，HWCVD 具有高沉积速率、高气 体利用率的特点，薄膜 也具有高稳定性的特 点。	研发完成	1、镀膜面积：1750×1800mm 2、膜厚均匀性：优于 10% 3、Uptime：97%； 4、托盘温度：200℃±8℃； 5、极限真空：≤1×10-4Epa； 6、系统密封性： 5×10-5EPa.m3/s；	项目成功后， 对公司 HJT 电 池设备市场的开拓具有重大 意义，同时，该设备属于独 创性设备，研发成功，有利 于稳固我司行业龙头 地位， 具有十分重要的战略性意 义。
基于管式 PECVD 的 TOPCon整线工 艺研发	TOPCon电池技术与异 质结电池成为最有潜力 的 N型电池技术， TOPCon电池除高转换 效率而且工艺设备与 PERC电池线兼容性好 有利于目前大量扩产的	量产阶段	完成基于管式 PECVD的 TOPCon整线工艺研发，达 到以下预期目标：最大硅片 尺寸 210mm：i-voc≥725mv 平均效率≥24.5%；	TOPCon氧化铝工艺的成功 研发，可以进一步提高公司 在新一轮的电池装备及工艺 技术竞争中的优势。
	PERC线进行改造升级 传统 TOPCon电池技术 正面氧化铝均采用 ALD 原子层沉积方法，成本 较高，本项目研发管式 PECVD TOPCon氧化铝 工艺，有利于打破竞争 对手的封锁，为公司的 二合一氧化铝设备重新 开辟新的市场。
PD-520管式等离 子体淀积炉（6管 右手机	目前市场上各种规格尺 寸设备繁多，结合各种 设备的使用情况，为了 提高设备的生产电池片 的性能品质，针对客户 厂房布局等要求，在平 衡产能需求以及设备成 本以及电池片的非硅成 本，特研发 PD-520管式 等离子体淀积炉（6管 设备，以适应当前光伏 行业各尺寸硅片的生产 需求。	量产阶段	1、设备高度：4.5米内（六 管）； 2、石英管内径：520mm； 3、每管产能：最大 620片/ 批（18x）；504片（210）； 4、工艺温度：600℃； 5、工艺压力：150-200Pa。	对公司当时 P ECVD 设备进 行升级，提升产品性能及竞 争力。
DOA-400型管式磷 扩散设备研发	项目主要针对公司原有 的管式磷扩散设备实施 优化，改进即存问题， 优化整体设备的稳定 性，在保证品质前提下 实施成本降低，研发满 足 210硅片尺寸的最优 性价比扩散设备。	量产阶段	1、设备高度：4.3米内（不 计脚杯）；2、炉管数：6管 3、石英管内径：400mm； 4、每管装片量： 1600片/舟（166硅片），2.38 槽距 1400片/舟（182硅片），2.72 槽距 1200片/舟（210硅片），3.15 槽距 5、工艺温度：870℃； 6、恒温区长度及精度：800～ 1100℃≤±0.5℃/2200mm； 600～799℃≤±1℃/2200mm； 7、工艺压力：50~150mbar 范围内可调； 8、极限真空：≤20mbar； 9、方块电阻均匀性：片内均 匀性 ≤5%；片间均匀性 ≤4%；批间均匀性≤4%； 10、进出舟速：1～	对公司现有扩散炉设备进行 升级，提升产品性能及竞争 力。
			1000mm/min连续可调； 11、舟定位精度：≤±0.5mm 12、最大承载重量：60kg。
腔体式 PECVD设 备（含自动化设备	针对目前市场上的高效 异质结 HJT电池的 PECVD薄膜沉积设备 技术壁垒高、研发周期 长、投资大、依赖进口 等问题，探索和研发更 高效率、更低成本的国 产化设备迫在眉睫。结 合当前板式 PECVD高 膜层质量、高转化效率 和管式 PECVD高产能 的优势，研制新型低成 本、高产能、高效异质 结 PECVD薄膜沉积设 备已成当务之急。	研发完成	1、装载量：双舟 320片 （166*166）；2、射频电源频 率：13.56MHz及以上；3、 镀膜温度范围：150~250℃； 4、极限压力：优于 0.5Pa； 5、压升率：优于 0.6Pa/h； 6、氦检漏率：优于 5*10-10Pa.m3/s	项目成功后，对公司占领 HJT电池整线设备市场意义 重大，同时，该设备属于独 创性设备，研发成功，有利 于公司为生产厂 家提供高产 能的量产型高效异质结 HJT 整线设备，对稳固我司行业 地位，具有重要的战略意义
DS420大产能低压 扩散设备磷扩工艺 研发	项目研究的对象为用于 太阳能电池的 P/N结构 形成的大产能低压扩散 磷工艺研发。通过优化 加热方案、优化石英舟 装片方式、进气系统等 辅助调整工艺内各项参 数，研发出大产能低压 扩散设备磷扩的工艺方 法。使其产能达到最优 相对设备产能提升 33% 以上。	量产阶段	1、最新研制适用于 DS350、 DS420水平管式大产能低压 扩散设备磷扩工艺参数； 2、DS420大产能低压扩散设 备磷扩时间控制在 100min 以内； 3、方阻 60~170Ω可调，均 匀性 6%，5%，5%。	大产能工艺路线直接降低了 设备的投入、生产运行成本 项目成功后可为公司的市场 开拓打下坚实的基础。
SC-P-9000-S 双半 片 HJT丝网印刷单 轨整线	该项目产品主要应用于 光伏 HJT电池的电极成 形，HJT半片在材料利 用、良率控制等具有突 出的优势，HJT半片的 趋势越来越明显，半片 电池市场需求逐步提 升，因此同步研制 HJT 半片丝网印刷整线具备 一定的必要性。	样机完成	1、整线所有机台产能匹配； 2、兼容不同尺寸硅片的生 产； 3、碎片率≤0.25%； 4、可靠性指标：开机率： ≥98%； 5、安全性指标：开门暂停功 能，设备前后均有急停按钮 故障诊断报警； 6、环境适应性指标：工作温 度：17℃～34℃，工作湿度 ＜80%。	项目成功后，将会填补我司 对 HJT半片工艺丝网印刷段 整线自动化设备的空白，丰 富公司产品链，创造新的利 润增长点。
DOA-420L型管式	随着光伏行业逐步进入	量产阶段	1、炉管数：6管右手机型；	对公司现有硼扩散设备进行
硼扩散设备研发 （右手机）	TOPCon与 HJT接棒 PERC电池的环节，行业 内对新技术的关注度越 来越高。TOPCon技术相 对于 HJT技术有产线设 备利用率高、投入成本 少的优势，当前发展势 头超过了 HJT。硼扩散 作为 TOPCon技术的核 心设备，市场需求空间 非常广阔。项目主要针 对公司原有的管式硼扩 散设备实施优化，改进 即存问题，优化整体设 备的稳定性，在保证品 质前提下，使设备产能 大幅度提升，最终实现 设备竞争力提升。		2、每管装片量： 166硅片：2.38槽距，装片 量 2400片/舟 182硅片：2.38 槽距，装片量 2200片/舟 210 硅片：2.72槽距，装片量 1800 片/舟设备兼容 230硅片，槽 距及装片量与 210硅片相同 3、工艺温度：最高 1050℃ 4、恒温区长度及精度：800～ 1100℃≤±0.5℃/2500mm； 600～799℃≤±1℃/2500mm； 5、工艺压力：50~150mbar 范围内可调。	升级，提升产品性能及竞争 力 。
管式 PECVD沉积 非晶硅	本项目主要是采用管式 等离子体增强型化学气 相沉积方法沉积非晶硅 层和掺杂非晶硅层。HJT 电池产业化进程加速， 非晶硅沉积设备的需求 空间巨大，本项目成功 后可大大降低投资成 本，提高单位面积产出 效益。	工艺验证	采用管式等离子体增强型化 学气相沉积方法沉积非晶硅 层和掺杂非晶硅层，达到效 率、良率与板式 PECVD持 平。达到如下指标： 1、非晶硅膜厚片内均匀性 ≤5%； 2、非晶硅膜厚片间均匀性 ≤5%； 3、非晶硅膜厚批次间均匀性 ≤2%； 4、非晶硅叠加 P/B掺杂： i-voc＞730mv，τ＞2500us。	开拓 HJT电池非晶硅镀膜工 艺新设备，降低镀膜工艺设 备投入成本，提高市场竞争 力。
LD-420L型管式 LPCVD设备研发	项目主要针对公司原有 的管式 LD-420A设备实 施优化，改进即存问题 优化整体设备的稳定 性，在保证品质前提下 使设备产能大幅度提 升，最终实现设备竞争 力提升。	样机完成	1、炉管数：6管； 2、每管装片量：166硅片： 2.38槽距，装片量 2400片/ 舟 182硅片：2.72槽距，装 片量 2200片/舟 210硅片： 2.72槽距，装片量 2000片/ 舟设备可制备 230硅片；3、 功能：隧穿氧化层、本征 Poly-Si，原位掺杂 Poly-Si； 4、最高温度：750℃，本征 Poly-Si工艺温度：610℃左 右； 5、温度精度及恒温区长度：	对公司 LD-420A型 LPCVD 设备进行升级，提升产品性 能及竞争力。
			±1℃/2500mm； 6、工艺压力：50~500mtorr 范围内可调； 7、隧穿氧化层：厚度： 1~2nm； 8、本征 Poly硅：厚度： 170nm； 9、桨采用非软着陆（悬臂 桨），即工艺过程中，桨在石 英管内。
600片槽式清洗设 备	提升市场端湿法制绒设 备的生产产能，开启大 产能湿法设备的新纪 元，通过产能的提升， 降低设备成本的投入。	量产阶段	1、机械手的承载扩展到 6篮 /PCS ； 2、生产产能≥12000片/时； 3、槽体体积的增加，其药液 循环的均匀性需一致； 4、整个槽体的体积加大，单 工位的挂槽的负载需满足 6 篮槽体负载要求。	提升设备生产产能，提高产 品的竞争力。
HJT超洁净槽式制 绒清洗设备二代	常规电池工艺转换效率 已经接近天花板，在现 有设备上做升级已经成 为瓶颈，随着异质结工 艺趋势变化，需要满足 高效电池的清洗制绒， 提升清洗能力，同时为 了匹配整线工序，提高 转换效率，以及推动异 质结行业的加速发展， 满足市场变革需求，因 此开发 HIT制绒清洗设 备，为实现整线异质结 工艺量产，下一代主流 工艺做好准备。	研发完成	1、基于捷佳伟创 PECVD、 PVD/RPD、丝印设备，量产 效率>25%； 2、总减重控制范围 0.6±0.1g； 3、反射率控制范围 10% ± 1%； 4、绒面 1.5~3um； 5、少子寿命均值>2000 6、满足异质结制绒协议指 标。	研发异质结湿法制绒设备， 提升公司整线产品竞争力。
链式碱抛光清洗设 备	在现有成熟槽式碱抛光 设备上，增加链式碱抛 光清洗设备机型，形成" 槽式"加"链式"双重机型 布局供市场选择，满足 客户多重工艺选择。	样机组装	1、额定带速≥3.6m/min； 2、碱抛光槽体采用 SUS316 材质加热到 70℃时槽体和传 动棍运行正常； 3、槽内药液均匀性好，道内 和道外的减重满足工艺要求 范围内； 4、满足抛光工艺指标要求。	从槽式碱抛到链式链式碱抛 的双选择，提升公司产品的 竞争力。
高产能平板 PECVD	国内光伏行业发展迅 速，异质结作为下一代	量产阶段	1、实现板式 PECVD设备各 功能工位的性能验证；	公司开拓研发出 PECVD设 备，对公司在异质结技术的
	电池技术，长期潜力巨 大，而板式 PECVD作为 异质结产线设备里最核 心的一环，成为异质结 走向光伏市场主流的关 键。该设备研发成功将 形成较大的竞争力，丰 富我司的产品线，更加 适应未来市场的需求。		2、反应腔室：膜厚均匀性 ≤10%，整板硅片温度均匀性 ≤±5℃； 3、反应腔，采用升降设计， 提供可调节的电极板、托盘 间距，实现更宽的工艺窗口 便于工艺持续优化。	整体布局起到关键作用，投 入市场后，后期将给公司带 来较大的业绩增长。
高效 HIT硅片智能 制绒清洗设备研发	HIT高效电池具有能耗 少、工艺流程简单、温 度系数小等诸多优点， 采用 O3清洗代替标准 RCA清洗的工艺。	量产阶段	HIT设备国产化	HIT太阳电池的各种优良特 性，未来有比较广阔的发展 空间，设备的国产化将能够 极大地促进该产业的规模扩 展，同时提升国产太阳能电 池装备在更高技术含量的领 域的竞争力。
200mm Cassette-less全自 动湿式工艺设备的 研发	公司计划加强集成电路 工艺设备业务的国内市 场份额，争取国内市场 的完全国产化；因此于 2020年开始规划无篮 Cassette-less刻蚀清洗工 艺设备开发,包含对应光 刻胶剥清洗、氮化硅刻 蚀清洗、金属层上光刻 胶剥清洗等集成电路前 道工艺设备。同时，纵 向培养上游下游核心部 件供应商与精密加工 商，实施部件国产化策 略，横向寻找国内联盟 提升国内气体、化学品 部件的国产供给，最后 形成具有竞争力的系统 解决方案，形成自身的 竞争优势。上述 2个业 务板块，公司在中期战 略中，计划完成集成电 路前道工艺、先进封装 第三代集成电路湿法设 备的开发。	量产阶段	1、微尘污染控制在 0.16um<30ea； 2、刻蚀均匀性控制在<2%； 3、WPH>250片/小时； 4、Uptime>98%。	借此产品顺利推进公司进入 中国集成电路先进工艺 8 吋 无篮清洗刻蚀设备领域，并 扩大市场份额，成为公司新 的利润增长点。
高产能槽式硅片清 洗设备	硅片高产能槽式清洗设 备进入样机阶段，并对	量产阶段	技术更新，推出行业更高产 能和更高自动化程度的设	对硅片清洗行业的一种全新 挑战，积极推动光伏行业前
	设备的产能及性能、稳 定性深度优化，进入量 产阶段。拓展清洗设备 新的产品线，开拓新市 场。		备。	端硅片生产及清洗的技术发 展。
激光 SE设备	随着光伏产业的不断快 速发展，各大太阳能电 池片生产的厂商对于产 能提升的需求也不断提 高。目前传统的 SE激光 掺杂设备的产能是 6000 片/小时左右，若 SE激 光掺杂设备的产能不能 匹配整线设备的产能， 只能通过增加机台数量 来填补空缺，这增加了 比较大的成本。从行业 的趋势来看，与 SE激光 掺杂设备匹配的整线电 池片生产设备的产能也 在不断提高，各大太阳 能电池片生产的厂商对 于 SE激光掺杂设备产 能的提升的需求也是越 来越大。	量产阶段	本项目的研发、设计、制造 遵循"工艺先进，运行稳定， 高效可靠"的指导思想，一切 为客户着想，既可以为太阳 能电池制造设备行业提供性 能优良的新一轮技术亮点， 又满足市场客户对太阳能电 池制造设备高产能、高指标 高性能的发展需求。其设备 的成功研发，不仅打破了传 统吸盘加转盘的正面 SE激 光掺杂设备的工作模式，而 且其设备的产能的提升，碎 片率的下降，其设备的成功 研发将会迎来晶硅太阳能电 池片正面 SE激光掺杂工艺 设备的新一轮发展，市场前 景非常可观。	公司从丝网印刷设备领域拓 展到光伏激光领域。
激光开槽设备	本项目设备的成功研 发，不仅打破了传统吸 盘加转盘的 PERC背面 激光开槽设备的工作模 式，而且其设备的产能 的提升，碎片率的下降 自动化的提升等填补了 行业的空白，其设备的 成功研发将会迎来晶硅 太阳能 PERC电池工艺 设备的新一轮发展，市 场前景非常客观。	量产阶段	1、打破传统 PERC晶硅电池 背面激光开槽设备吸盘加转 盘的工作模式，实现了流道 传输晶圆，不再使用吸盘吸 附晶圆运输，省去了转盘转 动时间对产能提升的影响， 增加设备激光器的利用率， 大幅度的提升了激光开槽设 备的产能，从传统产能 6500 片/小时提升至8000-8500片/ 小时； 2、设备光学系统使用大幅面 场镜，在场镜下方设置两个 激光加工台面，增加激光器 的利用率，提升设备产能； 3、设备去掉了传统的吸盘吸 附运输晶圆的工作模式，晶 圆通过流道皮带传输运送至 激光加工台面，减少了吸盘	公司从丝网印刷设备领域拓 展到光伏激光领域。
			吸附的次数，有效降低了晶 圆碎片的风险； 4、顺应新时期晶硅电池大尺 寸的需求，可以兼容多种尺 寸的晶圆加工，使设备的选 择性大大增强； 5、设备集成了自动上下料， 除尘系统和进口光学系统等 高端技术。
激光掺硼设备研发	N型电池片由于其高少 子寿命和无光致衰减等 特性，具有发电量高和 可靠性高的双重优势， 因此成为行业关注和研 究的热点，被判断是晶 硅太阳能电池迈向理论 最高效率的希望。在近 年 N型电池片应用 SE 掺硼技术后，在效率方 面和发电性能方面都能 有显著提升，目前的 TOPCon电池光电转化 效率已经达到 25.8％。 此外 TOPCon因为其与 PERC均为高温工艺且 工序兼容性较高，更受 传统电池厂商的青睐， 今年许多新增 PERC产 线都做出预留 TOPCon 接口以备后续升级，不 难看出 TOPCon或将取 代 PERC电池技术成为 下一代光伏电池主流技 术。	试产阶段	1、目前直接使用硼硅玻璃作 为掺杂源进行激光掺杂的技 术仍然没有突破性进展，已 知的实现 TOPCon电池选择 性发射极制作的方法有两 种，我们目前开发的设备是 利用激光开膜二次扩散得到 需要的图形； 2、通过此种制备方法不仅可 以提高 N型电池的开路电 压，而且可以提高电池的填 充因子，最终提高太阳电池 的转换效率； 3、该项目的成功研制，能最 大程度保留和利用现有传统 P型电池设备制程，无须背 面开孔和对准，极大的简化 了电池生产工艺，量产化困 难度低。	根据 N型掺硼电池可与 SE 半片、叠片技术相结合的优 势，我们研发设计的掺硼设 备产线兼容性非常高，可与 目前在量产的 P ERC 、 N-PERT双面电池的高温制 备工艺产线相兼容。而且该 设备产能的提升，碎片率的 下降，自动化的提升等填补 了行业的空白。预计未来一 年将是 N 型产业链发展的 关键时期，利好具备技术储 备的生产与设备厂商。
激光 SE回转型设 备	在传统的 SE激光掺杂 设备中大多采用吸盘加 转盘的设计方式，激光 器在转盘转动的时间内 处于等待状态，激光器 的利用率降低，而且在 加工过程中单片晶圆需 要吸盘吸附两次，碎片 率高。同时与电池片生 产的整线设备产能匹配	研发完成	1、采用回流型的电池片传送 方式，双工位激光加工系统 电池片花篮实现回转，对接 AGV自动化，提高机台智能 自动化水平； 2、采用进口知名品牌的激光 器、扫描振镜和光学元器件 集成了回转型自动上下料， 除尘系统和进口光学系统等 高端技术；	持续对 SE掺杂设备升级，提 升产品性能及产品竞争力。
	的 SE激光掺杂设备还 未得到完全达到，制约 着整体产线设备产能的 提升。为了解决现有的 这些问题而研发的回流 型 SE设备，实现了正面 SE激光掺杂设备的产能 提升，减少了因吸盘吸 附而导致的碎片、隐裂 等不良。在降低成本的 同时也能提升产能。		3、顺应新时期晶硅电池大尺 寸的需求，可以兼容多种尺 寸的晶圆加工，使设备的选 择性大大增强。
激光无损切割设备 研发	为了解决常规激光热烧 蚀工艺会在切割面留下 大量热损伤，降低电池 片的机械强度的问题， 打破现有切割设备不适 用于大尺寸硅片，容易 破片的技术瓶颈。研发 的激光无损切割裂片设 备采用应力切割原理， 不存在激光热烧蚀和机 械裂片过程，可使电池 片应力断面干净、整洁 没有任何损伤点，极大 地提高了电池片的机械 强度，保证了组件加工 的良率和可靠性。	试产阶段	1、全自动化流程，除人工取 放料盒，生产全程无需人工 干预； 2、人性化交互界面，操作简 单，维护方便； 3、自主研发微损伤激光加工 工艺， 加工稳定性好； 4、切割产品基本无激光损 伤，无热影响区，转化效率 高； 5、切割产品基本无微裂纹， 无粉尘产生，机械性能好； 6、加工温度低，可适配异质 结电池切割； 7、将高精度定位及高性能激 光切割系统结合，从定位精 度判断系统运算自行分析， 自动规划切割路径。兼顾环 境因素自行切割补偿； 8、广泛兼容主流及新型晶硅 电池产品，包括铝背场电池 单/双面 PERC电池，HJT异 质结电池，TOPCon电池等 同时为了应对市场的多元 化，设计在不断的技术储备 及升级。同步分析产品的优 缺点，采用多种类方案并行	无损切割的三分片结合多主 栅技术能够帮助 2 1 0 组件实 现更高的功率，同时具备较 低的制程风险和热斑风险， 接线盒安全性高，将会是 210 组件未来的优选技术解决方 案。
HJT中试线效率 25%工艺研发	高效异质结电池具有效 率高、温度系数低、双 面率高等优势，工艺步 骤简单，只需制绒清洗 PECVD、PVD、丝网印 刷 4道工序。而且异质	中试阶段	1、基于捷佳伟创整线自研设 备，中试线异质结电池光电 转换效率超过 25%； 2、在提升效率的基础上，优 化各工序工艺及设备，满足 产能、良率、成本的客户需	持续提高电池转换效率，提 升公司现有 HJT整线设备性 能及产品竞争力。
	结技术是 HBC电池、钙 钛矿叠层电池等高效电 池的基础工艺平台，有 望成为下一代高效电池 的主流技术。		求； 3、对原辅材料进行系统化评 估，培养国内供应商，降低 生产成本。
直线印刷机	光伏新能源作为国家重 点扶持打造的新型产 业，经过十多年的发展 在应用装机和生产规模 上均已遥遥领先全球。 但在整个光伏制造装备 上，全国乃至全球还没 有一家公司可以真正意 义上做到提供全产业段 的生产工艺装备。本项 目正是为了填补公司在 电池片生产流程中最后 一个工艺段电极印刷环 节的空白。基于对市场 需求的充分了解，此项 目要达到比市场上现有 产品更高的产能，更高 的精度，更好的兼容性	量产阶段	1、实现电池片电极印刷全部 工艺； 2、实现更高产能，提升整线 CT至 0.95秒以内； 3、实现更高精度，提升印刷 综合精度至±8um以内； 4、兼容 156-210mm的电池 片印刷； 5、整线稼动率≥96%； 6、碎片率≤1.5%。	补充公司电池片生产环节产 品线，提升公司在行业内的 综合竞争力。
新型光注入炉体设 备	目前，行业内的光注入 设备没有红外 IR灯管前 置正反面全方位光辐射 注入功能，更多的只是 LED单面光辐射注入。 有效的红外 IR灯管前置 正反面全方位光辐射注 入功能，可对电池片提 效 0.5%以上。成功研发 出此款设备是一个战略 性的选择。	量产阶段	可对HJT电池片提效0.5%以 上。	开发出的新型光注入设备采 用了新的工艺配方，固化后 的电池片将被提效 0.5%以 上；新型设备被市场应用， 将成为公司新的创收点。
新型大尺寸硅片横 向印刷机	本项目推出的目的是为 了完善公司丝网印刷产 品线，针对不同客户的 个性化需求，在产品上 给客户提供更加多样化 的选择。新型的卷纸印 刷机采用新的横向印刷 方式取代原有的纵向印 刷方式，在保证印刷品	研发完成	1、减小整机尺寸，降低对占 地面积的要求； 2、实现双轨产线互不干扰， 独立运行；3、整线 CT≤0.95 秒； 4、印刷综合精度±6um以内 5、兼容 156-210mm电池片 6、稼动率≥98%； 7、碎片率≤0.5%.	完善公司在丝网印刷工艺段 的产品种类，满足客户的不 同需求，提升产品竞争力。
	质的同时大大减小整机 尺寸，节省客户工厂的 占地面积。采用特殊的 台面电池片传输装置， 将独立的印刷台面和卷 纸基座集成到了转盘 上，减少了设备制造成 本，同时也减少了装配 累计误差，提高了设备 精度。采用新型的 XYTZ 结构，提升印刷精度和 产能。
花栏式烘干炉	解决国内 HJT烘干、固 化设备占用空间大，或 烘干、固化时间短的问 题，且存在硅片烘干、 固化工艺效果缺陷。成 功研发出一款解决上述 缺陷的设备是一个战略 性的选择。	量产阶段	新型烘干、固化炉设备，通 用客户端多种工艺配方（较 长的不同烘干时间及其固化 时间），保证硅片烘干和固化 后效率、拉脱力及水煮稳定 性，减少设备占地面积	开发出的新型烘干、固化炉 设备，通用客户端多种工艺 配方（较长的不同烘干时间 及其固化时间），保证硅片烘 干和固化后效率、拉脱力及 水煮稳定性，减少设备占地 面积；新型设备被市场应用 将成为公司新的创收点。
新型转盘印刷机	本项目采用 UVW结构 替代原来的 XYT结构， 对视觉定位拍照所得的 测量数据分别控制 X 向、Y1向、Y2向三轴 联动，完成网版与电池 片的对位。新的 UVW结 构进一步简化了整机结 构，在降低成本的同时 也提升了印刷精度。此 项目还对整机结构和控 制系统进行了进一步的 优化，在提升稳定性的 同时持续进行成本优 化。	量产阶段	1、将印刷机成本降低 15% 2、印刷综合精度提升至 ±5um以内；3、整线 CT≤0.9 秒； 4、兼容 166-230mm电池片 5、稼动率≥98%； 6、碎片率≤0.3%	持续提升印刷机性能，降低 制造成本，持续提升产品竞 争力。
链式单轨光源炉	本项目是基于市场的需 求以及后续市场发展， 我们预测仍将成为未来 TOPcon或 HJT光注入 主流产品。我司如果能 推出此设备，将会占据 市场的主要地位。而前 期，我司已经研发了新	量产阶段	开发出的光注入设备采用了 市场常规的工艺配方，响应 大众客户对光注入工艺的需 求，填补丝网印刷整线设备 在此工艺段的空缺。	开发出的光注入设备采用了 市场常规的工艺配方，响应 大众客户对光注入工艺的需 求，填补丝网印刷整线设备 在此工艺段的空缺；设备被 市场应用，将成为公司新的 创收点。
	一代光注入设备，此设 备是载具托片传动和电 池片正反面光辐射结构 设备，而对于 TOPcon 工艺并不需要正反面光 辐射光注入，为填补链 式光注入设备的空缺， 提供客户全面的工艺设 备选择性。
全自动湿法刻蚀清 洗设备研发	该项目的成功研制，将 有效的解决全自动湿式 批式设备的工艺技术问 题。会成为未来新增项 目全自动湿式批式设备 的主流产品，其设备的 成功研发，在中国大陆 我司将具有极大的优势 替代进口，打破长期被 进口设备卡脖子的局 面，极大的提高国产设 备市场占有率，市场潜 力巨大。	样机组装	对原有的设备结构优化，使 其易拆装维护、模组标准化 以及在性能不影响的同时更 改结构降低市购周期与成 本；NIT工艺，采用高温 H3PO4,处理过程对水的消 耗与补充以及温度的控制。	填补中国大陆在该领域的空 白，为常州创微/捷佳创从高 起点迈进半导体领域打开突 破性的通道。初步估计，此 项目成功研发后，将成为公 司新的创收点。
半导体设备排程软 件研发	在市场续期多元化，技 术飞速发展的当代，以 及国家提出的"中国制 造 2025"等诸多战略的 背景下，国内半导体制 造企业既面临着发展机 遇也遭遇着严峻挑战， 亟需科学，高效的管理 理论和排程技术，以提 高晶圆制造产能，增强 规模经济效益，提高半 导体晶圆生产效率以增 加企业的市场竞争力。 为了提高晶圆制造中产 品的质量和产品所需的 高精密要求，组合设备 己被广泛用于晶圆加 工。而这样一台设备非 常昂贵，因此寻求调度 与控制方法用于提高该 设备利用率变得非常重	研发完成	本产品可用于实现对各种晶 圆清洗设备的工序进行排程 布置；依照用户设定的机台 参数(槽体数量、进出设备工 位、机械臂数量)，机械臂参 数(机械臂的取货时长、搬货 时长、回原点时长)，配方(各 槽区跑货时长)可在画面输 出展示排程图表结果，一并 可自动计算得出相应配置下 的产量。	有效的排程与控制方法可以 保障生产线高效稳定运转， 提高产品的质量与生产率， 减少资源浪费。这对整个半 导体制造行业具有重要的实 际应用价值。该项目的开发 将有效的解决产品研发初期 及设备生产中的排程问题。
	要。
半导体设备 SECS/GEM通讯协 议软件研发	目前国内对 Recipe 管 理的研究主要还停留在 理论阶段，更多的是一 种宽泛的叙述而非将其 应用于实际生产中。企 业实际 Recipe 管理形 式仍然停留在人工记录 和手动输入，效率较为 低下，同时容易发生人 为失误，带来不必要的 损失。因此，对于半导 体封装测试流程，一套 规则完善、功能齐全、 稳定高效的配方管理系 统是不可或缺的。	研发完成	应用程序通过调用动态链接 库的方式接收主机发送的 SECS-II 格式的消息。GEM 定义了从主机方看到的半导 体设备的行为，定义了哪些 SECS-II 消息在何种状态下 被使用。应用程序根据当前 的通讯状态，按照 GEM 所 指定的规范与功能需求处理 或回复主机的 SECS-II 消 息。	可快速实现不同半导体设备 的联网功能，具有良好的移 植性，可广泛应用于半导体 设备的联网实现。
单晶圆刻蚀清洗设 备研发	通过本项目的实施，预 期在单晶圆清洗先进工 艺设备领域，将达到国 内技术水平领先，并可 直接与国际设备供应商 等一流企业竞争，在国 际政治的影响以及中国 政府的支持下，在中国 大陆我司将具有极大的 优势替代进口，打破长 期被进口设备卡脖子的 局面，极大的提高国产 设备市场占有率，市场 潜力巨大。	样机组装	设备规格以针对单晶圆清洗 工艺制程进行发展，设备内 集合多种化学药业，针对晶 圆表面施以化学刻蚀、清洗 干燥不同工序，多项工艺步 骤可于单一 Chamber内实 施，使产品达到预期的工艺 结果。	填补国内空白，提高我司半 导体领域竞争力，开拓半导 体设备市场，将成为公司新 的利润增长点。

公司研发人员情况 （未完）