[中报]华特气体(688268):广东华特气体股份有限公司2023年半年度报告

时间:2023年08月10日 11:31:30 中财网

原标题:华特气体:广东华特气体股份有限公司2023年半年度报告

公司代码:688268 公司简称:华特气体





广东华特气体股份有限公司
2023年半年度报告








重要提示
一、 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证半年度报告内容的真实性、准确性、完整性,不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏,并承担个别和连带的法律责任。


二、 重大风险提示
公司已在本报告中详细描述存在的风险,敬请查阅“第三节 管理层讨论与分析”相关内容。


三、 公司全体董事出席董事会会议。


四、 本半年度报告未经审计。


五、 公司负责人石平湘、主管会计工作负责人陈丽萍及会计机构负责人(会计主管人员)郭湛泉声明:保证半年度报告中财务报告的真实、准确、完整。


六、 董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案 公司报告期内不进行利润分配或公积金转增股本。


七、 是否存在公司治理特殊安排等重要事项
□适用 √不适用

八、 前瞻性陈述的风险声明
√适用 □不适用
本报告中涉及的未来计划、发展战略等前瞻性描述不构成公司对投资者的实质承诺,请投资者注意投资风险。


九、 是否存在被控股股东及其他关联方非经营性占用资金情况


十、 是否存在违反规定决策程序对外提供担保的情况?


十一、 是否存在半数以上董事无法保证公司所披露半年度报告的真实性、准确性和完整性 否

十二、 其他
□适用 √不适用

目录
第一节 释义 ..................................................................................................................................... 4
第二节 公司简介和主要财务指标 ................................................................................................. 6
第三节 管理层讨论与分析 ............................................................................................................. 9
第四节 公司治理 ........................................................................................................................... 40
第五节 环境与社会责任 ............................................................................................................... 43
第六节 重要事项 ........................................................................................................................... 46
第七节 股份变动及股东情况 ....................................................................................................... 59
第八节 优先股相关情况 ............................................................................................................... 65
第九节 债券相关情况 ................................................................................................................... 65
第十节 财务报告 ........................................................................................................................... 68



备查文件目录载有法定代表人签名并盖章的半年报全文和摘要
 载有公司负责人、主管会计工作负责人、会计机构负责人(会计主管 人员)签名并盖章的财务报表
 报告期内公开披露过的所有公司文件的正文及公告原稿



第一节 释义
在本报告书中,除非文义另有所指,下列词语具有如下含义:

常用词语释义  
股份公司、华特股 份、华特气体、华特 有限公司、本公司广东华特气体股份有限公司
华特投资广东华特投资管理有限公司(本公司控股股东)
华弘投资厦门华弘多福投资合伙企业(有限合伙),原天津华弘投资管理合 伙企业(有限合伙)(本公司股东)
华和投资厦门华和多福投资合伙企业(有限合伙),原天津华和投资管理合 伙企业(有限合伙)(本公司股东)
华进投资厦门华进多福投资合伙企业(有限合伙),原天津华进投资管理合 伙企业(有限合伙)(本公司股东)
华南研究所广东华南特种气体研究所有限公司(本公司全资子公司)
新会研究所江门市新会特种气体研究所有限公司(本公司全资子公司)
佛山林特佛山市林特深冷液体有限公司(本公司全资子公司)
惠阳华隆惠州市惠阳华隆工业气体有限公司(本公司参股公司)
深圳华祥深圳市华祥化工有限公司(本公司全资子公司)
江西华东江西省华东特种气体有限公司(本公司全资子公司)
东莞高能东莞市高能工业气体有限公司(本公司全资子公司)
中山华新中山市华新气体有限公司(本公司全资子公司)
绥宁联合化工绥宁县联合化工有限责任公司(本公司全资子公司)
江西华特江西华特电子化学品有限公司(本公司全资子公司)
亚太气体亚太气体实业有限公司(Asia Pacific Gas Enterprise Co.,Ltd) (本公司全资子公司)
清远联升清远市联升空气液化有限公司(本公司参股公司)
华普科技佛山华普气体科技有限公司(本公司控股子公司)
浙江华科浙江德清华科气体有限公司(本公司全资子公司)
华延科技广东华延科技有限公司(本公司控股子公司)
华凯气体黑河市华凯气体有限公司(本公司控股子公司)
华跃自动化广东省华跃自动化有限公司(本公司控股子公司)
四川华启四川华启新材料科技有限公司(本公司全资子公司)
泰国华特Technology (Thailand) Co., Ltd.(华特气体科技(泰国)有限公 司)(本公司全资子公司)
南通华特南通华特新材料有限公司(本公司全资子公司)
香港SPV亚洲国际气体有限责任公司(ASIA INTERNATIONAL GAS COMPANY LIMITED)(本公司全资子公司)
四会润盈能源广东肇庆四会市润盈能源科技有限公司(本公司全资子公司)
新加坡AIG亚洲工业气体有限公司(Asia Industrial Gases Pte Ltd)(本公 司全资子公司)
ASML荷兰阿斯麦,全球最大的半导体设备制造商之一
GIGAPHOTON曝光准分子激光机制造商
中芯国际中芯国际集成电路制造有限公司
SEMI国际半导体产业协会
SAI独立咨询公司——战略分析公司(Strategic Analysis Inc)
华润微电子华润微电子有限公司
台积电台湾积体电路制造股份有限公司
华虹宏力上海华虹宏力半导体制造有限公司
长江存储长江存储科技有限责任公司
英诺赛科英诺赛科(珠海)科技有限公司、英诺赛科(苏州)半导体有限公司
士兰微杭州士兰微电子股份有限公司
厦门联芯厦门联芯集成电路制造有限公司
SK海力士韩国SK海力士株式会社
林德集团林德公司(Linde PLC)
空气产品集团美国空气产品有限公司(Air Products, Inc)
法夜空法国液化空气集团
Merck默克集团
铠侠(日本)铠侠株式会社(原日本东芝存储器部门)
英飞凌德国英飞凌科技公司
三星韩国三星集团
日本大金日本大金工业株式会社
日本酸素控股日本酸素控股株式会社,原大阳日酸株式会社
英特尔英特尔公司(Intel Corporation)
德州仪器美国德州仪器公司(Texas Instruments Inc.)
美光科技美光科技有限公司(Micron Technology, Inc.)
中国证监会中国证券监督委员会
《公司法》中华人民共和国公司法
《证券法》中华人民共和国证券法
《公司章程》《广东华特气体股份有限公司章程》
股东大会广东华特气体股份有限公司股东大会
董事会广东华特气体股份有限公司董事会
监事会广东华特气体股份有限公司监事会
三会股东大会、董事会、监事会
报告期2023年1月1日至2023年6月30日
报告期末2023年6月30日
元、万元、亿元人民币元、人民币万元、人民币亿元
普通工业气体、普气纯度在99.99%纯度以内液态和气态氧、氮、氩,以及普通纯度的丙 烷、二氧化碳、乙炔、丁烷、工业氨、液化石油气、天然气等气体
特种气体、特气所有高纯度的工业气体,硅烷、高纯氨、氟碳类气体、锗烷、一氧 化碳,用于电子、消防、医疗卫生、食品等行业的单一气体以及照 明气体、激光气体、标准气体等所有混合气体
电子特气应用于集成电路、新型显示等半导体领域的特种气体
电子化学品电子工业使用的专用化学品和化工材料
空气分离/空分通过液化、精馏等方式把空气中的组分进行分离,得到氧、氮、氩、 氖、氪、氙等气体
气体合成原料进入合成反应器,在一定温度、压力及催化剂作用下,发生氧 化、还原、裂解、加成、取代等化学反应,得到所需的产品
气体纯化将低纯度的原料气,采用精馏、吸附等方式,精制成更高纯度的产 品
气体混配将两种或两种以上组分的气体按照一定的比例依次充入钢瓶中,最 终混合在一起,形成一种均匀的混合物质
气体充装利用专用充装设备,压缩气体、液化气体等充装在各类气瓶等压力 容器内的过程
02专项国家重大科技专项中的《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》 项目
氟碳类气体四氟化碳、六氟乙烷、八氟丙烷、三氟甲烷等含有氟、碳、氢元素 的气体
稀混光刻气用于半导体光刻的氪氖混合气、氟氖混合气等稀有气体混合气
杜瓦罐、低温绝热气 瓶、焊接绝热气瓶采用超级真空绝热的不锈钢压力容器,用于运输和储存低温液态气 体
汽化器一种工业和民用的节能设备,作用是把液态的气体转化为气态的气 体
标准气体标准气体是高度均匀的、良好稳定和量值准确的测定标准,它们具 有复现、保存和传递量值的基本作用,在物理、化学、生物与工程 测量领域中用于校准测量仪器和测量过程等
精馏一种利用低温使混合气体液化后,根据不同气体组分沸点的差异, 利用回流使混合物得到高纯度分离的蒸馏方法
分子筛一种具有立方晶格的硅铝酸盐化合物,具有均匀的微孔结构,能把 极性程度不同,饱和程度不同,分子大小不同及沸点不同的分子分 离开来,即具有“筛选”分子的作用
吸附用多孔固体吸附剂,将气体或液体混合物中一种或数种组分被浓集 于固体表面,而与其他组分分离的过程
煤改气根据国内节能环保政策的指导要求,实施将燃烧煤炭供热供能改为 燃烧天然气供热供能
ppmpart per million,百万分之一,用于表示某种气体组分的含量
pa压强单位帕斯卡
NNine,表示气体所达到的纯度
3D NAND三维非易失性存储设备器
LEDLight-Emitting Diode,发光二极管
ESGEnvironmental(环境)、Social(社会)和Governance(治理)的 缩写
基点百分之零点零一
IGBTInsulated Gate Bipolar Transistor,绝缘栅双极型晶体管
Fab厂Fabrication,表示集成电路制造的工厂、车间,通常指半导体晶圆 厂
AIArtificial Intelligence,人工智能
注:本报告中数据加总后与有关数据存在尾差的,若无特别说明,均系计算时四舍五入所致。


第二节 公司简介和主要财务指标

一、 公司基本情况

公司的中文名称广东华特气体股份有限公司
公司的中文简称华特气体
公司的外文名称Guangdong Huate Gas Co., Ltd
公司的外文名称缩写Huate Gas
公司的法定代表人石平湘
公司注册地址佛山市南海区里水镇和顺逢西村文头岭脚东侧
公司注册地址的历史变更情况不适用
公司办公地址佛山市南海区里水镇和顺逢西村文头岭脚东侧
公司办公地址的邮政编码528244
公司网址http://www.huategas.com
电子信箱[email protected]
报告期内变更情况查询索引不适用

二、 联系人和联系方式

 董事会秘书(信息披露境内代表)
姓名万灵芝
联系地址佛山市南海区里水镇和顺逢西村文头岭脚东侧
电话0757-81008813
传真0757-85129388
电子信箱[email protected]

三、 信息披露及备置地点变更情况简介

公司选定的信息披露报纸名称《中国证券报》(www.cs.com.cn)、《上海证券报》 (www.cnstock.com)、《证券时报》(www.stcn.com)、 《证券日报》(www.zqrb.cn)
登载半年度报告的网站地址www.sse.com.cn
公司半年度报告备置地点华特气体证券部
报告期内变更情况查询索引不适用

四、 公司股票/存托凭证简况
(一) 公司股票简况
√适用 □不适用

公司股票简况    
股票种类股票上市交易所 及板块股票简称股票代码变更前股票简称
人民币普通股(A 股)上海证券交易所 科创板华特气体688268/

(二) 公司存托凭证简况
□适用 √不适用

五、 其他有关资料
□适用 √不适用

六、 公司主要会计数据和财务指标
(一) 主要会计数据
单位:元 币种:人民币


主要会计数据本报告期 (1-6月)上年同期本报告期比上 年同期增减 (%)
营业收入740,524,489.54883,771,941.00-16.21
归属于上市公司股东的净利润74,618,814.45118,168,864.26-36.85
归属于上市公司股东的扣除非经常 性损益的净利润68,608,204.52112,567,962.96-39.05
经营活动产生的现金流量净额95,097,225.03498,743.1518,967.37
 本报告期末上年度末本报告期末比 上年度末增减 (%)
归属于上市公司股东的净资产1,795,015,955.981,541,701,279.1116.43
总资产3,192,721,018.572,394,566,121.4933.33

(二) 主要财务指标


主要财务指标本报告期 (1-6月)上年同期本报告期比上年同 期增减(%)
基本每股收益(元/股)0.620.99-37.37
稀释每股收益(元/股)0.620.98-36.73
扣除非经常性损益后的基本每股收 益(元/股)0.570.94-39.36
加权平均净资产收益率(%)4.478.3减少3.83个百分点
扣除非经常性损益后的加权平均净 资产收益率(%)4.117.9减少3.79个百分点
研发投入占营业收入的比例(%)3.143.77减少0.63个百分点

公司主要会计数据和财务指标的说明
√适用 □不适用
2023年 1-6月公司总资产较上年同比增长 33.33%,主要系本期可转换公司债券募集资金到位所致。

2023年1-6月公司净利润较上年同比下降36.85%,扣非后净利润下降39.05%,营业收入较上年同比下降16.21%,主要系(1)2022年稀有气体原料价格大幅上涨导致产品价格和收入上涨,2023年原料回归正常水平,产品销售价格和收入下降;(2)根据美国半导体行业协会(SIA)数据,2023年一季度全球半导体销售额同比下降21.30%,二季度同比下降17.30%,下游需求低迷导致公司收入和净利润下降。

经营活动产生的现金流量净额变动原因说明:本期经营活动产生的现金流量净额较上年同期增长18,967.37%,主要系上年同期因稀有气体原料价格增长较多,为保证销售稳定,增加备货,而本期相关产品市场价格回归稳定,公司备货回归正常所致。

2023年1-6月公司基本每股收益较上年同比下降37.37%,稀释每股收益较上年同比下降36.73%,扣除非经营性损益后的基本每股收益较上年同比下降 39.36%,主要系本期销售下降,利润下降所致。


七、 境内外会计准则下会计数据差异
□适用 √不适用

八、 非经常性损益项目和金额
√适用 □不适用
单位:元 币种:人民币

非经常性损益项目金额附注(如适用)
非流动资产处置损益968,735.69 
计入当期损益的政府补助,但与 公司正常经营业务密切相关,符 合国家政策规定、按照一定标准 定额或定量持续享受的政府补助 除外5,729,432.32 
除同公司正常经营业务相关的有 效套期保值业务外,持有交易性金 融资产、衍生金融资产、交易性金 融负债、衍生金融负债产生的公允 价值变动损益,以及处置交易性金 融资产、衍生金融资产、交易性金 融负债、衍生金融负债和其他债权 投资取得的投资收益429,490.75 
除上述各项之外的其他营业外收 入和支出43,307.95 
减:所得税影响额1,160,356.78 
合计6,010,609.93 

对公司根据《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》定义界定的非经常性损益项目,以及把《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目,应说明原因。

□适用 √不适用

九、 非企业会计准则业绩指标说明
□适用 √不适用
第三节 管理层讨论与分析
一、 报告期内公司所属行业及主营业务情况说明
1、主营业务基本情况
报告期内,公司主营业务以特种气体的研发、生产及销售为核心,辅以普通工业气体、气体设备与工程业务,打造一站式服务能力,能够面向全球市场提供气体应用综合解决方案。

2、公司提供的主要产品和服务情况如下:

类 别主要产品简介主要产品应用场景
特 种 气 体公司的特种气体主要面向集成电路、 新型显示面板、光伏新能源、光纤光缆等 泛半导体行业和食品和医疗等行业。随着 信息化、智能化技术的快速发展,半导体 芯片及器件产品在半导体照明、新一代移 动通信、智能电网、新能源汽车、智能驾 驶、数据中心、消费类电子等领域得到广 泛应用。公司的电子特种气体产品在电子 领域实现了包括高纯四氟化碳、高纯六氟 乙烷、光刻气、高纯二氧化碳、高纯一氧 化碳、高纯氨、高纯一氧化氮、高纯三氟 甲烷、高纯八氟丙烷、锗烷、高纯乙烯、 高纯甲烷等众多产品的进口替代。 随着半导体行业采用新型沉积和刻(1)清洗、蚀刻气:高纯四氟化碳、高纯 六氟乙烷、高纯八氟丙烷、高纯二氧化碳、高 纯三氟甲烷、高纯一氟甲烷、高纯二氟甲烷、 高纯乙烯、高纯六氟丙烷、溴化氢、三氯化硼 等; (2)光刻气:氪氖混合气、氟氖混合气等; (3)外延气体、沉积/成膜气体(亦可称 为前驱体):高纯氨、硅烷、乙硅烷等; (4)掺杂气体:乙硼烷、三氯化硼、磷烷、 锗烷等; (5)其他:氮气(6N)、氢气(6N)、氩
 蚀过程,电子特种气体的使用量将同步增 加。新应用包括低温沉积、高沉积率制程、 高纵深比结构的可流动CVD薄膜和具有更 大均匀性的高选择性深沟槽刻蚀,均旨在 提高电子器件的性能,需依靠电子特种气 体和稀有气体实现,会涉及前驱体和含氟 气体。 公司持续专注于特种气体的研发,尤 其是以半导体材料为核心的高端产品研 发为主,主攻薄膜工艺相关产品,包括介 电层和金属刻蚀、介电层沉积、钛或钨等 金属沉积、非硅材料沉积、热扩散和离子 注入、反应室清洁,以及其他先进应用的 产品。 随着消费品市场的升级和我国消费 观念的转变,公司积极开拓医疗保健、食 品等行业的民用类应用产品,积极地促进 相关行业的快速发展。气(5.5N)等; (6)医疗气体:医用氧、血气测定混合气、 环氧乙烷、消毒气等,用于诊断、手术、医学 研究等; (7)标准气体:由高纯碳氢气体配制,在 物理、化学、生物工程等领域中用于校准测量 仪器和测量过程,评价准确度和检测能力,确 定材料的特性量值; (8)激光气体:氦氖激光气、密封束激光 气等,用于国防建设、激光加工等,准分子激 光气体可广泛应用于医疗、光刻、OLED显示等 行业,在眼科LASIK手术,矫治屈光不正(近 视、远视、散光)、白癜风、银屑病、过敏性 皮炎、以及在心血管疾病中如冠心病、周围血 管疾病、心脏瓣膜病、先天性心脏病和肥厚性 心肌病等均有应用; (9)食品气体:二氧化碳、乙炔、氩等, 用于饮料气体、蔬菜/水果保鲜等; (10)电光源气体:氩、氪、氖、氙及其 混合气,用于电器、灯具生产。
普 通 工 业 气 体公司的普通工业气体产品主要为氧 气、氮气、氩气、工业氨气等。(1)氧气主要用作金属冶炼等行业的助燃 剂、化肥等化工行业的氧化剂; (2)氮气主要用作化工、机械制造、家电 等行业的保护气、金属冶炼等行业的炉温退火; (3)氩气主要用作电弧焊接的保护气、填 充光电管以及光伏行业单晶硅/多晶硅生产过 程保护气等; (4)工业氨气主要用作电厂环保脱硝处 理、味精生产、金属加工等,以及进一步纯化 得到高纯氨产品。
气 体 设 备 与 工 程气体设备主要包括低温绝热气瓶、小 铝瓶、汽化器、撬装装置、低温压力容器 等;气体工程主要是为客户提供供气系统 设计、安装、维修等配套服务,包括为特 种气体客户提供的定制化高纯洁净供气 系统服务,以保证特种气体产品在其使用 过程中的纯度、精度等保持稳定。(1)特易冷:应用于天然气存储、激光切 割、水产养殖、医院供氧、金属焊接、食品速 冻等领域。 (2)撬装产品:主要为工业用气单位、天 然气场站、燃气锅炉、工业炉窑等供气。 (3)气体容器:主要用于LO2、LAr、LN2、 LCO、LNG、NO等低温液体的盛装与运输。 2 2

(一) 主要经营模式
1、采购模式
(1)采购内容
公司主要采购气体原料、初级包装容器和气体设备相关配件。对于气体原料,供应商包括空分企业、大型金属/钢铁冶炼企业、化工企业、生产粗产品的气体公司、气体贸易商等;对于初级包装容器,供应商为生产钢瓶、储槽、储罐等的企业;对于气体设备相关配件,供应商为生产钢板、铝材、五金、阀门等产品的企业。

(2)供应商选择
公司通过广泛调查全国及全球相关原料的供应商情况,经比对筛选,初步确定供应商,再对其经营资质、生产能力、质量及稳定性、服务能力、价格等多方面进行评估,评估通过后经样品检测合格方可纳入供应商名录,建立采购合作关系。建立正式合作关系后,公司仍将围绕交期、价格、品质、服务四方面对供应商进行定期考核。通过严格、合理的供应商管理,公司保证了采购货源、质量的稳定以及采购价格合理。

(3)采购方式
对于气体原料,公司一般与主要供应商签订年度或长期框架协议,提前对产品规格、价格、品质等要素进行约定。实际需求时根据具体生产要求提前1-3天通知供应商备货,经供应商确认后货源充足后以单次订单实施采购,在订单中再对具体采购数量、交货地点、交货时间等进行明确约定。

2、生产模式
公司主要采取“以销定产”的生产模式,根据销售合同或订单制定生产计划和组织生产,并结合销售合同、过往销售状况及对销售订单的合理预测,确定合理库存量。

在生产过程方面,由于特种气体的精细化特点,针对不同的客户在杂质参数、颗粒物含量、包装规格等方面的不同要求,生产工序存在一定程度的定制化特点。

3、销售模式
公司的销售以直销为主,按客户类型可分为终端客户和国际大型气体公司。

终端客户主要包括:中芯国际、长江存储、华润微电子、士兰微、英诺赛科、HW、HS、合肥晶合、晶科能源、华虹半导体、芯恩(青岛)、和舰芯片制造(苏州)、京东方、华星光电、爱旭股份、润阳新能源、仕佳光子、英特尔(Intel,美国)、美光科技(Micron,美国)、德州仪器(TI,美国)、台积电(TSMC,台湾)、SK海力士(SK Hynix,韩国)、英飞凌(德国)、三星(SAMSUNG,韩国)、铠侠(KOXIA,日本)等。

国际大型气体公司主要为液化空气集团、林德集团、日本酸素控股、日本大金工业集团等国际巨头,也包括部分国际终端客户指定的贸易商。

公司建立了“境内+境外”的全球销售网络。境内业务方面,公司主要通过自身销售团队、品牌影响力、客户推荐等方式进行市场开拓,境内业务包含气体销售、气体设备和管道工程;境外业务方面,收购新加坡AIG之前公司暂不具备海外仓储、物流和技术服务能力,因此:(1)部分产品交于国外客户指定的国际专业气体公司,由后者交付最终客户;(2)部分产品销售给国际大型气体公司,由后者销往最终国外客户;国外市场开拓主要通过展会、网络宣传、客户介绍、子公司亚太气体建立境外客户的销售渠道等方式进行,境外业务多为特种气体的销售,公司海外销售比例及客户层次在国内气体公司中居于前列。收购新加坡AIG之后,公司在新加坡拥有了仓储、物流和技术服务能力,海外终端客户正在逐渐转为由公司直接销售。

销售定价方面,公司综合考虑成本、市场竞争情况及客户的用气规模、稳定性、信用期等因素后确定。特种气体由于具有定制化、高附加值、客户粘性强等特点,议价空间较大,毛利率较高。公司与特种气体客户的合同由框架合同和具体订单构成,客户下订单多为逐笔交易逐次下单,价格在具体订单中确定。因此,单个品种的气体产品易受供给变化、下游产业发展、竞争环境变化、客户结构区别等因素影响,其产品价格或呈现一定的波动性。境外业务客户主要为大型气体公司,行业认知度高且议价能力强,出于快速扩大境外销售规模和提升公司品牌影响力等方面考虑,其定价相对国内终端客户通常较低。公司普通工业气体销售定价主要采取随行就市,当原材料市场价格出现较明显波动时,公司可及时与客户进行协商,将原材料价格变动反映至销售价格。

气体设备与管道工程业务由于工程设备项目多与国企单位合作且采用投标模式,客户招标以定额预算执行,最终实行定额结算制。包装容器和单一撬装汽化器等设备以成本加成为核心原则,结合市场定位和客户需求数量制定价格范围,并以设备相关增值服务获得盈利。

毛利率方面,对于境内业务,公司的普通工业气体业务由于在下游用途、竞争格局、产品附加值等原因,毛利率与特种气体有所差异;特种气体由于具有定制化、高附加值、客户粘性强等特点,毛利率较高。对于境外业务,客户主要为专业气体公司,需要通过其销售渠道打入国际知名半导体制造企业,其产品毛利率相对国内直销产品略低。公司亦同时通过海外布局方式优化海外销售模式,进一步提升直供比例及盈利能力。

4、供气模式
(1)气瓶模式
针对用气规模较小的客户,公司根据客户用气需求,将瓶装气送至客户处。由于特种气体的产品种类众多,且单一品种在下游产业的使用中占比较小,客户用气存在多品种、小批量、高频次的特点,因此对于特种气体,公司多采用气瓶模式,特种气体由于单位价值较高,且基本无运输半径限制,客户在关注配送和服务能力的同时,更关注产品的质量和稳定性。而普通工业气体的气瓶模式销售相对于槽车模式量更小,其运输半径一般为50km左右,客户则更着重于气体公司的价格竞争力、配送和服务能力。

(2)特易冷模式
针对用气规模中等的客户,通过特易冷将低温液体产品运输并充装至客户储罐内。特易冷模式配送具有更方便、快速、及时等优势,可为使用频率较高的客户节省物流成本。特易冷模式运输半径一般为100km左右。客户更着重于气体公司的价格竞争力、配送和服务能力。

(3)槽车模式
针对用气规模较大的客户,提供的用气方案一般为在客户现场设置储罐和汽化器等装备,公司通过低温槽车将低温液体产品运输至客户处并充装至客户储罐中,客户有用气需求时对储罐内的液态气体通过汽化器进行气化使用。槽车模式较多见于普通工业气体和用量较大的客户,槽车模式有运输半径一般为200km左右,且由于普通工业气体产品易复制化的特点,客户更着重于气体公司的价格竞争力、配送和服务能力。

(4)现场制气模式
针对用气规模量大的客户,提供的用气方案一般为在客户现场安装空分等装备。公司通过在客户现场建立气体生产装置,直接向客户通过管道直接输送的方式供应。由于制气设备投入较大,因此需要与客户签署长期供应协议保证投资的回报。由于现场制气需配合客户生产装置连续稳定运行,因此客户更着重于工艺商的长周期现场管理与运营能力。

5、仓储和物流模式
(1)仓储模式
由于普通工业气体运输半径的限制,公司必须在销售地建立仓储物流中心,同时特种气体、气体设备业务也可借助该基地辐射周边客户,以提高运输效率、降低运输成本、增强供应稳定性。

目前,公司立足佛山,通过在深圳、中山、江门等地设立子公司,收购东莞公司,完成了珠三角地区的仓储布局与网络建设。同时公司还在湖南、江西、浙江、上海、黑龙江、四川、江苏等地设立子公司,全资收购新加坡公司,投建泰国现场制气项目,辐射范围扩至华东、华中、西南、东北等国内其他地区和亚洲乃至全球,仓储布局与网络建设日趋完善。

(2)物流模式
公司的物流模式以自主配送为主,同时以有资质的第三方配送为辅。自主配送方面,公司目前拥有的大宗液体槽车、特种气体槽车、货车等运输车辆,半径200km内均可一日送达;第三方配送方面,公司与多家有资质的物流公司签署了物流运输协议,对公司的配送能力进行有效补充。

海外业务采用海陆联运模式,公司将货物运输至境内港口,此后由第三方船运公司进行运输,并根据双方约定的不同方式完成交货。

(二) 所处行业情况
1. 行业的发展阶段、基本特点、主要技术门槛
(1)特种气体
①行业发展阶段
特种气体种类繁多,根据不同用途,对纯度、有害杂质最高含量、产品包装储运等都有极其严格的要求。特种气体按应用领域分类可分为电子特气、医疗气体、标准气体、激光气体、食品气体、电光源气体等。公司的特种气体包括:电子特种气体和其他特种气体。电子特种气体,简称电子特气Electronic Specialty Gases(ESG),是特种气体的重要分支,具有高技术、高附加值的特点,电子特气作为泛半导体的重要耗材,是半导体、液晶显示面板、光伏、LED等电子工业生产中必不可少的基础和支撑性原材料,为第二大半导体前道材料品种,被广泛应用于清洗、光刻、刻蚀、掺杂、外延沉积等工艺中。根据TECHCET发布的数据,2022年全球电子特气市场规模为50.01亿美元,同比增长10.20%,创下历史新高;受下游需求降低,稼动率下降等影响,依据TECHCET数据,预计2023年全球电子特气市场规模51亿美元,增速减缓。

2021和2022年,经济新常态下更加强调经济结构的优化升级,大规模集成电路、新型显示、高端制造、新能源、AI等战略新兴产业对中国经济增长的贡献率将愈加突出。集成电路为全球电子特气的第一大下游,2021年下半年起,受到全球性芯片短缺影响,各大晶圆公司纷纷加大了建厂投资力度。根据IC Insights发布的数据,2022年全球集成电路销售额创下历史新高,达5651亿美元,同比增长11%,2017-2022年均增速为8.68%。2022年下半年,芯片供过于求,半导体行业受行业本身供需以及新产品周期的影响,下游需求出现结构性分化,消费电子行业增速放缓,半导体销售额逐渐回落,行业在步入下行周期。2023年上半年,半导体行业继续呈去库存特征,根据美国半导体行业协会(SIA)的数据,2023年一季度,全球半导体市场延续下行态势,市场规模同比下降21.3%,二季度同比下降17.30%。

2023年晶圆厂产能扩张将放缓,投资支出降低。据SEMI所发布的《300mm晶圆厂展望报告》,在2021和2022年强劲增长后,由于内存和逻辑元件需求疲软,2023年300mm晶圆厂产能扩张将放缓,预计为735万片/月,且至2026年将达到每月960万片的历史新高,该区间内计划将有82座新厂房和产线开展运营。根据SEMI发布的《世界晶圆厂预测报告》(World Fab Forecast)中的数据预计2023年全球晶圆厂设备支出将同比下降22%,从2022年的980亿美元的历史新高降至760亿美元,此次设备投资额降低主要源于芯片需求减弱以及消费和移动设备库存的增加。同时,《世界晶圆厂预测报告》也预测至2024年全球半导体设备投资将快速回暖至920亿美元,同比增长21%。晶圆厂设备支出的复苏将在一定程度上受到2023年半导体库存调整结束以及高性能计算(HPC)和汽车领域对半导体需求增强的推动。随着全球半导体设备的投资额回升,有望带动包括电子特气在内的相关材料需求。

根据中国半导体工业协会的数据,2022年我国电子特气市场规模为231亿元,同比增长6.94%。

目前国内自主生产的电子特种气体市场份额占比较小,据中国工业气体工业协会统计,我国仅能生产约 20%的集成电路生产用电子特气品种,呈现高端产能不足,进口依赖严重,有较大的国产替代空间和行业发展空间。未来随着全球半导体产业链不断向国内转移,将显著拉动我国电子特气需求,也将进一步加速电子特气国产化进程。

②行业基本特点
特种气体国产化趋势明显。自20世纪80年代以来,中国的特种气体行业经过了40年的发展和沉淀。通过不断的经验积累和技术进步,业内领先企业已在部分产品上实现突破,达到国际标准,逐步实现了进口替代,特种气体国产化具备了客观条件。特种气体在技术进步、需求拉动、国家政策刺激等多重因素的影响下,国产化进程的增速将尤为明显。

全球范围内,集成电路领域技术快速更迭,晶圆尺寸从6寸、8寸发展到12寸,制程技术从28nm、14nm、7nm到5nm,乃至未来的3nm、1nm。国内在产业政策推动、国家各级产业基金扶持等多重因素的促进下,集成电路产业技术在面向世界前沿水平加速追赶。随着全球数字化进程的加速,芯片市场需求正在经历显著的变化。特别是在高端芯片领域,市场需求急剧增长,以上这些变化均对特种气体纯度、杂质含量、混配精度等方面提出更高的要求。

行业竞争将由单纯提供产品逐步趋向于综合服务能力的竞争。随着客户对供应商实力的不断认可,供应商依次可以提供以下服务:(1)提供单一气体产品;(2)提供多样化气体产品和定制产品,就近供应;(3)提供气体包装物的处理、检测、维修,供气系统、洁净管道的建设、维护等全面的专业性增值服务,形成TGM(Total Gas Management)业务,供需双方形成深度、长周期绑定;(4)客户和材料供应商联合开发新制程中所需要的新材料,共同定义未来的产品和技术路线图。

③特种气体主要技术门槛
特种气体在其生产过程中涉及合成、纯化、混合气配制、充装、分析检测、气瓶处理等多项工艺技术,以及客户对纯度、批次稳定性、物流稳定性等的高要求,对拟进入者形成了较高的技术门槛。

气体纯度:气体纯度是特种气体产品的核心参数,要求超纯、超净,超纯要求气体纯度达到4.5N、5N、6N、7N甚至更高纯度,超净要求严格控制粒子与金属杂质的含量,纯度每提升一个N以及粒子、金属杂质含量浓度每降低一个数量级都将带来工艺复杂度和难度的显著提升。

混合气配制:混合气配比的精度是核心参数,随着产品组分的增加、配制精度的上升,常常-6 -9
要求气体供应商能够对多种ppm(10)乃至ppb(10)级浓度的气体组进行精细操作,其配制过程的难度与复杂程度也显著增大。

气瓶处理:气瓶处理是保证气体存储、运输、使用过程中不会被二次污染的关键,对气瓶内部、内壁表面等的处理涉及去离子水清洗、研磨、钝化等多项工艺,而磨料配方筛选、研磨时间设定、钝化反应控制等均依赖长期的行业探索和研发。

气体分析检测:气体分析检测方法的基础是对气体生产过程的熟悉,在不具备对应产品纯化或混配能力的情况下,对于气体可能含有的杂质组分、可能得浓度区间均难以判断、也就难以针对性建立检测方法。

全球化的物流体系:全球领先半导体晶圆企业Fab厂分布于全球各地,要求供应商具备全球化的仓储、物流和技术服务体系。

(2)普通工业气体行业的发展阶段
近年来,随着中国逐步进入经济新常态,中国经济的产业不断升级换代,产业结构不断调整,普通工业气体的需求将持续平稳增长。

工业气体可以分为特种气体和大宗气体两类,其中大宗气体又可分为空分气体(氧气、氮气、氩气)和合成气体(乙炔、氢气、二氧化碳等)。

据亿渡数据预测,2022年全球工业气体行业市场规模为 10,238亿元,2026年有望增长至13,299亿元,2022-2026年复合增长率为 6.8%。在全球经济稳步增长,工业发展稳定的环境下,全球工业气体市场将持续稳定增长。2018年林德和普莱克斯合并后成为全球最大的工业气体公司,大阳日酸收购普莱克斯欧洲业务后更名为日本酸素控股,全球工业气体并购重组此起彼伏,目前市场份额主要集中在空气产品、日本酸素控股、林德集团、液化空气集团等龙头企业,且其占据全球工业气体市场较高的市场份额,垄断的格局短时间仍将持续,国产替代空间较大。

近年来,随着国内逐步进入经济新常态,工业平缓增长,中国工业气体市场的整体增速也随之由快速增长时期过渡到稳步增长时期。中国工业发展迅速,工业气体市场增速高于全球水平,中国未来工业气体的市场空间将持续扩大。据亿渡数据预测,2022年中国工业气体市场规模为1,964亿元,2026年有望增长至2,842亿元,2022-2026年复合增长率为9.7%,高于全球市场规模增速。中国工业气体行业增速保持较好但市占率较低,2021年国外企业(林德集团、液化空气集团、空气产品、日本酸素控股)在中国的工业气体市场份额为55.7%,属于寡头竞争市场。国内头部企业与海外气体在规模上还存在较大的差距,但随着国产化进程的推进,未来国内的气体公司将有很大的发展机会。

2. 公司所处的行业地位分析及其变化情况
特种气体在泛半导体等高端应用领域由液化空气集团、林德集团、日本酸素控股、Merck(收购由 AP拆分出的电子特种气体和半导体材料公司 Versum)等国外气体公司垄断的情况下,公司经过长期的产品研发和认证,成功实现了对国内 12寸集成电路制造厂商超过 85%的客户覆盖率,解决了长江存储、中芯国际、华虹宏力、华润微电子、台积电(中国)等客户多种气体材料的进口制约,并进入了英特尔(Intel,美国)、美光科技(Micron,美国)、德州仪器(TI,美国)、台积电(TSMC,台湾)、SK海力士(SKHynix,韩国)、英飞凌(德国)、三星(SAMSUNG,韩国)、铠侠(KOXIA,日本)等全球领先的半导体企业供应链体系。公司产品已批量供应14nm、7nm等产线,并且公司的部分氟碳类产品、氢化物已进入到5nm的先进制程工艺中使用并不断扩大覆盖范围。在集成电路、显示面板等半导体领域,公司产品得到境内外大型半导体厂一致认可,充分彰显了行业下游对公司产品和技术的认可。

公司自主研发的Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne4种混合气是国内唯一一家同时通过荷兰ASML公司和日本 GIGAPHOTON株式会社认证的气体公司,充分显示了行业下游客户对公司技术水平和生产管理能力等方面认可。

经过三十年的发展,公司的技术积累日益深厚。截至报告期末,公司主持或参与制定包括多项电子工业用气体国家标准在内的50项标准,6项行业标准,1项国际标准和11项团体标准。公司承担了国家重大科技专项(02专项)中的《高纯三氟甲烷的研发与中试》课题等重点科研项目,还承担了广东省战略性新兴产业区域集聚发展试点(新一代显示技术)项目中的“平板显示器用特种气体”研发,公司于2017年、2019年、2021年作为唯一的气体公司连续三届入选“中国电子化工材料专业十强”。2023年3月,公司荣获中国集成电路创新联盟第六届“IC创新奖”成果产业化奖(集成电路用稀混光刻气的研发与产业化),2023年7月,公司入选国家级第五批专精特新“小巨人”企业。

3. 报告期内新技术、新产业、新业态、新模式的发展情况和未来发展趋势 (1)新技术
近年来,随着产业技术进步,带动了新材料的应用与发展。如高纯三氟甲烷、高纯氪气、乙硅烷、甲烷等产品在3DNAND制程工艺、新型光伏电池中得到大量的应用。

(2)新产业
随着中国经济新常态下更加强调经济结构的优化升级,大规模集成电路、新型显示、高端制造、新能源等战略新兴产业对中国经济增长的贡献率将愈加突出,带动了特种气体在新兴行业中的发展和应用。同时随着信息化、智能化技术的快速发展,半导体芯片及器件产品在半导体照明、新一代移动通信、智能电网、新能源汽车、智能驾驶、数据中心、消费类电子等领域得到广泛应用。如3D打印、先进通信、新能源汽车、云服务器、第三代功率器件、人工智能等新兴产业的市场增长,也将会带动特种气体产品需求量的增长。

(3)新业态
随着国内供给侧改革的深入,我国特种气体的发展潜力巨大。国内气体企业相较于国外的气体企业整体规模较小,加快并购重组及资源整合,不断提升自身综合竞争能力,提升国内市场的占有率以适应新业态的发展。

(4)新模式
近年来,随着高新技术产业和新兴产业的快速发展,对特种气体产品的多样性和复杂性要求也更多,对品质要求也更严格。新发展模式下行业和产品的纵横向延伸是企业有力的竞争力,如其他特种气体中民用类(医疗、食品级)特种气体市场需求明显加速。公司在发展民用特种气体方面吸收了欧美等发达国家的经验,产品销售具备由厂商直接销售到消费者的模式,以国内14亿人口计算,民用类特种气体市场的市场发展潜力较大。

(5)新政策
半导体是数字经济产业转型、双循环等国家重大发展战略的基础性、先导性产业,我国“十四五”规划对半导体产业链中包括先进制程、高端IC设计和先进封装技术、关键的半导体设备和材料、第三代半导体等领域各个关键“卡脖子”环节提供重点支持,工业气体行业是我国产业政策重点支持发展的高新技术产业之一。近年来国家相继出台了多部新兴产业相关政策,均明确提及并部署了气体产业的发展。

表格1近年来特种气体行业政策

政策名称颁布时间颁布单位主要内容
《产业结构调整 指导目录2019 年本)》2019年1 月国家发展改 革委鼓励类:改性型、水基型胶粘剂和新型热熔胶, 环保型吸水剂、水处理剂,分子筛固汞、无汞等 新型高效、环保催化剂和助剂,纳米材料,功能 性膜材料,超净高纯试剂、光刻胶、电子气、高 性能液晶材料等新型精细化学品的开发与生产。
《重点新材料首 批次应用示范指 导目录(2019 版)》2019年 12月工业和信息 化部将用于集成电路和新型显示的电子气体的特种气 体、高纯氯气、三氯氢硅、锗烷、氯化氢、氧化 亚氮、羰基硫、乙硼烷、砷烷、磷烷、甲硅烷、 二氯二氢硅、高纯三氯化硼、六氯乙硅烷、四氯 化硅等列为重点新材料。
《新时期促进集 成电路产业和软 件产业高质量发 展的若干政策》2020年7 月国务院聚焦高端芯片、集成电路装备和工艺技术、集成 电路关键材料、集成电路设计工具、基础软件、 工业软件、应用软件的关键核心技术研发,不断 探索构建社会主义市场经济条件下关键核心技术 攻关新型举国体制。
《关于扩大战略 性新兴产业投资 培育壮大新增长 点增长极的指导 意见》2020年9 月国家发展改 革委、科技 部、工业和 信息化部、 财政部加快新材料产业强弱项。围绕保障大飞机、微电 子制造、深海采矿等重点领域产业链供应链稳 定,加快在光刻胶、高纯靶材、高温合金、高性 能纤维材料、高强高导耐热材料、耐腐蚀材料、 大尺寸硅片、电子封装材料等领域实现突破。
《中华人民共和 国国民经济和社 会发展第十四个 五年规划和 2035年远景目 标纲要》2021年3 月中共中央发展壮大战略性新兴产业。聚焦新一代信息技 术、生物技术、新能源、新材料、高端装备、新 能源汽车、绿色环保以及航空航天、海洋装备等 战略性新兴产业,加快关键核心技术创新应用。
《广东省制造业 高质量发展“十 四五”规划》2021年7 月广东省人民 政府依托广州、深圳、珠海、东莞等市加快氟聚酰亚 胺、光刻胶、高纯度化学试剂、电子气体、碳 基、高密度封装基板等材料研发生产
《重点新材料首 批次应用示范指 导目录(2021年 版)》2021年 12月工业和信息 化部将包括六氟乙烷、八氟环丁烷等在内的多种特种 气体列为重点新材料。
《原材料工业 “三品”实施方 案》2022年 8 月工业和信息 化部支持鼓励光刻胶、光电显示材料、工业气体、催化、 光功能、储氢材料等关键基础材料研发和产业化, 加强前沿新材料的质量性能研发。完善新材料生 产应用平台,优化上下游合作机制,进一步提升高 端产品有效供给能力,强化对战略性新兴产业和 国家重大工程的支撑作用。
资料来源:各部委及各地政府官网
(6)未来发展趋势
①政策的大力支持将助推行业快速发展
特种气体作为新材料领域的关键性材料之一,广泛应用于集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆、新能源汽车、航空航天、环保、医疗等领域,近年来得到国家政策的大力支持,尤其是2016年以来,国家发改委、科技部、工信部等连续出台了《国家重点支持的高新技术领域目录》(2016)、《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录》、《新材料产业发展指南》、《重点新材料首批次产业应用示范指导目录(2019年版)》等多部战略新兴产业相关政策,将特种气体列入新材料产业,大力支持和推动特种气体产业的发展。随着国家政策的推动、高新技术的发展,以及下游需求的不断增长,特种气体市场规模持续快速增长。

②下游产业发展迅速,市场需求持续扩大
近年来,国内半导体市场发展迅速,在建及未来规划建设的产能为特种气体提供了广阔的市场空间。随着信息化、智能化技术的快速发展,半导体芯片及器件产品在半导体照明、新一代移动通信、智能电网、新能源汽车、消费类电子等领域得到广泛应用,集成电路市场规模实现快速增长。下游产业的迅速发展不仅在规模上增加了特种气体的需求,产业创新、技术迭代带来新工艺、新产品等,也进一步拓宽了特种气体的应用领域,不断产生新的特种气体产品需求,电子、新材料、医药等行业的快速增长,也带动特种气体的需求结构优化。

据世界半导体贸易统计组织(WSTS)统计,2022年全球半导体市场规模为5,801亿美元,较2021年的5,559亿美元增长4.35%。SEMI预测2020-2024年全球8寸晶圆总产能预计将增长18%,12寸晶圆总产能预计将增长48%。IBS预测,2030年全球芯片行业的年收入将比2021年翻一倍,达到1.35万亿美元。

随着先进逻辑制程及存储技术需求增加、显示市场持续增长、“碳中和”及“碳达峰”对光伏需求的增加将驱动特气市场规模的高速发展。

③特种气体国产化需求推动产业发展
随着电子、新能源等产业的迅速发展,特种气体长期严重依赖进口所导致的产品价格高昂、交货周期长、服务不及时等问题日益突出,严重制约了我国战略新兴产业的健康稳定发展,甚至用于军事、国防、航天等国家安全领域的特种气体更是受到国外的限售。目前中国半导体市场在4,325.54亿美元,但出口仅为1,537.90亿美元,贸易逆差达2,787.64亿美元,2022年贸易逆差小幅缩小,但金额仍然达2,616.61亿美元,国产化水平亟待提升。随着国家政策的支持和国内特种气体的技术突破,客观上国内的特种气体开始逐步具备替代进口的能力。当前我国正积极承接全球第三次半导体产业转移,随着全球晶圆厂的加速扩建以及产能的逐步释放,中国半导体产业加速发展,下游产业对特种气体国产化的需求明显,从国内电子特气市场来看,根据中国半导体工业协会的数据,2022年我国电子特气市场规模为231亿元,同比增长6.94%。未来随着全球半导体产业链不断向国内转移,将显著拉动我国电子特气需求,也将进一步加速电子特气国产化进程。


二、 核心技术与研发进展
1. 核心技术及其先进性以及报告期内的变化情况
报告期内,公司获得专利证书共25项,具体情况详见下文“2.报告期内获得的知识产权列表”
国家科学技术奖项获奖情况
□适用 √不适用

国家级专精特新“小巨人”企业、制造业“单项冠军”认定情况
□适用 √不适用

2. 报告期内获得的研发成果
截至报告期末,公司累计取得196项专利,其中23项发明专利、170项实用新型专利及3项外观设计专利。

报告期内获得的知识产权列表

 本期新增 累计数量 
 申请数(个)获得数(个)申请数(个)获得数(个)
发明专利626623
实用新型专利1723190170
外观设计专利0043
软件著作权    
其他    
合计2325260196
注:报告期内公司有1项实用新型专利届满过期。

3. 研发投入情况表
单位:元

 本期数上年同期数变化幅度(%)
费用化研发投入23,251,477.4233,297,549.29-30.11
资本化研发投入   
研发投入合计23,251,477.4233,297,549.29-30.11
研发投入总额占营业收入比例(%)3.143.77减少0.63个百分点
研发投入资本化的比重(%)0.000.000.00

研发投入总额较上年发生重大变化的原因
√适用 □不适用
主要系上年度研发项目部分结题,且本期新增研发项目仍在较前期阶段投入较少所致。


研发投入资本化的比重大幅变动的原因及其合理性说明
□适用 √不适用

4. 在研项目情况
√适用 □不适用
单位:万元

序 号项目名称预计总投 资规模本期投 入金额累计投 入金额进展或阶 段性成果拟达到目标技术 水平具体应用 前景
1超高纯气 体的研发 攻关800.0028.81656.84产线建设建立 99.9999%超 高纯气体生 产线进口 替代芯片制造 的制程
2高纯二氧 化碳项目80.0018.5576.26获得 99.998% 产品,并 满足高端 客户需求突破高纯二 氧化碳的技 术,纯度达 到 99.9998%进口 替代在半导体 的清洗和 干燥过程 中有极强 应用场景
3高纯二氟 甲烷研发 攻关580.0042.98221.69产品规模 化建设中99.9992%纯 度并实现规 模化生产进口 替代芯片的蚀 刻或清洗
4硅基前驱 体-TSA的 合成纯化 研制900.00182.70847.04试验99.9%的高 纯TSA产品填补 国内 技术 空白芯片制造 的制程
5高纯氨吸 附纯化工 艺研制320.0053.30126.897N产品质 量满足客 户需求稳定7N高 纯氨分析达到 国内 领先 水平气体纯化 关键环节
6低纯度八 氟环丁烷 纯化技术 研发150.0027.9577.75获得5N 产品,规 模化产线 建设中建立年产 400吨高纯 八氟环丁烷 生产线国内 领先芯片蚀刻
7甲烷纯化 与质量保 证技术300.0040.27119.59项目通过 试生产批 复、进行 规模化生 产,产出 5N5产品5N纯度并 实现规模化 生产国内 领先非晶硅太 阳电池制 造、大规 模集成电 路刻蚀或 等离子刻 蚀气的辅 助添加气 等
8高纯一氧 化氮中 NO2的脱280.0044.74141.84试生产产 品质量 NO2杂质 含量满足99.9%以上 NO产品、 保质期达到 3个月以上行业 领先保证客户 产品稳定 性,为高 端客户提
 除及质量 保证研究   4N产品要 求,进入 规模化生 产  供品质更 稳定的NO 产品
9高纯锗烷 合成与转 充技术750.0076.95336.755N5产品 实现规模 化生产, 不断提高 产品转化 率提升原料转 化率并实现 规模化生产进口 替代芯片制造 的过程
10氟气纯化 技术研究380.0037.83101.79试验3N纯度并 实现规模化 生产国内 领先氟化工艺 合成、 F2/N2混 合气、光 刻气
11硅基前驱 体合成与 纯化技术 研发900.0069.74161.04实验组分99.6% 纯度全部杂 质2个P以 内行业 领先半导体膜 材料用前 驱体外延 体以及等 离子、 CMD、ALD 相关应用
12卧式焊接 绝热气瓶 研发180.0022.26105.04小试增加新产 品、满足市 场需求行业 领先深冷行业
13大型低温 液体储罐 研发220.0043.35163.13小试增加新产 品、满足市 场需求行业 领先深冷行业
14特易冷内 胆新材料 研发100.008.9929.70小试满足标准同 时、大幅度 降低原料成 本行业 领先深冷行业
151000L焊 接绝热气 瓶研发180.0025.6182.66小试增加新产 品、满足市 场需求行业 领先深冷行业
16汽化器撬 装研发150.0012.9336.66小试增加新产 品、满足市 场需求行业 领先结合储 罐、气体 的储存、 调压、终 端使用
171.34L铝 合金气瓶 研发150.007.3640.06小试增加新产 品、满足市 场需求行业 领先工业、医 疗、民用
18碳氢化物- 电子丙烯 的纯化研 制650.0071.93203.56小试4N高纯丙 烯生产线进口 替代芯片制造 的制程
19吸附剂改 性研制580.00104.86244.11实验吸附剂改性 研究国内 领先气体纯化
20氟碳化合 物-六氟丙 烷纯化研 制650.0076.36301.52实验建立5N六 氟丙烷生产 线国内 领先芯片制造 的制程
21稀有气体 纯化研制950.00113.67700.87小试建立6N稀 有气体生产 线国内 领先芯片制造 的制程
22硅基前驱 体-乙硅烷 的合成纯 化研制600.0091.98339.55实验建立4N8乙 硅烷生产线进口 替代芯片制造 的制程
23电子气体 钢瓶处理 技术研制800.00113.17631.36试验实现高纯电 子气体的包 装物要求国内 领先气体生产 关键环节
24六氟丁二 烯的合成 与纯化研 制900.00170.19689.28试验建立4N六 氟丁二烯合 成纯化生产 线进口 替代等离子蚀 刻
25溴化氢的 纯化研制 项目800.00215.37457.97实验建立5N溴 化氢生产线进口 替代芯片蚀刻
26医用气体- 便携应急 医用氧的 研制150.0012.0838.23中试阶段实现便携式 医用氧的产 业化生产争取 达到 便携 应急 医用 氧产 能 2500 0支 /月可以用作 家庭老人 或肺疾病 人的应急 治疗、孕 妇胎儿缺 氧的自 疗、工厂 和楼房的 消防火灾 逃生自 救、高原 症患者的 自疗,以 及其它各 类事故伤 者的紧急 补氧救护 等
27工业气体 充装软件 开发50.009.8435.03测试申请软件著 作权行业 领先集装篮气 瓶自动充 装控制
28工业气体 自动充装 系统211.0029.32135.07试验代替传统手 动充装,自 动充装一元 气体气瓶, 自动充装多 元混合气气 瓶行业 领先气瓶自动 充装
29石油化学 品包装物 的研发100.0014.4143.53试验充装高纯石 化气体行业 领先电子行业 高纯气体 包装物
30LH2汽化 器的研发180.0046.48151.45试验市场可行, 技术可行行业 领先液氢汽化
31焊接气瓶 气体包装 物研发100.0014.6835.87安装调试LNG500L卧 式焊接绝热 气瓶推行市 场行业 领先LNG气体 包装物
32氩气集中 供应装置 的研发100.0037.7498.93项目验收 并应用研发出一套 实验仪器氩 气集中供应 装置达到 国内 领先 水平实验室用 设备供气
33氩氢混合 气的研发20.008.1512.14小试建立年产 12000瓶混 合气生产线国内 先进混合气生 产工艺
34钢瓶检验 的研发20.008.8813.07小试实现年处理 量12000只国内 先进钢瓶检验
35制氢设备 容器研发 项目120.0036.25102.44安装调试市场可行, 技术可行行业 领先氢能源产 业
36基于ASME 标准的低 温容器研 发项目90.005.9959.40试验市场可行, 技术可行行业 领先深冷行业
37气瓶集装 篮机器人 自动化焊 接工作站93.0029.1745.54安装调试代替传统手 工焊接,自 动焊接,降 低人员工作 负荷,提升 生产效率行业 领先钢瓶转运
38碳氢化物- 电子级乙 烯的纯化 研制650.0048.7548.75实验建立5N5高 纯乙烯生产 线进口 替代芯片制造 中蚀刻铝 金属表面 的介质层 薄膜
39氟碳化合 物—高纯 八氟环丁 烷中氟碳 杂质及水 杂质的高 效脱除研 制800.0040.0340.03实验建立5N八 氟环丁烷生 产线进口 替代等离子蚀 刻
40电子级乙 硼烷合成 纯化及混 合气配置 研究500.0073.1073.10实验完成乙硼烷 合成纯化及 配气研制进口 替代掺杂气体
41氧化亚氮 纯化研究600.0039.7339.73实验建立高纯氧 化亚氮规模 化生产线国内 领先芯片制造 的制程
42用于气站 充装中低 温控制系 统的研发18.0017.8517.85项目验收实现充装过 程气瓶温度 检测行业 领先气瓶充装 过程安全 保护
43一种液化 气体充装 计量系统 的研发30.0029.7229.72项目验收实现充装数 量自动统计行业 领先液化气体 的充装领 域,一种 液化气体 充装计量 系统,通 过设置控 制装置和 称重装置
44一种节能 的充气站 冷量回收 利用系统 的研发50.0017.2017.20试验有效利用低 温液体充装 时散发出的 冷量行业 领先输送冷量 通往充气 装置,控 制气瓶充 装过程中 产生的热 量
45多组分不 同浓度混 合气配气 装置的研 发85.0012.5512.55试验对三元配气 装置设备进 行开发研 究,提高配 气的稳定性行业 领先提高多元 水混合气 的自动控 制,提高 经济效 益,实现 设备及生 产线的现 代化改造
46气瓶集装 格焊接平 台的研发50.0036.6336.63小试代替传统手 工焊接,自 动焊接,降 低人员工作 负荷,提升 生产效率行业 领先钢瓶转运
47应急处理 车的研发100.0023.5723.57试生产市场可行, 技术可行行业 首创应急抢险 救援
48DN50LNG 三节卸车 臂的研发100.0031.1831.18试生产市场可行, 技术可行行业 领先深冷行业
合 计/16,567.0 02,325. 158,033.9 6////
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