[年报]京仪装备(688652):2023年年度报告
原标题:京仪装备:2023年年度报告 公司代码:688652 公司简称:京仪装备 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 2023年年度报告 重要提示 一、 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实性、准确性、完整性,不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏,并承担个别和连带的法律责任。 二、 公司上市时未盈利且尚未实现盈利 □是 √否 三、 重大风险提示 公司已在本报告中详细阐述公司在生产经营过程中可能面临的各种风险及应对措施,敬请查阅本报告第三节“管理层讨论与分析”之“四、风险因素”。敬请投资者注意投资风险。 四、 公司全体董事出席董事会会议。 五、 致同会计师事务所(特殊普通合伙)为本公司出具了标准无保留意见的审计报告。 六、 公司负责人李英龙、主管会计工作负责人郑帅男及会计机构负责人(会计主管人员)和琳琳声明:保证年度报告中财务报告的真实、准确、完整。 七、 董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案 公司第一届董事会第十三次会议和第一届监事会第九次会议审议通过了《关于公司2023年度利润分配预案的议案》。 经致同会计师事务所(特殊普通合伙)审计确认,北京京仪自动化装备技术股份有限公司(以下简称“公司”)2023年度实现归属于上市公司股东的净利润为119,135,490.36元,母公司实现的净利润为96,577,688.19元。经董事会决议,公司2023年度拟以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数分配利润。本次利润分配方案如下: 1.上市公司拟向全体股东每10股派发现金红利0.75元(含税)。截至2023年12月31日,公司总股本168,000,000.00股,以此计算合计拟派发现金红利12,600,000.00元(含税)。本年度公司现金分红比例为10.58%。 2.本次利润分配不送红股,不进行资本公积转增股本。 如在本公告披露之日起至实施权益分派股权登记日期间,因可转债转股/回购股份/股权激励授予股份回购注销/重大资产重组股份回购注销等致使公司总股本发生变动的,公司拟维持分配总额不变,相应调整每股分配比例。如后续总股本发生变化,将另行公告具体调整情况。 本次利润分配方案尚需提交股东大会审议。 八、 是否存在公司治理特殊安排等重要事项 □适用 √不适用 九、 前瞻性陈述的风险声明 √适用 □不适用 本报告所涉及的公司未来计划、发展战略等前瞻性陈述,不构成公司对投资者的实质承诺,请投资者注意投资风险。 十、 是否存在被控股股东及其他关联方非经营性占用资金情况 否 十一、 是否存在违反规定决策程序对外提供担保的情况 否 十二、 是否存在半数以上董事无法保证公司所披露年度报告的真实性、准确性和完整性 否 十三、 其他 □适用 √不适用 目录 第一节 释义 ..................................................................................................................................... 4 第二节 公司简介和主要财务指标 ................................................................................................. 7 第三节 管理层讨论与分析 ........................................................................................................... 11 第四节 公司治理 ........................................................................................................................... 40 第五节 环境、社会责任和其他公司治理 ................................................................................... 53 第六节 重要事项 ........................................................................................................................... 58 第七节 股份变动及股东情况 ....................................................................................................... 86 第八节 优先股相关情况 ............................................................................................................... 93 第九节 债券相关情况 ................................................................................................................... 93 第十节 财务报告 ........................................................................................................................... 94
第一节 释义 一、 释义 在本报告书中,除非文义另有所指,下列词语具有如下含义:
第二节 公司简介和主要财务指标 一、公司基本情况
二、联系人和联系方式
三、信息披露及备置地点
四、公司股票/存托凭证简况 (一) 公司股票简况 √适用 □不适用
(二) 公司存托凭证简况 □适用 √不适用 五、其他相关资料
六、近三年主要会计数据和财务指标 (一) 主要会计数据 单位:元币种:人民币
(二) 主要财务指标
报告期末公司前三年主要会计数据和财务指标的说明 √适用 □不适用 2023年营业收入7.42亿元 ,较上年同期增长11.84%,主要系受益于半导体设备市场需求旺盛及公司产品竞争优势,收入持续增长;公司在新客户拓展方面取得了显著成效,成功开发了多个新客户,提升了整体营业收入。 2023年归属于上市公司股东的净利润1.19亿元,较上年同期增长30.75%,归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润0.87亿元,较上年同期增长5.70%,主要系报告期内营业收入增长及收到的政府补助、营业外收入规模较大导致。 2023年经营活动产生的现金流量净额0.41亿元,较上年同期增长1,124.22%,主要系本期调整供应商付款周期,导致购买商品、接受劳务支付的现金较少,从而导致本期经营活动现金流较上期增加。 归属于上市公司股东的净资产较期初增幅为252.64%,总资产增加较期初增幅为116.45%,主要系本期上市发行新股导致股本、资本公积大幅增加,营业利润增长导致未分配利润增加所致。 七、境内外会计准则下会计数据差异 (一) 同时按照国际会计准则与按中国会计准则披露的财务报告中净利润和归属于上市公司股东的净资产差异情况 □适用 √不适用 (二) 同时按照境外会计准则与按中国会计准则披露的财务报告中净利润和归属于上市公司股东的净资产差异情况 □适用 √不适用 (三) 境内外会计准则差异的说明: □适用 √不适用 八、2023年分季度主要财务数据 单位:元币种:人民币
季度数据与已披露定期报告数据差异说明 □适用 √不适用 九、非经常性损益项目和金额 √适用 □不适用 单位:元币种:人民币
对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》未列举的项目认定为的非经常性损益项目且金额重大的,以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第 1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目,应说明原因。 □适用 √不适用 十、采用公允价值计量的项目 √适用 □不适用 单位:元币种:人民币
十一、非企业会计准则业绩指标说明 □适用 √不适用 十二、因国家秘密、商业秘密等原因的信息暂缓、豁免情况说明 □适用 √不适用 第三节 管理层讨论与分析 一、经营情况讨论与分析 通过多年的深耕积累,公司在主要产品领域自主研发并掌握了相关核心技术,致力于为集成电路制造环节提供生产效率更高的设备。截至2023年12月31日,公司已获专利276项,其中发明专利94项,公司是目前国内唯一一家实现半导体专用温控设备规模装机应用的设备制造商,也是目前国内极少数实现半导体专用工艺废气处理设备规模装机应用的设备制造商,公司产品技术水平国内领先、国际先进。公司半导体专用温控设备产品主要用于90nm到14nm逻辑芯片以及64层到192层3DNAND等存储芯片制造中若干关键步骤的大规模量产;半导体专用工艺废气处理设备产品主要用于90nm到28nm逻辑芯片以及64层到192层3DNAND等存储芯片制造中若干关键步骤的大规模量产;晶圆传片设备产品主要用于90nm到28nm逻辑芯片制造中若干关键步骤的大规模量产。 公司自设立以来高度重视自主创新,通过对主要产品不断迭代,持续提高设备工艺性能。公司产品已广泛用于长江存储、中芯国际、华虹集团、大连英特尔、广州粤芯、睿力集成等国内主流集成电路制造产线。公司凭借长期技术研发和工艺积累,与国际竞争对手直接竞争,持续满足客户需求。 自设立以来,公司获得北京市科学技术进步奖二等奖、北京市科学技术奖三等奖、2022北京高精尖企业100强、机械工业科学技术奖(科技进步奖)三等奖、中国机械工业科学技术奖三等奖、国家级专精特新“小巨人”企业、“中国创翼”创业创新大赛北京市选拔赛一等奖、北京市企业技术中心、北京市知识产权试点单位等多项重要荣誉。与此同时,公司积极承担国家级重点专项研发任务,助力国内集成电路产业关键产品和技术的攻关与突破。 二、报告期内公司所从事的主要业务、经营模式、行业情况及研发情况说明 (一) 主要业务、主要产品或服务情况 公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售,主营产品包括半导体专用温控设备(Chiller)、半导体专用工艺废气处理设备(LocalScrubber)和晶圆传片设备(Sorter)。公司自成立以来,主营业务未发生重大变化。 公司产品主要包括半导体专用温控设备、半导体专用工艺废气处理设备和晶圆传片设备,具体如下:
公司产品主要应用于成熟或先进制程集成电路制造的12英寸集成电路制造产线。在逻辑芯片领域,28nm以下为业内先进制程,公司产品已经适配国内最先进的14nm逻辑芯片制造产线;在3DNAND存储芯片领域,128层以上(含128层)为业内先进制程,公司产品已经适配国内最先进的192层3DNAND存储芯片制造产线。 (二) 主要经营模式 1、盈利模式 公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售业务,通过向下游半导体领域公司销售半导体专用温控设备、半导体专用工艺废气处理设备和晶圆传片设备等产品实现收入和利润。报告期内,公司主营业务收入主要来源于半导体专用设备产品的销售。 公司采购的原材料种类繁多,主要类别包括电器装置类、电气元件类、机械标准件类、机械 加工件类、化学制品类、仪器仪表类等,其中,部分电器装置类零部件及机械加工件等核心零部 件由供应商依据公司提供的图纸自行采购原材料并完成定制加工后向公司供应。 为加强对供应商的管理及筛选,公司采购中心会同品质中心、研发中心及运营效率中心下属 的生产部等相关部门对供应商进行遴选和评估,考察供应商的资质实力、产品质量情况、供货及 时性等方面,经审核通过后确定合格供应商名录,并跟踪考核进行持续更新。目前,公司已与主 要供应商建立了长期稳定的合作关系。 公司通过与供应商签署采购合同的方式开展采购业务。采购部根据生产、研发等部门提交并 经公司批准采购信息文件(如采购申请单等),综合考虑公司现有生产安排、销售订单、原材料 库存、研发需求等情况安排采购计划,按要求在合格供应商名录中选择供应商并进行询价、比价, 确定最终合格供方后进行采购。采购物资送达后,品质中心进行到货检验,检验合格后由采购中 心及生产部办理入库手续,完成采购。 3、研发模式 公司主要采用自主研发模式,逐步取得了半导体专用温控设备、半导体专用工艺废气处理设 备、晶圆传片设备系列重要研发成果。公司遵循行业惯用研发模式,产品研发流程严格按照公司 设计的研发流程执行。公司研发流程主要包括预研阶段、设计开发需求输入、计划阶段、设计开 发阶段、验收阶段、研发样机入库阶段、客户端验证(Demo)、生产导入阶段、收尾阶段。新品 设计开发流程图如下: (1)预研阶段/设计开发需求输入/计划阶段 根据市场及客户需求,公司研发中心结合产品实际应用、产品生命周期维护阶段优化等需求形成设计开发需求。设计开发负责人负责组织市场调研,同时对该领域的知识产权信息、相关文献及其他信息进行检索,分析项目的技术发展状况、知识产权状况和竞争对手状况等,保证研究投入的合理性,并将调研结果形成立项申请书。运营效率中心下属的项目管理部对立项申请书进行评审,立项评审通过后,设计开发负责人根据要求成立项目研发小组。 (2)设计开发阶段/验收/样机入库阶段 研发人员整合设计开发预研需求、设计开发需求和立项申请书,进行设计和开发。研发中心内部对设计开发进行评审,通过评审后需根据评审的技术要求制作样机,并进行样机实验和所需的可靠性实验,作为本次设计和开发的验证依据。样机完成设计研发开发后,技术负责人需对设计开发过程进行确认,生成设计开发输出清单(包括设计的评审报告、会议纪要和可靠性验证报告等)。 设计开发完成后,研发中心向项目管理部提交验收申请,由项目管理部组织验收工作,对样机进行测试与检验。完成测试检验活动后,由项目管理部组织项目验收会对涉及开发输出是否满足输入的要求进行评审,评审通过后研发样机入库。 (3)Demo/生产导入阶段/收尾阶段 验证评审通过后,由研发中心主导,生产、品质、采购等多部门开展生产导入,形成作业装配图、生产流程工序卡、产品技术规范等文件。产品达到量产总体评审后,研发中心将产品过程文件移交生产部。项目收尾阶段由项目管理部组织项目结项进行评审与项目复盘。 4、生产模式 公司销售中心汇总市场信息,并根据客户需求形成销售订单。销售订单签署后,公司销售、采购、生产部召开月度投产会议,讨论投产计划,形成投产计划并经公司批准通过后执行。公司生产部根据投产计划安排生产,按照投产物料需求领取物料,并根据装配指导和工艺文件对生产组件、半成品等进行组装和装配,品质中心对生产过程进行监督。装配完成后由生产部进行产品调试,调试合格后品质中心对产品进行检验,检验通过后完成产成品入库。 在保证核心技术安全的情况下,公司将部分组装环节交由第三方负责。第三方完成组装后,将产品交付给公司,由公司负责调试和测试。调试合格后品质中心对产品进行检验,检验通过后完成产成品入库。 公司高度重视产品质量和交付效率,根据生产进度情况不断调整优化生产过程,确保产品和服务满足客户需求。 5、销售模式 报告期内,公司采用直销模式销售产品,通过商务谈判或招投标等方式获取销售订单。直销模式可减少产品中间流通环节与成本,贴近市场并有助于及时深入了解客户需求,有利于控制产品销售风险和及时接收客户反馈,以便于更好、更迅速的服务客户。公司在销售的过程中重点突出技术领先、性价比高、服务优良的综合优势,及时跟进行业发展趋势,适时推出新产品以满足客户需要。公司的销售程序一般包括市场调查与推介、客户需求确认、产品报价、销售订单签署、合同执行、合同回款、产品安装调试及售后服务等步骤。 公司设有销售中心负责市场开发和产品销售,同时售后部的服务工程师在主要客户所在地驻场工作,便于及时响应客户需求,负责公司产品的安装、调试、维保、维修和技术咨询。经过多年努力,凭借优质的产品和售后服务,公司已与长江存储、中芯国际、华虹集团、大连英特尔、广州粤芯、长鑫科技等国内主流集成电路制造商建立了良好的合作关系。 6、公司采用目前经营模式的原因及未来变化趋势 公司结合国家产业政策、上下游发展状况、市场供需情况、自身主营业务及发展阶段等因素,形成了目前的经营模式。报告期内,公司现有经营模式取得了良好的效果,业务快速发展,公司经营模式未发生重大变化,在可预见的未来亦不会发生重大变化。 (三) 所处行业情况 1. 行业的发展阶段、基本特点、主要技术门槛 (1)全球半导体设备市场规模波动上涨 半导体设备行业与半导体行业密切相关,且市场规模波动幅度更大。长期来看,半导体行业将会保持旺盛生命力,作为产业链上游的半导体设备行业市场规模也会不断扩大。根据半导体行业内“一代设备、一代工艺、一代产品”的经验,半导体设备是半导体产业的技术先导者,芯片 设计、晶圆制造和封装测试等需在设备技术允许的范围内设计和制造,设备的技术进步又反过来 推动半导体产业的发展。因此半导体设备行业被视作半导体制造的基石,是半导体行业的基础和 核心。据SEMI统计数据显示,2022年全球半导体设备市场规模达1076亿美元,较2021年同比 增长4.83%,2010至2022年间增长了680.60亿美元,年复合增长率达到8.70%,保持高速增长 趋势。 (2)我国半导体设备市场规模持续扩大 2011至2022年,中国大陆半导体设备销售额增长了246.50亿美元,年复合增长率高达20.47%。 根据SEMI统计数据显示,2022年中国大陆凭借283亿美元销售金额连续三年蝉联全球半导体设 备第一大市场。 (3)客户验证和客户资源壁垒 半导体专用设备的技术指标、运行稳定性将对晶圆制造产线的产量、良率及稳定性产生直接晶圆制造厂商要求半导体设备供应商根据客户需求提供设备进行验证,晶圆制造厂商在具体生产环境下对验证设备进行技术验证,主要是验证技术指标能否达到工艺制程要求、设备运行稳定性状况等,在此期间半导体设备供应商工作团队与晶圆制造厂商保持持续沟通,持续解决设备验证过程中出现的问题,不断完善技术细节,部分客户会将验证设备生产出的测试产品交付其下游客户进行验证。只有经过全面系统性验证流程、达到工艺制程要求后,半导体设备才能进入晶圆制造厂商的合格供应商名单,该验证周期耗时较长、需投入较大量的人力及资源。 半导体设备经过验证并实际投入晶圆制造厂商的产线后,综合考虑到前期验证投入资源、晶圆生产稳定性等因素,已通过验证的半导体设备将成为客户建设下一条晶圆制造厂线的优选设备,在未出现新的技术需求情况下该供应商不会被轻易更换。因此半导体设备企业成功通过验证并进入实际生产后,与下游晶圆厂商往往形成较为紧密合作关系,积累半导体行业客户资源。 公司自主研发的半导体专用设备已成功进入长江存储、中芯国际、华虹集团、大连英特尔、广州粤芯、睿力集成等行业知名半导体制造企业,与客户建立了良好的合作关系。经过前期多次合作,公司熟悉客户验证流程及验证要求,与客户工作团队对接顺畅紧密,能够及时跟进客户最新工艺制程的要求并积极研发产品提供解决方案,公司已在半导体行业内积累形成良好的客户资源。 潜在竞争者拟进入半导体设备领域,因未取得下游晶圆制造厂商验证认可,将无法获得下游客户的订单,潜在竞争者进入半导体设备领域争取优质客户资源存在较大难度。 (4)潜在竞争者进入半导体行业存在较大的技术壁垒 半导体专用设备行业属于技术密集型行业,公司的主营产品研发和生产技术涉及物理、化学、流体、材料、机械、电气、控制、建模等多学科、多领域知识的综合运用。半导体设备领域国际巨头凭借先发优势已形成较高的市场占有率,在其优势技术领域已形成了技术壁垒并采取了知识产权保护措施。国内少数企业经过了数年的技术研发和工艺积累,在部分领域实现了技术突破和创新,成功推出满足市场需求的产品并得到下游客户批量化应用,形成了相应领域核心技术及产品竞争力,同步采取了知识产权保护措施。潜在竞争者要实现半导体行业布局,需要进行大量的研发投入和技术积累,并能够研发形成具有竞争力、得到市场认可的半导体设备。该过程需要投入较多时间、资金,面临较多知识产权保护措施的限制,很可能面临研发失败或者市场开拓失败的风险。 以公司的主营产品半导体专用温控设备为例,该设备的核心技术指标包括温控区间。随着工艺制程的发展,晶圆制造对温控设备的温控区间要求朝着超低温温控区间发展,当前包含国内外厂商在内的整体市场中能够提供超低温温控区间产品的厂家数量极少。公司创造性通过两级复叠制冷技术已能够实现-70℃超低温温控,公司在研项目正朝着提供更低温控区间方向进行研发。潜在竞争者因缺乏前期技术积累,进入该产品领域难以达到超低温的温控区间技术要求,其产品竞争力将受到限制,其研发产品也受到公司知识产权保护措施的影响,研发成功难度较大。 2. 公司所处的行业地位分析及其变化情况 公司主营产品包括半导体专用温控设备(Chiller)、半导体专用工艺废气处理设备(LocalScrubber)和晶圆传片设备(Sorter)。半导体专用温控设备(Chiller)、半导体专用工艺废气处理设备(LocalScrubber)打破了国外厂商对相关产品的垄断,逐步实现进口替代,并已广泛用于长江存储、中芯国际、华虹集团、大连英特尔、广州粤芯、睿力集成等国内主流集成电路制造产线。 (1)半导体专用温控设备 公司深耕半导体专用温控设备多年,已形成半导体温控装置制冷控制技术、半导体温控装置精密控温技术、半导体温控装置节能技术三项核心技术,并先后推出Y系列、V系列、C系列等迭代产品,温控区间覆盖空载温控精度为±0.05℃,空载温控精度为±0.05℃,运行状态下温控精度为±0.5℃,并承担国家级重大专项课题(温控装置相关)致力于研发超低温半导体专用温控设备。公司产品主要核心功能指标与主要竞争对手竞品相比无明显差异。 根据QYResearch数据,以收入口径计算,公司在国内半导体专用温控设备的市场占有率由2018年12.50%升至2022年35.73%,四年内市占率提升23.23%。市场占有率排名由2018年的第三名上升至2022年第一名,2022年市占率领先第二名竞争对手约17个百分点。公司半导体专用温控设备已打破国外厂商垄断,成为半导体专用温控设备领域内主要的国内厂商。 (2)半导体专用工艺废气处理设备 根据QYResearch数据,以收入口径计算,半导体专用工艺废气处理设备国内市场集中度较高,2018年至2022年国内市占率前六厂商合计市占率水平维持在90%左右,其中公司为唯一一家国内厂商,公司半导体专用工艺废气处理设备已打破国外厂商垄断,成为半导体专用工艺废气处理设备领域内主要的国内厂商。 (3)晶圆传片设备 公司进入晶圆传片设备前,该领域市场份额主要由国外厂商主导,国外厂商主要以瑞斯福公司、平田公司为代表,国内厂商市场份额占比极低。公司进入该细分领域后,逐步研发开发出三代晶圆传片设备,并从研发实验阶段逐步进入量产。 公司在晶圆传片设备领域已形成半导体晶圆传控技术、晶圆翻片技术、X-θ自动寻心算法、微晶背接触传控技术、晶圆区域检测技术五项核心技术。关于公司晶圆传片设备的核心技术情况,中科合创(北京)科技成果评价中心于2022年11月出具科学技术成果评价报告和科学技术成果评价证书,其认定晶圆传片设备整体技术达到国际先进水平。 报告期内公司晶圆传片设备销售量持续增长,市场份额逐步扩大。 3. 报告期内新技术、新产业、新业态、新模式的发展情况和未来发展趋势 (1)半导体下游需求保持高速增长 目前,中国是全球最主要的半导体消费市场之一和电子信息产品的重要生产基地,半导体市场需求以及工业制造优势驱动全球半导体产能逐步向中国转移。一方面,产能的持续转移将直接刺激半导体生产线投资,进而为半导体专用设备创造了巨大的市场空间;另一方面,全球产能向中国转移也促使相关生产工艺不断完善提高,促进中国半导体产业专业人才的培养以及行业配套的不断发展,半导体产业环境的持续优化也将间接带动半导体专用设备制造产业的扩张与升级。 近年来,云计算、物联网和机器人产业发展迅速,各类智能化、网络化的新型消费电子品不断涌现,上述产业已成为半导体下游需求强劲增长点。在人工智能、云计算等战略新型产业发展的推动下,半导体的需求将持续增加。 (2)半导体设备国产化是集成电路产业国产替代的核心 伴随着我国半导体终端产品消费量的急剧增长以及全球半导体产能向中国大陆转移,我国半导体产业发展迅速,进而推动了市场对半导体专用设备的需求。但是当前我国巨大的半导体设备市场需求与有限的国产设备供给能力形成明显反差,半导体专用设备依然严重依赖于进口。在当前外部环境复杂多变背景下,我国半导体设备的进口受限,半导体设备进口依赖已经严重阻碍我国半导体行业的自主发展。 目前,我国半导体产业链正逐步走向成熟,在某些细分领域,半导体设备厂商已经形成一定的技术突破并形成成熟产品。从节约设备成本、提高设备性价比、实现对半导体设备的定制要求以及更高质量的售后服务的角度考虑,国产半导体设备已成为国内半导体厂商的重要选择。 (3)国家对半导体行业的政策扶持 作为信息技术产业的核心,集成电路已逐渐成为衡量一个国家或地区综合竞争力的重要标志,公司所处的半导体设备行业是国家产业政策重点鼓励和扶持的行业。近年来,政府开始大力支持集成电路产业发展,先后出台了《国家集成电路产业发展推进纲要》和“国家重大科技专项”等政策,明确指出集成电路产业是信息技术产业的核心,是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。相关扶持政策的密集出台明确显示了政策扶持半导体产业的决心。 与此同时,国家及地方集成电路产业基金纷纷设立,已实施项目覆盖设计、制造、封装测试、设备、材料、生态建设各环节。我国半导体专用设备行业迎来了前所有未有的政策契机。 (四) 核心技术与研发进展 1. 核心技术及其先进性以及报告期内的变化情况 通过多年的技术研发,公司在主要产品领域自主研发掌握了相关核心技术,并在持续提高设备工艺性能、产能。公司拥有的核心技术在公司销售的产品中得以持续应用并形成公司产品的竞争力。 1、半导体专用温控设备核心技术概况
2、半导体专用工艺废气处理设备核心技术概况
3、晶圆传片设备核心技术概况
国家科学技术奖项获奖情况 □适用 √不适用 国家级专精特新“小巨人”企业、制造业“单项冠军”认定情况 √适用 □不适用
2. 报告期内获得的研发成果 (未完) |