[年报]拓荆科技(688072):2022年年度报告

时间:2023年04月18日 09:33:54 中财网

原标题:拓荆科技:2022年年度报告

公司代码:688072 公司简称:拓荆科技
拓荆科技股份有限公司
2022年年度报告








重要提示
一、本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实性、准确性、完整性,不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏,并承担个别和连带的法律责任。


二、公司上市时未盈利且尚未实现盈利
□是 √否

三、重大风险提示
报告期内,不存在对公司生产经营产生实质性影响的重大风险。公司已在报告中详细描述可能存在的相关风险,敬请查阅“第三节 管理层讨论与分析”之“四、风险因素”部分内容。

四、公司全体董事出席董事会会议。


五、天健会计师事务所(特殊普通合伙)为本公司出具了标准无保留意见的审计报告。


六、公司负责人刘静、主管会计工作负责人杨小强及会计机构负责人(会计主管人员)杨小强声明:保证年度报告中财务报告的真实、准确、完整。


七、董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案 公司拟以实施权益分派股权登记日的总股本为基数,向全体股东每10股派发现金红利2.60元(含税)。截至2022年12月31日,公司总股本为126,478,797股,以此计算合计拟派发现金红利32,884,487.22元(含税)。本年度公司现金分红占本期归属于上市公司股东的净利润比例为8.92%,占本期实现的可供分配利润的比例为10.26%。本次利润分配方案不送红股,不进行资本公积转增股本。

如在实施权益分派股权登记日前,公司总股本发生变动的,公司拟维持分配总额不变,相应调整每股分配比例。

公司第一届董事会第二十一次会议和第一届监事会第十二次会议审议通过了《关于公司2022年度利润分配方案的议案》,公司独立董事已对上述利润分配方案发表了同意的独立意见,本次利润分配方案尚需提交公司2022年年度股东大会审议。

八、是否存在公司治理特殊安排等重要事项
□适用 √不适用

九、前瞻性陈述的风险声明
√适用 □不适用
本报告所涉及的公司未来计划、发展战略等前瞻性陈述,不构成公司对投资者的实质承诺,请投资者注意投资风险。

十、是否存在被控股股东及其他关联方非经营性占用资金情况


十一、是否存在违反规定决策程序对外提供担保的情况


十二、是否存在半数以上董事无法保证公司所披露年度报告的真实性、准确性和完整性 否

十三、其他
□适用 √不适用



目录
第一节 释义 ................................................................................................................... 4
第二节 公司简介和主要财务指标 ............................................................................... 9
第三节 管理层讨论与分析 ......................................................................................... 15
第四节 公司治理 ......................................................................................................... 66
第五节 环境、社会责任和其他公司治理 ................................................................. 91
第六节 重要事项 ......................................................................................................... 99
第七节 股份变动及股东情况 ................................................................................... 138
第八节 优先股相关情况 ........................................................................................... 148
第九节 债券相关情况 ............................................................................................... 148
第十节 财务报告 ....................................................................................................... 150




备查文件目录载有公司负责人、主管会计工作负责人、会计机构负责人签名并 盖章的财务报表
 载有会计师事务所盖章、注册会计师签名并盖章的审计报告原件
 报告期内公开披露过的所有公司文件的正本及公告的原稿



第一节 释义
一、 释义
在本报告书中,除非文义另有所指,下列词语具有如下含义:

常用词语释义  
报告期、报告期内2022年1月1日至2022年12月31日
本报告期末、报告期 末2022年12月31日
公司、本公司、拓荆 科技拓荆科技股份有限公司
股东大会拓荆科技股份有限公司股东大会
董事会拓荆科技股份有限公司董事会
监事会拓荆科技股份有限公司监事会
中国证监会、证监会中国证券监督管理委员会
上交所上海证券交易所
元、万元、亿元人民币元、人民币万元、人民币亿元
公司法《中华人民共和国公司法》
证券法《中华人民共和国证券法》
上市规则《上海证券交易所科创板股票上市规则》
公司章程《拓荆科技股份有限公司章程》
拓荆北京拓荆科技(北京)有限公司,系公司全资子公司
拓荆上海拓荆科技(上海)有限公司,系公司全资子公司
拓荆键科拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司,系公司控股子 公司
拓荆美国拓荆科技(美国)有限公司,系公司全资子公司
拓荆创益拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司,系公司全资子公 司
国家集成电路基金国家集成电路产业投资基金股份有限公司,系公司股东
国投上海国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合 伙),系公司股东
中微公司中微半导体设备(上海)股份有限公司,系公司股东
嘉兴君励嘉兴君励投资合伙企业(有限合伙),系公司股东
润扬嘉禾青岛润扬嘉禾投资合伙企业(有限合伙),系公司股东
中科仪中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司,系公司股东
沈阳创投沈阳信息产业创业投资有限公司,系公司股东
苏州聚源苏州聚源东方投资基金中心(有限合伙),系公司股东
中车国华中车国华(青岛)股权投资合伙企业(有限合伙),系 公司股东
宿迁浑璞宿迁浑璞浑金二号投资中心(有限合伙),系公司股东
盐城燕舞盐城经济技术开发区燕舞半导体产业基金(有限合伙), 系公司股东
沈阳风投沈阳科技风险投资有限公司,系公司股东
共青城盛夏共青城盛夏股权投资管理合伙企业(有限合伙),系公 司股东
芯鑫和共青城芯鑫和投资合伙企业(有限合伙),系公司股东
芯鑫全共青城芯鑫全投资合伙企业(有限合伙),系公司股东
芯鑫龙共青城芯鑫龙投资合伙企业(有限合伙),系公司股东
芯鑫成共青城芯鑫成投资合伙企业(有限合伙),系公司股东
芯鑫旺共青城芯鑫旺投资合伙企业(有限合伙),系公司股东
芯鑫盛共青城芯鑫盛投资合伙企业(有限合伙),系公司股东
芯鑫阳共青城芯鑫阳投资合伙企业(有限合伙),系公司股东
沈阳盛腾沈阳盛腾投资管理中心(有限合伙),系公司股东
沈阳盛旺沈阳盛旺投资管理中心(有限合伙),系公司股东
沈阳盛全沈阳盛全投资管理中心(有限合伙),系公司股东
沈阳盛龙沈阳盛龙投资管理中心(有限合伙),系公司股东
姜谦及其一致行动 人姜谦、吕光泉、刘忆军、凌复华、吴飚、周仁、张先智、 张孝勇等8名直接持有公司股份的自然人,以及芯鑫和、 芯鑫全、芯鑫龙、芯鑫成、芯鑫旺、芯鑫盛、芯鑫阳、 沈阳盛腾、沈阳盛旺、沈阳盛全、沈阳盛龙11个公司员 工持股平台,系公司股东
华芯投资华芯投资管理有限责任公司,系公司股东国家集成电路 基金的基金管理人
恒运昌深圳市恒运昌真空技术有限公司,系公司参股公司
富创精密沈阳富创精密设备股份有限公司
SEMISemiconductor Equipment and Materials International,国际半导体产业协会
薄膜沉积半导体制造中任何在硅片衬底上沉积一层膜的工艺。这 层膜可以是导体、绝缘物质或者半导体材料。沉积膜可 以是二氧化硅、氮化硅、多晶硅以及金属。薄膜沉积设 备在半导体的前段工序FEOL(制作晶体管等部件)和后 段布线工序 BEOL(将在 FEOL制造的各部件与金属材料 连接布线以形成电路)均有多处应用
晶圆在氧化/扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长、清洗 与抛光、金属化等特定工艺加工过程中的硅片
晶圆制造、芯片制造将通过一系列特定的加工工艺,将半导体硅片加工制造 成芯片的过程,分为前道晶圆制造和后道封装测试
晶圆厂通过一系列特定的加工工艺,在硅片上加工制造半导体 器件的生产厂商
工艺制程、关键尺寸泛指在集成电路生产工艺可达到的最小栅极宽度,尺寸 越小,表明工艺水平越高,意味着在同样面积的晶圆上, 可以制造出更多的芯片,或者同样晶体管规模的芯片会 占用更小的空间
机台半导体行业对生产设备的统称
Demo机台验证机台。公司销售活动中,部分客户要求预先验证公 司生产的机台,待工艺验证通过后转为正式销售。Demo 机台通常是新工艺、新机型的首台设备
Demo订单针对Demo机台签订的验证订单
CMOSComplementary Metal Oxide Semiconductor(互补金属 氧化物半导体),由N-MOS和P-MOS器件构成的一类芯 片,其多晶硅栅极结构有助于降低器件的阈值电压,从 而在低电压下运行,是制造大规模集成电路芯片使用的 一种器件结构
FinFETFin Field-Effect Transistor,鳍式场效应晶体管,是 一种新的互补式金氧半导体晶体管,可以改善电路控制 并减少漏电流,缩短晶体管的栅长
封装在半导体制造的最后阶段,将一小块材料(如芯片)包 裹在支撑外壳中,以防止物理损坏和腐蚀,并允许芯片 连接到电路板的工艺
先进封装处于前沿的封装形式和技术。目前,带有倒装芯片(FC) 结构封装、晶圆级封装(WLP)、系统级封装(SiP)、 硅通孔技术(TSV)、2.5D封装、3D封装等均被认为属 于先进封装范畴
CVDChemical Vapor Deposition,化学气相沉积,是指化学 气体或蒸汽在基底表面反应合成涂层或纳米材料的方 法,是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料 的技术,包括大范围的绝缘材料,大多数金属材料和金 属合金材料
PECVDPlasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,等离子 体增强化学气相沉积
UV Cure紫外固化,紫外固化是辐射固化的一种,是利用紫外线 UV产生辐射聚合、辐射交联等作用,可以有效改善薄膜 的物理性能和化学性能
ALDAtomic Layer Deposition,原子层沉积
PE-ALDPlasma Enhanced Atomic Layer Deposition,等离子体 增强原子层沉积
Thermal-ALDThermal Atomic Layer Deposition,热处理原子层沉积
SACVDSub-atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition,次常压化学气相沉积
HDPCVDHigh Density Plasma Chemical Vapor Deposition,高 密度等离子体增强化学气相沉积
Bonding键合,主要指将两片表面清洁、原子级平整的同质或异 质半导体材料经表面清洗和活化处理,在一定条件下直 接结合,通过范德华力、分子力甚至原子力使两片半导 体材料成为一体的技术
Hybrid Bonding混合键合,指两种金属层的热压键合与熔融键合混合进 行的键合方法。该工艺过程中会同时产生一种电力(金属 键合)和机械力熔融键合
Fusion Bonding熔融键合,是两个平衬底自然连接的键合技术。其特点 是抛光片在清洗后进行亲水性加工,相互接触并在高温 下退火,等离子体预处理使得衬底能够在室温下接合
PVDPhysical Vapor Deposition,物理气相沉积
EFEMEquipment Front-End Module,一种晶圆传输系统,可 用于制造设备与晶圆产线的晶圆传输模块
介质电介质,亦称绝缘体,是一种不导电的物质
通用介质薄膜在集成电路制造过程中使用的 SiO、SiN、SiON等介质 2 薄膜
SiO 2硅与氧的化合物二氧化硅,可以作为一种电介质
SiN氮化硅,可以用作芯片制造中的阻挡层、钝化层
TEOSTetraethyl Orthosilicate,正硅酸乙酯,可作为SiO 2 薄膜的反应源
SiONSilicon Oxynitride,即氮氧化硅,主要用于光刻过程 中的消光作用,提高曝光效果
SiOCN-FREE DARC( Nitrogen-free Dielectric Anti- reflective Coating),主要用于光刻过程中的消光作 用,提高曝光效果,避免光刻胶中毒
FSGFluorinated Silicate Glass,即掺杂氟的氧化硅,做 为层间介质层,可以降低介质层的介电常数,减少寄生 电容
PSGPhospho-silicate Glass,即掺杂磷的二氧化硅,可用 于金属布线层间的绝缘层、回流介质层和表面钝化保护 层
BPSGBoro-phospho-silicate Glass,即掺杂了硼和磷的二氧 化硅
SA TEOS采用SACVD沉积的TEOS薄膜材料
SAF极高深宽比氧化硅薄膜工艺
AlO 2 3氧化铝,主要用于芯片制造过程中的表面钝化层、阻挡 层和硬掩膜
先进介质薄膜在集成电路制造过程中使用的 LokⅠ、LokⅡ、ADCⅠ、 ACHM、α-Si等介质薄膜材料
LokⅠ掺碳氧化硅薄膜,是低介电常数薄膜,主要应用于集成 电路芯片后段互连层间介导层,通过超低介电常数,降 低电路的漏电电流,降低导线之间的电容效应,提高芯 片性能
LokⅡ超低介电常数薄膜,为 LokⅠ的下一代新型介质薄膜, 通过相对于 LokⅠ更低的超低介电常数,降低电路的漏 电电流,降低导线之间的电容效应,提高芯片性能
ACHM非晶碳硬掩膜,该薄膜能够提供良好的刻蚀选择性
ADCⅠNitrogen Doped Carbide,先进掺氮碳化硅薄膜,主要 应用于扩散阻挡层以及刻蚀阻挡层,由于较低的介电常 数,可以降低了导线间的电容效率,提升了芯片整体的 传输性能
HTNHigh Tensile Nitride,即高应力氮化硅,主要用于先 进制程中的前道应力记忆层,通过应力记忆减小短沟道 效应,增强载流子迁移率,提高器件速度
α-SiAmorphous Silicon,非晶硅,主要应用在硬掩膜以实现 小尺寸高深宽比的图形传递
Thick TEOS微米级TEOS薄膜
PF-300T四边形传片平台,最多搭载3个反应腔,每个反应腔内 最多有2个沉积站,每次可以同时最多处理6片晶圆
NF-300H四边形传片平台,最多搭载3个反应腔,每个反应腔内 有6个沉积站,每次可以同时最多处理18片晶圆
TS-300六边形传片平台,最多搭载5个反应腔,每个反应腔内 有2个沉积站,每次可以同时最多处理10片晶圆
TS-300S六边形传片平台,即TS-300型号平台的缩小版,最多搭 载5个反应腔,每个反应腔内有1个沉积站,每次可以 同时最多处理5片晶圆
PCTPatent Cooperation Treaty,即专利合作条约


第二节 公司简介和主要财务指标
一、公司基本情况

公司的中文名称拓荆科技股份有限公司
公司的中文简称拓荆科技
公司的外文名称Piotech Inc.
公司的外文名称缩写Piotech
公司的法定代表人刘静
公司注册地址辽宁省沈阳市浑南区水家900号
公司注册地址的历史变更情况
公司办公地址辽宁省沈阳市浑南区水家900号
公司办公地址的邮政编码110171
公司网址www.piotech.cn
电子信箱[email protected]

二、联系人和联系方式

 董事会秘书(信息披露境内代表)证券事务代表
姓名赵曦刘锡婷
联系地址辽宁省沈阳市浑南区水家900号辽宁省沈阳市浑南区水家900号
电话024-24188000-8089024-24188000-8089
传真024-24188000-8080024-24188000-8080
电子信箱[email protected][email protected]

三、信息披露及备置地点

公司披露年度报告的媒体 名称及网址中国证券报(www.cs.com.cn)、上海证券报 (www.cnstock.com)、证券时报(www.stcn.com)、证券 日报(www.zqrb.cn)、经济参考报(www.jjckb.cn)
公司披露年度报告的证券 交易所网址www.sse.com.cn
公司年度报告备置地点中国辽宁省沈阳市浑南区水家900号公司董事会办公室

四、公司股票/存托凭证简况
(一) 公司股票简况
√适用 □不适用

公司股票简况    
股票种类股票上市交易所及板块股票简称股票代码变更前股票简称
A股上海证券交易所科创板拓荆科技688072不适用

(二) 公司存托凭证简况
□适用 √不适用

五、其他相关资料

公司聘请的 会计师事务 所(境内)名称天健会计师事务所(特殊普通合伙)
 办公地址杭州市上城区钱江路1366号华润大厦B座
 签字会计师姓名陈焱鑫、吴珊珊
报告期内履 行持续督导 职责的保荐 机构名称招商证券股份有限公司
 办公地址深圳市福田区福田街道福华一路111 号
 签字的保荐代表人姓名刘宪广、张贺
 持续督导的期间2022年4月20日至2025年12月31日

六、近三年主要会计数据和财务指标
(一) 主要会计数据
单位:元 币种:人民币

主要会计数据2022年2021年本期比 上年同 期增减 (%)2020年
营业收入1,705,562,723.82757,960,880.13125.02435,627,676.17
归属于上市公 司股东的净利 润368,517,550.1468,486,475.03438.09-11,489,015.66
归属于上市公 司股东的扣除 非经常性损益 的净利润178,104,100.53-82,001,875.37--57,116,203.25
经营活动产生 的现金流量净 额247,625,867.82137,480,579.5180.12308,912,704.99
 2022年末2021年末本期末 比上年 同期末 增减( %)2020年末
归属于上市公 司股东的净资 产3,711,530,962.281,192,607,665.60211.211,122,209,674.37
总资产7,313,286,512.912,517,728,208.91190.471,814,069,093.40

(二) 主要财务指标

主要财务指标2022年2021年本期比上年 同期增减(%)2020年
基本每股收益(元/股)3.180.72341.67不适用
稀释每股收益(元/股)3.170.72340.28不适用
扣除非经常性损益后的基本 每股收益(元/股)1.54-0.86-不适用
加权平均净资产收益率(%)13.135.92增加7.21个 百分点-1.11
扣除非经常性损益后的加权 平均净资产收益率(%)6.35-7.08增加13.43 个百分点-5.52
研发投入占营业收入的比例 (%)22.2138.04减少15.83 个百分点28.19


报告期末公司前三年主要会计数据和财务指标的说明
√适用 □不适用
1、公司营业收入持续高速增长,2018年至2022年复合增长率达到121.67%。2022年公司持续加大研发投入,产品质量稳步提高,客户对公司产品认可度不断提升,报告期营业收入达到170,556.27万元,创公司业绩历史新高,同比增长125.02%。

公司PECVD系列产品在客户产线验证进展顺利,并取得良好成果,应用规模持续扩大,产品销量同比大幅度增加,报告期实现该系列产品销售收入156,322.62万元,同比增长131.44%;ALD系列产品中PE-ALD设备已实现产业化应用,报告期实现该系列产品销售收入3,258.67万元,同比增长13.85%;Thermal-ALD设备已完成开发,已发货至客户端验证;SACVD系列产品持续拓展应用领域,SA TEOS、BPSG、SAF薄膜工艺设备在芯片制造领域均取得客户验收,实现该系列产品销售收入8,947.62万元,同比增长117.39%,SACVD系列产品不断扩大应用工艺覆盖度,提升市场占有率。

公司持续拓展以PECVD、ALD、SACVD及HDPCVD为主的薄膜系列产品工艺应用领域, 获得逻辑芯片、存储芯片等领域现有客户重复订单及新客户订单。截至报告期末,公司 在手销售订单金额为46.02亿元(不含Demo订单),公司2022年签订销售订单金额为 43.62亿元(不含Demo订单),新增订单与上年同期相比增加95.36%,为后续业绩的 增长提供了有力保障。 2022年与2021年签订销售订单金额对比(不含Demo订单) 2、2022年归属于上市公司股东的净利润36,851.76万元,同比增长438.09%,增加 30,003.11万元,净利率达到 21.35%,较上年同期增加 12.52个百分点。主要原因为:(1)营业收入及毛利率增长,毛利额大幅增加;(2)收入规模大幅增长,期间费用率由2021年的54.16%降低到2022年的37.16%,同比降低17.00个百分点;(3)公司不断优化产品结构,持续增强产品竞争力,本期研发投入 37,874.05万元,同比增长31.37%,持续的高强度研发投入,使公司整体营业收入、盈利能力大幅提升。

3、2022年归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润17,810.41万元,同比增加26,010.60万元。主要为:(1)归属于上市公司股东的净利润同比增加30,003.11万元;(2)非经常性损益同比增加3,992.51万元,其中:2022年股权投资产生的公允价值变动收益同比增加 1,625.82万元、获得政府补助确认的其他收益同比增加1,528.68万元。

4、2022年经营活动产生的现金流量净额24,762.59万元,同比增长80.12%,主要系公司订单及营业收入大幅增加带来的销售回款增长。

5、 2022年末归属于上市公司股东的净资产371,153.10万元,同比增长211.21%。

主要系 2022年 4月完成首次公开发行股票并在科创板上市收到募集资金净额212,759.73万元,本期实现归属于上市公司股东的净利润36,851,76万元。

6、2022年末总资产731,328.65万元,同比增长190.47%,主要系2022年4月完成首次公开发行股票并在科创板上市收到募集资金、销售回款大幅增长、期末在手订单持续增加对应的材料备货及发出商品增加等原因。

7、2022年基本每股收益、稀释每股收益比上年同期分别增长 341.67%、340.28%,扣除非经常性损益后的基本每股收益比上年同期每股增加 2.40元,主要系公司营业收入增长、净利润增加。

七、境内外会计准则下会计数据差异
(一) 同时按照国际会计准则与按中国会计准则披露的财务报告中净利润和归属于上市公司股东的净资产差异情况
□适用 √不适用
(二) 同时按照境外会计准则与按中国会计准则披露的财务报告中净利润和归属于上市公司股东的净资产差异情况
□适用 √不适用
(三) 境内外会计准则差异的说明:
□适用 √不适用

八、2022年分季度主要财务数据
单位:元 币种:人民币

 第一季度 (1-3月份)第二季度 (4-6月份)第三季度 (7-9月份)第四季度 (10-12月份)
营业收入107,517,692.90415,699,178.00468,306,876.31714,038,976.61
归属于上市公司 股东的净利润-11,878,144.75120,000,836.87129,370,235.32131,024,622.70
归属于上市公司 股东的扣除非经 常性损益后的净 利润-21,658,876.2270,809,152.9962,624,489.5766,329,334.19
经营活动产生的 现金流量净额69,512,007.12191,829,634.38-378,955,611.77365,239,838.09

季度数据与已披露定期报告数据差异说明
□适用 √不适用

九、非经常性损益项目和金额
√适用 □不适用

非经常性损益项目2022年金额附注 (如 适 用)2021年金额2020年金额
非流动资产处置损益-51,952.80 -19,925.04-19,541.64
计入当期损益的政府补 助,但与公司正常经营 业务密切相关,符合国 家政策规定、按照一定 标准定额或定量持续享 受的政府补助除外170,821,355.45 155, 534,586.0550,961,378.96
除同公司正常经营业务 相关的有效套期保值业 务外,持有交易性金融 资产、衍生金融资产、 交易性金融负债、衍生 金融负债产生的公允价 值变动损益,以及处置 交易性金融资产、衍生 金融资产、交易性金融 负债、衍生金融负债和 其他债权投资取得的投 资收益30,151,080.95 --
单独进行减值测试的应 收款项、合同资产减值 准备转回- 524,923.00-
除上述各项之外的其他 营业外收入和支出-244,026.16 -8,475.702,071,648.56
其他符合非经常性损益 定义的损益项目-3,505,673.03 - 1,824,418.05-6,856,663.06
减:所得税影响额- --
少数股东权益影响 额(税后)6,757,334.80 3,718,339.86529,635.23
合计190,413,449.61 150,488,350.4045,627,187.59

对公司根据《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》定义界定的非经常性损益项目,以及把《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目,应说明原因。

□适用 √不适用

十、采用公允价值计量的项目
√适用 □不适用
单位:元 币种:人民币

项目名称期初余额期末余额当期变动对当期利润的影
    响金额
交易性金融资 产-46,108,915.0046,108,915.0030,151,080.95
其他非流动金 融资产-20,000,000.0020,000,000.00-
合计-66,108,915.0066,108,915.0030,151,080.95

十一、非企业会计准则业绩指标说明
√适用 □不适用
单位:万元 币种:人民币

项目名称2022年2021年本期比上年同期 增减(%)
剔除股份支付费用(第二类限制性股 票、股票增值权)影响后,归属于上市 公司股东的净利润39,051.056,848.65470.20
剔除股份支付费用(第二类限制性股 票、股票增值权)影响后,归属于上市 公司股东的扣除非经常性损益后的净 利润20,009.71-8,200.19-


十二、因国家秘密、商业秘密等原因的信息暂缓、豁免情况说明
□适用 √不适用
第三节 管理层讨论与分析
一、经营情况讨论与分析
集成电路行业是支撑经济发展、社会进步、国防安全的重要力量,而高端半导体设备是驱动这一产业发展的基石。在数字经济成为经济发展新动力的趋势下,半导体芯片技术持续迭代发展,并逐步向精密化、微小化发展,对制造工艺技术不断提出挑战,高端半导体设备的重要地位日益凸显。在经济发展与行业发展的双驱动下,产生巨大的半导体设备市场空间,2022年全球半导体制造设备的销售额达1076亿美元。

在半导体设备中,薄膜沉积设备、光刻设备、刻蚀设备共同构成芯片制造三大核心设备,决定了芯片制造工艺的先进程度。而薄膜沉积设备所沉积的薄膜是芯片结构内的功能材料层,直接影响芯片的性能,且不同芯片结构所需要的薄膜材料种类不同、沉积工序不同、性能指标不同,对薄膜材料性能的要求极其严格。由此可见,薄膜设备研制技术难度也极高,相应产生了巨大的薄膜沉积设备市场,其市场规模约占晶圆制造设备半导体设备及晶圆制造价值占比 数据来源:SEMI,同行业公司定期报告(2022年) 公司自设立以来,一直在高端半导体设备领域深耕,并专注于薄膜沉积设备的研 发和产业化应用。公司凭借多年的自主研发经验和技术积累,现已拥有多项具有国际 先进水平的核心技术,形成了以PECVD(等离子体增强化学气相沉积)、ALD(原子层 沉积)、SACVD(次常压化学气相沉积)及HDPCVD(高密度等离子体增强化学气相沉 积)为主的薄膜设备系列产品,在集成电路逻辑芯片、存储芯片制造等领域得到广泛 应用。 PECVD、ALD、SACVD及HDPCVD设备均属于CVD(化学气相沉积)细分领域产品, 不同的设备技术原理不同,所沉积的薄膜种类和性能不同,适用于芯片内不同的应用 工序,主要应用具体如图示: 在逻辑芯片中的应用图示 在3D NAND存储芯片中的应用图示 在DRAM存储芯片中的应用图示 随着“后摩尔时代”的来临,芯片制程持续缩小并接近物理极限,不能再只依赖缩短工艺极限实现最优的芯片性能和复杂的芯片结构,而是转向通过新的芯片设计架构和芯片堆叠的方式来实现,因此,产生了新的设备需求。面向新的技术趋势和市场需求,公司积极进军高端半导体设备的前沿技术领域,研制了应用于晶圆级三维集成领域的混合键合(Hybrid Bonding)设备产品系列,同时,该设备还能兼容熔融键合(Fusion Bonding)。键合设备主要应用原理如图示:

晶圆键合设备应用示意图 报告期内,公司面向国内集成电路芯片制造技术发展及市场需求,充分发挥公司在研发团队、技术储备、客户资源及售后服务等方面的优势,紧抓国内半导体产业高速发展的市场机遇,坚持以技术和产品创新驱动业务发展,持续保持新产品、新工艺及新技术的研发和投入,增强产品市场竞争力,同时,持续强化公司运营管理,促进公司持续、稳健、快速的发展,在经营业绩、产品研发、市场销售等诸多方面取得了突出的进展。

1、报告期内主要经营情况
报告期内,公司受益于国内半导体行业良好的发展态势,国内半导体行业设备需求增加,同时公司产品竞争力持续增强,销售订单大幅增加,营业收入维持高增长趋势。

2022年实现营业收入170,556.27万元,较上年同期增长125.02%;实现归属于上市公司股东的净利润36,851.76万元,较上年同期增长438.09%,归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润17,810.41万元,较上年同期增加26,010.60万元,盈利能力持续增强。

截至报告期末,公司总资产731,328.65万元,较期初增长190.47%;归属于母公司的所有者权益371,153.10万元,较期初增长211.21%。公司资产质量良好,财务状况稳健。

2、公司产品研发及产业化进展情况
报告期内,公司继续保持较高水平的研发投入,研发投入金额达到37,874.05万元,同比增加 31.37%,研发投入占比达 22.21%。公司通过高强度的研发投入,保持细分领域内产品技术领先,同时,不断丰富设备产品品类,拓宽薄膜工艺应用覆盖面,在现有产品产业化应用、新产品研发、验证等方面均取得了突破性进展。

公司薄膜系列产品在晶圆制造产线的量产应用规模持续扩大,截至本报告披露日,公司设备在客户端产线生产产品的累计流片量已突破1亿片。报告期内,公司设备在客国际同类设备水平)。

(1)PECVD系列产品研发及产业化进展情况
PECVD设备是公司核心产品,也是芯片制造的核心设备之一。主要功能是在将硅片控制到预定温度后,使用射频电磁波作为能量源在硅片上方形成低温等离子体,通入适当的化学气体,在等离子体的激活下,经一系列化学反应在硅片表面形成固态薄膜。相比传统的CVD设备,PECVD设备在相对较低的反应温度下形成高致密度、高性能薄膜,不破坏已有薄膜和已形成的底层电路,实现更快的薄膜沉积速度,是芯片制造薄膜沉积工艺中运用最广泛的设备种类。

公司自成立就开始研制PECVD设备,在PECVD设备技术领域具有十余年的研发和产业化经验,并形成了覆盖全系列PECVD薄膜材料的设备,主要包括PECVD产品和UV Cure产品:

产品系列产品类型主要产品型号主要薄膜工艺
PECVDPECVDPF-300TSiO、SiN、TEOS、SiON、SiOC、 2 FSG、BPSG、PSG等通用介质薄膜材 料,以及LoKⅠ、LoKⅡ、ACHM、 ADCⅠ、HTN、a-Si等先进介质薄膜 材料
  PF-300T eX 
  NF-300H 
 UV CurePF-300T UpsilonHTN、LoKⅡ等薄膜工艺
具体进展情况如下:
① PECVD产品
报告期内,公司PECVD设备持续保持竞争优势,订单量稳定增长,在客户产线验证通过的薄膜种类及性能指标类型持续增加,工艺覆盖率不断提升,市场占有率持续攀升,获得现有及新客户的批量订单和批量验收,现已广泛应用于国内集成电路制造产线。

在量产设备PECVD(PF-300T、PF-300T eX)方面,公司结合客户需求及产线应用情况,持续完善设备性能,优化产品功能,并针对下游客户对于不同材料薄膜种类及性能指标的需求,持续丰富公司薄膜性能指标,提供不同工艺型号的PECVD设备。报告期内,公司持续扩大通用介质薄膜材料及先进薄膜材料工艺的应用覆盖面,多种不同工艺指标的先进薄膜材料(包括LoKⅠ、ACHM、ADCⅠ、HTN等)和设备均通过客户验证,进入量此外,公司在现有PECVD设备基础上,针对先进封装领域晶圆的特殊性,采用独特的加热盘、传片平台等设计,开发了反应温度在80℃-200℃范围内(通常反应温度在260℃-550℃范围内)的低温薄膜沉积设备,可以沉积低温的 SiN、TEOS等介质薄膜材料,并在先进封装领域实现量产应用。

在PECVD(PF-300T)基础上,公司推出了PECVD(NF-300H)型号设备,已实现首台产业化应用,并取得客户复购订单,可以沉积Thick TEOS等介质材料薄膜。NF-300H相较于PF-300T设备平台具备高产能及良好工艺性能指标。

② UV Cure产品
UV Cure设备主要用于薄膜紫外线固化处理,该工序通过对薄膜进行后处理,有效改善薄膜性能,提升薄膜应力、硬度等关键性能指标。

公司UV Cure设备是基于现有PF-300T平台开发,可以与PECVD设备成套使用,为PECVD HTN、LokⅡ等薄膜沉积进行紫外线固化处理。报告期内,公司UV Cure(HTN工艺)设备已通过不同客户产线验证,实现销售收入,并实现产业化应用。

(2)ALD系列产品研发及产业化进展情况
ALD设备是一种可以将反应材料以单原子膜形式通过循环反应逐层沉积在硅片表面,形成对复杂形貌的基底表面全覆盖成膜的专用设备。由于 ALD设备可以实现高深宽比、极窄沟槽开口的优异台阶覆盖率及精确薄膜厚度控制,实现了芯片制造工艺中关键尺寸的精度控制,在结构复杂、薄膜厚度要求精准的先进逻辑芯片、存储芯片制造中,ALD 是必不可少的核心设备之一。

公司 ALD产品系列包括 PE-ALD(等离子体增强原子层沉积)产品和 Thermal-ALD(热处理原子层沉积)产品。


产品系列产品类型主要产品型号主要薄膜工艺
ALDPE-ALDPF-300T AstraSiO、SiN等多种介质薄膜材料 2
  NF-300H Astra 
 Thermal-ALDPF-300T AltairAlO等多种金属化合物薄膜材料 2 3
  TS-300 Altair 
① PE-ALD产品
PE-ALD是利用等离子体增强反应活性,提高反应速率,具有相对较快的薄膜沉积速度、较低的沉积温度等特点,适用于沉积硅基介质薄膜材料。

公司在PECVD设备核心技术的基础上,结合理论分析及仿真计算,对反应腔内的气路、关键件、喷淋头等进行创新设计,推出了PE-ALD设备,并实现了产业化应用,可以沉积高温、低温、高质量等多种指标要求的SiO介质薄膜材料,以及SiN等介质薄膜材2
料,在芯片填孔(Gap-fill)、侧墙(Spacer)、衬垫层(Liner)等工艺中有广泛的应用,以实现更小图形化以及特定的隔离功能。报告期内,公司PE-ALD(PF-300T Astra)产品在现有客户端成功完成产业化验证,取得了进一步突破性进展,PE-ALD(NF-300H Astra)在客户端验证进展顺利。此外,公司持续拓展PE-ALD薄膜种类及工艺应用,并获得了不同客户的订单。

② Thermal-ALD产品
Thermal-ALD是利用热能使反应物分子吸附在基底表面,再进行化学反应,生成薄膜,具有相对较高的反应温度、优越的台阶覆盖率、高薄膜质量等特点,适用于金属、金属氧化物、金属氮化物等薄膜沉积。

报告期内,公司Thermal-ALD(PF-300T Altair、TS-300 Altair)设备已完成研发,并出货至不同客户端进行验证,可以沉积AlO等金属化合物薄膜。

2 3
(3)SACVD系列产品研发及产业化进展情况
SACVD 设备主要应用于沟槽填充工艺,是集成电路制造的重要设备之一。在集成电路结构中,沟槽孔洞的深宽比越来越大,SACVD反应腔环境具有特有的高温(400℃-550℃)、高压(30-600Torr)环境,具有快速优越的填孔能力。


产品系列主要产品型号主要薄膜工艺
SACVDPF-300T SASA TEOS等介质薄膜材料
 PF-300T SAFBPSG、SAF等介质薄膜材料
报告期内,公司 SACVD产品持续提升产品竞争力,积极拓展应用领域,可实现 SA TEOS、BPSG、SAF薄膜工艺沉积的SACVD设备均通过客户验证,实现了产业化应用。目前公司SACVD产品已在国内集成电路制造产线实现了广泛应用,并取得了现有及新客户订单。

(4)HDPCVD系列产品研发及产业化进展情况

产品系列主要产品型号主要薄膜工艺
HDPCVDPF-300T HesperSiO、FSG、PSG等介质薄膜材料 2
 TS-300S Hesper 
HDPCVD设备可以同时进行薄膜沉积和溅射,所沉积的薄膜致密度更高,杂质含量更低。公司研制的HDPCVD (PF-300T Hesper)设备已出货至客户端进行产业化验证,截至本报告披露日,该设备已通过产线验证,实现销售。公司HDPCVD(PF-300T Hesper、TS-300S Hesper)设备已取得了不同客户的订单,可以沉积SiO、FSG、PSG等介质材料薄2
膜。

(5)混合键合系列产品研发及产业化进展情况
混合键合设备作为晶圆级三维集成应用中最前沿的核心设备之一,可以提供键合面最小为1um间距的金属导线连接点以实现芯片或晶圆的堆叠,使芯片间的通信速度提升至业界先进水平,并能提高整体芯片性能。

公司混合键合系列产品包括晶圆对晶圆键合(Wafer to Wafer Bonding)产品和芯片对晶圆键合表面预处理(Die to Wafer Bonding Preparation and Activation)产品,可以实现直接或基于层间的键合工艺、复杂的常温共价键合工艺。


产品系列主要产品型号主要应用
晶圆对晶圆键合产品Dione 300晶圆对晶圆常温混合键合(Hybrid Bonding)和熔融键合(Fusion Bonding)
芯片对晶圆键合表面 预处理产品Pollux晶圆及切割后芯片的表面活化及清洗

①晶圆对晶圆键合产品
晶圆对晶圆键合产品可以实现复杂的 12英寸晶圆对晶圆常温共价键合,搭载了晶圆表面活化、清洗、键合和自研的键合精度检测模块,具有对准精度高、产能高、无间隙等性能特点。报告期内,公司成功研制了首台晶圆对晶圆键合产品Dione 300,并出货至客户端进行验证, 取得了突破性进展。

②芯片对晶圆键合表面预处理产品
芯片对晶圆键合表面预处理产品可以实现芯片对晶圆键合前表面预处理工序,包括晶圆及切割后芯片的表面活化及清洗工艺。报告期内,公司已完成芯片对晶圆键合表面预处理产品Pollux的研发。截至本报告披露日,该产品已出货至客户端进行验证。

3、供应链保障方面
公司持续优化供应链管理体系,建立了覆盖生产与库存管理、采购管理、物流管理等多维度的协调机制。公司一直非常注重供应商的培养,持续完善供应商支持与绩效考核机制,促进供应商产品质量与产品性能的不断提升。公司强化与供应商的合作深度并扩大合作范围,通过提前策划、共享需求预测等方式不断调整优化供应链结构,采用全球化、多货源的供应策略。同时,根据客户需求和研发需求,合理规划部件采购体量及进度,保证关键部件的及时稳定供应。报告期内,公司上游供应链总体保持稳定,有效保障设备生产、及时交付。

4、市场销售情况
报告期内,公司继续聚焦中国大陆薄膜沉积市场,紧抓国内下游集成电路芯片制造厂扩产带来的市场机遇,凭借公司在产品技术、客户资源、售后服务等方面的核心竞争优势,同时,不断优化公司产品结构,持续增强产品竞争力,进一步促进客户群体的拓展及客户结构的多元化,公司产品的市场占有率和客户认可度持续提升。

公司现有PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD等薄膜系列产品均获得了现有及新客户订单,销售订单大幅增加。公司量产产品在客户产线验证进展顺利,并取得良好成果,在晶圆制造产线的量产应用规模持续扩大,产品销量同比大幅度增加。此外,公司新推出的键合系列产品验证进展顺利。公司继续保持与下游客户深入稳定的合作,持续提供定制化、高性能的设备产品,以及高质量的售后服务,为公司未来业务增长奠定坚实基础。

5、人才队伍建设情况
报告期内,公司结合业务发展需要,持续加强人才梯队建设,扩大人员特别是研发人员的规模。在人才引进方面,积极吸引行业经验丰富的管理及技术人才,并从国内高校选拔优秀的毕业生。在人才培养方面,公司持续优化培训体系,充分发挥绩效考核激励机制,增强员工的荣誉感和凝聚力;持续加强与高校的紧密合作,实行厂校挂钩定向招聘;与国内高校建立联合培养机制,定向培养后备人才,为公司人才队伍建设提供有力支撑。报告期内,公司实施了上市后首次股权激励计划,2022年11月22日,公司向激励对象授予280万股第二类限制性股票、40万份股票增值权,该次股权激励计划的实施将进一步促进公司人才队伍的建设和稳定,助力公司长远发展。

6、营运管理方面
报告期内,公司不断提升产品生产制造水平,优化物料运营管理,有效提升装配制造及时率、合格率。公司持续强化产品质量的管理体系,并保持较高水平的售后技术支持服务,提升客户满意度。公司设有EHS(环境、健康、安全)合规管理部门,对公司生产运营进行监督,保障公司生产的合规和安全。公司积极布局信息系统技术防护和安全保密管理,保障公司网络安全、数据安全。

7、公司首发上市及募投项目建设进展情况
(1)公司首发上市
报告期内,公司完成了首次公开发行股票并在上交所科创板上市,本次首发上市向社会公众公开发行人民币普通股(A股)股票31,619,800股,每股面值为人民币1元,发行价格为每股人民币71.88元,募集资金总额为人民币227,283.12万元,扣除发行费用人民币14,523.40万元后,募集资金净额为人民币212,759.73万元。公司首发上市的成功,为公司扩大生产规模、开发新工艺和新产品提供了有力的资金保障。

(2)募投项目建设进展
①公司募投项目一“高端半导体设备扩产项目”
该项目在公司原有半导体薄膜设备研发和生产基地基础上进行二期洁净厂房建设、配套设施及生产自动化管理系统建设。报告期内,二期洁净厂房已基本完成建设并投入使用。

②公司募投项目三“ALD设备研发与产业化项目” 为进一步完善产业布局,公司在上海临港新片区购置整体厂房,建设新的研发及生 产基地(建筑面积为5181.68平方米)。该项目依托上海临港新片区集成电路产业集群 的优势和上海地区的人才优势,开展ALD薄膜沉积设备的研发与产业化。报告期内,该 基地已基本完成建设并投入使用,并按计划开始实施研发和生产工作。 ③超募资金投资建设新项目“半导体先进工艺装备研发与产业化项目” 公司为进一步扩大产业规模,加强自身在细分领域的竞争优势,在上海临港新片区另行建设一个研发与产业化基地(土地面积为 39990.20平方米),用于开发满足先进工艺应用需求的薄膜沉积设备,并实现以临港为中心客户群所需半导体设备的产业化。

截至报告期末,公司已取得土地摘牌并完成《上海市国有建设用地使用权出让合同》的签署,公司后续将根据计划稳步推进超募资金投资项目建设。

8、对外投资
报告期内,公司为更好地完善产业布局,增强上游产业链的稳定性,开展了以下对外投资事项:
(1)向拓荆上海增资
公司使用募集资金人民币27,000万元向拓荆上海增资,以实施募投项目三“ALD设备研发与产业化项目”。此外,公司使用超募资金人民币 6,000万元向拓荆上海增资,以实施超募项目“半导体先进工艺装备研发与产业化项目”。截至报告期末,公司持有拓荆上海100%股权,后续公司将根据超募项目进展情况继续向拓荆上海增资。

(2)向恒运昌增资并参股恒运昌
公司以自有资金人民币2,000万元向恒运昌增资。截至报告期末,公司持有恒运昌3.3860%股权。

(3)认购富创精密首次公开发行股票并在科创板上市战略配售股票 公司使用自有资金约人民币 3000万元认购富创精密首次公开发行股票并在科创板上市战略配售股票。2022年10月10日,富创精密成功在上交所科创板上市,公司获配42.65万股,限售期为自富创精密上市之日起12个月。

(4)设立美国全资子公司
公司设立了全资子公司拓荆美国,该公司的设立有利于公司加强供应链合作,调研国际市场。截至报告期末,拓荆美国尚未实际运营。

9、公司治理情况
公司严格依照《公司法》《证券法》《上市规则》以及《公司章程》等有关法律、法规、规范性文件的要求不断完善公司的治理结构,提高经营管理决策的科学性、合理性、合规性和有效性,提升公司的治理和规范运作水平,为公司业务目标的实现奠定良好的基础。

10、公司信息披露及防范内幕交易情况
公司高度重视上市公司规范运作、信息披露管理工作和投资者关系管理工作。公司根据相关法律、法规和部门规章,结合公司实际情况,制定了股东大会、董事会、监事会、信息披露和投资者管理等规范运作的内部制度,并严格遵照执行;公司认真履行信息披露义务,确保信息披露的及时、真实、准确和完整;通过投资者电话会议、传真、电子邮箱和投资者关系互动平台、接待投资者现场调研等多种方式与投资者进行沟通交流,建立良好的互动关系。

公司高度重视内幕交易防范,做好内幕信息知情人登记管理和防范内幕交易工作。对公司董事、监事、高级管理人员及相关员工定期作出禁止内幕交易的警示及教育,敦促董事、监事、高级管理人员及相关知情人员严格履行保密义务并严格遵守买卖股票规定。

二、报告期内公司所从事的主要业务、经营模式、行业情况及研发情况说明 (一) 主要业务、主要产品或服务情况
1、主要业务情况
公司主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售与技术服务。自成立以来,公司始终坚持自主研发,目前已形成PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD等薄膜设备产品系列,该产品系列已广泛应用于国内集成电路逻辑芯片、存储芯片等制造产线。同时,公司开发了应用于晶圆级三维集成领域的混合键合设备产品系列。
2、主要产品情况
报告期内,公司不断完善现有量产薄膜设备系列产品性能,保持产品核心竞争力,进一步提升量产产品的市场占有率。同时,持续丰富公司产品品类,拓展工艺应用领域。

公司PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD及键合系列产品情况如下:
(1)PECVD系列产品
① PECVD产品

产品型号产品图片产品应用情况
PF-300T 在集成电路逻辑芯片、存储芯片制造及先 进封装等领域已实现产业化应用,可以沉 积 SiO、SiN、TEOS、SiON、SiOC、FSG、 2 BPSG、PSG等通用介质薄膜材料,以及 LoKⅠ、LoKⅡ、ACHM、ADCⅠ、HTN、a-Si等 先进介质薄膜材料,可实现8英寸与12英 寸 PECVD设备兼容,具有高产能,低生产 成本优势。
PF-300T eX  
NF-300H 在集成电路存储芯片制造领域已实现产业 化应用,适用于沉积时间需求较长的薄膜 工艺,如Thick TEOS介质材料薄膜。
② UV Cure产品

产品型号产品图片应用领域
PF-300T Upsilon 在集成电路芯片制造领域已实现产业化 应用。该设备可以与PECVD成套使用,为 PECVD HTN、Lok II等薄膜沉积进行紫外 线固化处理。
(2)ALD系列产品
① PE-ALD产品

产品型号产品图片产品应用情况
PF-300T Astra 在集成电路逻辑芯片、存储制造及先进 封装领域已实现产业化应用,可以沉积 高温、低温、高质量的SiO、SiN等介 2 质薄膜材料。
NF-300H Astra 主要应用于集成电路存储芯片制造领 域,正在进行产业化验证,可以沉积高 温、低温、高质量的SiO、SiN等介质 2 薄膜材料。
② Thermal-ALD产品

产品型号产品图片产品应用情况
PF-300T Altair 主要应用于集成电路逻辑芯片、存储 芯片制造领域,正在进行产业化验 证,可以沉积 AlO等金属化合物薄 2 3 膜材料。
TS-300 Altair 主要应用于集成电路逻辑芯片、存储 芯片制造领域,正在进行产业化验 证,可以沉积 AlO等金属化合物薄 2 3 膜材料。
(3)SACVD系列产品

产品型号产品图片产品应用情况
PF-300T SA 广泛应用于集成电路逻辑芯片、存储芯片 制造领域,可以沉积SA TEOS等介质薄膜 材料,可实现8英寸与12英寸SACVD设 备兼容。
PF-300T SAF 广泛应用于集成电路逻辑芯片、存储芯片 制造领域,可以沉积BPSG、SAF等介质薄 膜材料,可实现 8英寸与 12英寸 SACVD 设备兼容。

(4)HDPCVD系列产品

产品型号产品图片产品应用情况
PF-300T Hesper 主要应用于集成电路逻辑芯片、存储芯片 制造领域,正在进行产业化验证,可以沉 积SiO、FSG、PSG等介质薄膜材料。 2
TS-300S Hesper 主要应用于集成电路逻辑芯片、存储芯片 制造领域,正在进行产业化验证,可以沉 积SiO、FSG、PSG等介质薄膜材料。 2
(5)混合键合系列产品
① 晶圆对晶圆键合产品

产品型号产品应用情况
Dione 300主要应用于晶圆级三维集成芯片制造领域,正在进行产 业化验证,可实现 12寸晶圆对晶圆的混合键合和熔融 键合。
② 芯片对晶圆键合表面预处理产品

产品型号产品应用情况
Pollux主要应用于晶圆级三维集成芯片制造领域,正在进行产业 化验证,主要应用于晶圆及切割后芯片的表面活化及清洗。
注:随着公司产品种类的不断丰富,公司持续完善产品型号命名规则。报告期内,经履行公司内部决策程序,对公司产品型号名称进行调整,结合设备平台类型及反应腔类别重新命名产品型号。(未完)
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