[年报]北方华创(002371):2023年年度报告
原标题:北方华创:2023年年度报告 2023年年度报告 2024年04月 致股东 以“芯”为舵，向“新”而行。 从 ChatGPT到 Sora，从数字化到智能化，从“互联网+”到“人工智能+”，时代的风口带来的产业革命和产业机会正 在被越来越广泛地思考和讨论，而支撑数字化、智能化持续前进的核心力量——集成电路产业也正面临着竞争格局的加速 变化。2023年，北方华创依然保持了近年来持续的增长态势，全年实现营业收入 220.79亿元，同比增长 50.32%，归母净利 润 38.99亿元，同比增长 65.73%。 连续多年保持高位增长，得益于北方华创始终坚持“以客户为中心，以价值创造者为本，持续创新”的核心价值观： 始终围绕客户需求的高强度地科技创新，为企业建立起了更为深刻的客户信赖关系和长久合作信心；始终围绕高质量发展 的深度管理变革，为企业构建了更加开放、更具活力与韧性的竞争新优势；始终围绕价值创造者的高效能体制机制改革， 为企业打造了更宜于创新人才大展身手的优越环境。 以高水平创新力构筑竞争新优势。坚定不移地、持续不断地、全力以赴地围绕客户需求开展创新，让客户因有北方华 创同行而踏实且坚定，让产业因有北方华创的创新之力牵引而充满无限可能。在这样信念的指导和引领下，2023年北方华 创持续在产品端发力：在刻蚀技术方面，实现 12英寸硅、金属、介质刻蚀机全覆盖，形成了更加完整的刻蚀解决方案，实 现了介质刻蚀设备领域关键突破，发布了满足客户不同工艺需求的全系列等离子去胶产品，应用高深宽比刻蚀工艺的深硅 刻蚀机单机型销量破百，累计刻蚀产品系列出货超 3500腔。在薄膜技术方面，精准定位市场需求，采用差异化路线攻克多 项金属薄膜与介质薄膜关键技术难题，系列产品获得关键客户认可，实现批量销售；外延设备实现在集成电路、功率半导 体、硅材料、化合物半导体等领域工艺全覆盖，累计薄膜沉积产品出货超 5500腔。在清洗技术方面，槽式清洗机实现工艺 全覆盖，单片清洗机实现前段高端工艺新突破，为清洗业务板块开拓了更广阔的市场空间。在热处理技术方面，快速热退 火设备、立式炉原子层沉积设备等新产品层出不穷，为客户提供全面解决方案的能力持续提升。在真空及锂电装备领域， 推出了新一代复合集流体高速卷绕 PVD镀膜设备，打开了新能源电池领域未来增长预期；围绕新一代陶瓷基复合材料的制 备，研发了重结晶碳化硅结构件的 CVD工艺技术，开发碳化硅纤维增强、碳化硅复合材料的工业 CVD设备。在高端精密 电子元器件领域，新开发的模拟链路产品、硅电容器等产品，将现有工艺与半导体工艺相结合，持续提升产品性能，拓展 产品应用。 以高质量发展力驱动发展新动能。从零到一是创新、是突破、是创造，从一到百是坚持、是不断调整适应、更是厚积 薄发。2023年是北方华创在百亿规模运行的第一年，不论是外部市场拓展、供应链系统建设，还是内部组织效率、生产运 营、客户端支撑服务等各方面，都经受住了企业规模持续扩大和管理链条日益拉长的考验，交出了令人满意的答卷。细分 行业、细分客户，力保存量、聚焦增量，建立起更加体系化的市场管理系统，不断优化企业市场能力；不断增强供应链管 理能力，带动产业链上下游不断创新升级、融通发展；以精益化、自动化、数字化、智能化为主线，打造全链条动态可视 化制造管理平台，进一步夯实产品交付及质量保证能力；开展全面导向客户的组织流程再造，打造更加机动灵活的组织架 构和运营模式；以全面导入“卓越绩效”模式为契机，将大质量管理模式融入到战略管控、人才赋能、创新实践、品牌建 设等企业管理实践的各个方面，不断提质增效，以全方位的高质量回馈客户。 以高效能改革力凝聚前进新力量。对标高质量发展目标，北方华创致力于构建起匹配新质生产力发展要求的创新性人 才培养与激励体系。2023年，企业持续加大体制机制改革力度，创新性运用了多重手段，持续激发价值创造者的创新活力 和创造热情；深化校企合作，持续加大联合培养工程硕博士力度，为人才成长拓宽外部资源渠道；运用“事业共同体”理 念进行顶层设计，以“常态化激励机制”与“差异化激励工具”系统重构多层次、可持续的中长期激励机制；通过任期制 设置岗位任职时长，项目制挂职测试人岗适配度，轮岗地图牵引全员有序轮转，进一步盘活人力资源利用率，建立继任干 部池和高潜人才池，涵养培育后备力量。 乘势而为，顺势而上。在未来的道路上，北方华创将继续秉承“以客户为中心，以价值创造者为本，持续创新”的核 心价值观，持续聚焦客户需求，不断加大研发投入，持续提升创新效能。保持开放视野，对标先进，不断推陈出新，加快 成长速度。我们将始终心怀感恩和敬畏，与客户、股东、员工以及全球合作伙伴携手并进，共同探索科技的无限可能，共 创价值。在不断变化的时代浪潮中，北方华创将勇往直前，开创更加美好的未来。 第一节 重要提示、目录和释义 公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。 公司负责人赵晋荣、主管会计工作负责人李延辉及会计机构负责人（会计主管人员）唐浩声明：保证本年度报告中财务报告的真实、准确、完整。所有董事均已出席了审议本报告的董事会会议。 本报告涉及未来计划等前瞻性陈述，不构成本公司对投资者的实质承诺，投资者及相关人士均应当对此保持足够的风险认识，并且应当理解计划、预测与承诺之间的差异。 公司经本次董事会审议通过的利润分配预案为：以 530,940,639股为基数，向全体股东每 10股派发现金红利 7.80元（含税），送红股 0股（含税），不以公积金转增股本。 目 录 致股东 ......................................................................................................................................................... 2 第一节 重要提示、目录和释义 ................................................................................................................... 4 第二节 公司简介和主要财务指标 ................................................................................................................ 9 第三节 管理层讨论与分析 .......................................................................................................................... 13 第四节 公司治理 ........................................................................................................................................ 35 第五节 环境和社会责任 ............................................................................................................................. 56 第六节 重要事项 ........................................................................................................................................ 57 第七节 股份变动及股东情况 ...................................................................................................................... 65 第八节 优先股相关情况 ............................................................................................................................. 74 第九节 债券相关情况 ................................................................................................................................. 75 第十节 财务报告 ........................................................................................................................................ 76 备查文件目录 一、载有公司法定代表人签名的 2023年年度报告原件。 二、载有公司法定代表人、总裁、主管会计工作负责人及会计机构负责人签名并盖章的财务报表。 三、载有会计师事务所盖章、注册会计师签名并盖章的审计报告原件。 四、报告期内在中国证监会指定网站上公开披露过的所有公司文件的正本及公告原稿。 五、其他相关资料。 释义
第二节 公司简介和主要财务指标 一、公司信息
公司聘请的会计师事务所
?适用 ?不适用 公司聘请的报告期内履行持续督导职责的财务顾问 ?适用 ?不适用 六、主要会计数据和财务指标 公司是否需追溯调整或重述以前年度会计数据 ?是 ?否 1．主要会计数据
（1）加权平均净资产收益率=本报告期内归属于上市公司股东的净利润/加权平均净资产 （2）扣除非经常性损益后的加权平均净资产收益率=本报告期内归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润/加权平 均净资产 主要会计数据和财务指标的说明： （1）公司营业收入持续高速增长，2021年至 2023年复合增长率 51.00%，2023年公司持续加大研发投入，产品质量稳步 提高，报告期营业收入达到 220.79亿元，创公司业绩历史新高。 （2）2023年归属于上市公司股东的净利润 38.99亿元，同比增长 65.73%，主要原因为：公司持续增强产品竞争力，收入 规模大幅增加，公司 2023年新签订单超过 300亿元。合同、订单数量同比大幅增加的同时，降本增效工作取得显著成果， 成本费用率同比降低，综合导致归属于上市公司股东净利润的增长。 （3）2023年归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润 35.81亿元，同比增长 70.05%，主要原因为：归属于上市 公司股东的净利润同比增加 15.46亿元，非经常性损益同比增加 7,104.09万元，经常性损益的绝对值同比大幅增加。 （4）2023年经营活动产生的现金流量净额 23.65亿元，同比增长 424.89%，主要原因为：公司订单及营业收入大幅增加， 销售回款增长。 公司最近三个会计年度扣除非经常性损益前后净利润孰低者均为负值，且最近一年审计报告显示公司持续经营能力存在不 确定性 ?是 ?否 扣除非经常损益前后的净利润孰低者为负值 ?是 ?否 七、境内外会计准则下会计数据差异 1．同时按照国际会计准则与按照中国会计准则披露的财务报告中净利润和净资产差异情况 ?适用 ?不适用 公司报告期不存在按照国际会计准则与按照中国会计准则披露的财务报告中净利润和净资产差异情况。 2．同时按照境外会计准则与按照中国会计准则披露的财务报告中净利润和净资产差异情况 ?适用 ?不适用 公司报告期不存在按照境外会计准则与按照中国会计准则披露的财务报告中净利润和净资产差异情况。 八、分季度主要财务指标 单位：元
九、非经常性损益项目及金额 ?适用 ?不适用 单位：元
?适用 ?不适用 公司不存在其他符合非经常性损益定义的损益项目的具体情况。 将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第 1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益项 目的情况说明 ?适用 ?不适用 公司不存在将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第 1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经 常性损益的项目的情形。 第三节 管理层讨论与分析 一、报告期内公司所处行业情况 北方华创始终秉承“推动产业进步，创造无限可能”的企业使命，立足半导体基础产品领域，深耕半导体装备、真空 及锂电装备、精密电子元器件等业务板块，致力于成为半导体基础产品领域值得信赖的引领者。 （一）半导体装备业务板块 1．集成电路装备领域 近年来，随着人工智能（AI）、5G通信、物联网等前沿技术的迅猛发展，集成电路芯片需求呈现出蓬勃增长的态势。 工业电子、消费电子、汽车电子等集成电路下游应用的不断升级，为集成电路行业带来了更广阔的增量空间。市场对芯片 功能和多样化应用的需求日益增长，推动了集成电路产业规模持续扩张。5G通信技术的发展，对高性能、低功耗、高频率 的芯片提出了更高要求；物联网技术的应用则需要大量多样化的传感器、处理器芯片作为支撑；尤其是 AI的崛起，催生了 巨大的算力需求，为集成电路行业带来了全新的发展机遇。 随着 2023年下半年终端市场的复苏，智能手机、个人电脑等终端产品销售逐渐回暖。AI大模型的持续优化，以及多样 化 AI应用终端的入市商用，全球算力需求得到了显著提升。新一轮 AI基础设施建设的开启，进一步推动了高性能以太网 交换机、路由器、先进存储、GPU等多种半导体硬件的市场需求。特别是在中国大陆集成电路装备市场，得益于技术进步 和市场需求增加，2023年全年市场规模再创新高。根据 SEMI数据统计，2023年中国大陆集成电路装备的销售额达到 342 亿美元，同比增长 8%，全球市场份额达到 30.3%，创下新高。这凸显了中国大陆在全球集成电路装备市场中的重要性，也 反映了中国大陆市场对集成电路装备需求的强劲动力。同时，国内集成电路设备商在 2023年也实现了快速发展，在市场中 扮演越来越重要的角色。 2．化合物半导体装备领域 以碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）等为代表的新兴化合物半导体材料，以其卓越的性能，特别适合于高压、高功率、 高频、高温等严苛环境。特别是 SiC材料，得益于其优异的热稳定性和电学性能，已成为 600V以上高压应用的关键材料， 广泛应用于新能源汽车、光伏、储能、工业电源及轨道交通等领域。作为全球最大的新能源消费市场，中国在新能源汽车 和光伏领域取得了显著成就。根据起点研究院数据显示，2023年全球新能源车销量达到 1,428万辆，其中中国新能源汽车 销量高达 887万辆，占全球市场份额的 62.1%。2023年中国光伏装机量超过 216.9GW，占全球总量的 62.8%。在这样的市 场背景下，中国对 SiC项目的建设和投资力度持续加大，已成为全球 SiC项目投资和建设最活跃的国家之一。众多头部企 业纷纷扩大产能，市场需求持续增长。同时，GaN功率器件在消费电子快速充电等领域的应用也呈现出快速增长的态势， 并逐渐拓展至中大功率储能、数据中心等领域，开拓更广阔的应用前景。随着化合物半导体行业市场规模不断扩大，市场 需求进一步释放，化合物半导体装备市场订单量迎来快速增长。 2023年，传统 LED照明领域市场趋于饱和，但以 Mini/Micro LED为代表的新型显示技术市场份额快速增长。随着其 在虚拟现实（VR）、增强现实（AR）、混合现实（MR）、小尺寸穿戴、手机和平板电脑、电视以及车载应用等领域的持 续渗透，其市场潜力巨大且持续增长。随着 Mini/Micro LED对工艺制造设备的要求不断提升，大产能、高效率、自动化的 设备拥有巨大的市场空间，市场规模持续稳步增长。 3．新能源光伏装备领域 近年来，随着全球清洁能源结构转型加速，新能源光伏行业在 2023年继续保持迅猛增长的态势。根据国际可再生能源 机构发布的数据，2023年全国光伏装机量达到了 216.9GW，相较于 2022年的 87.4GW，实现了 148%的显著增长。与此同 时，全球光伏装机量达到 345.5GW，较上一年增长 81%。这一庞大的市场需求为光伏制造行业带来了前所未有的产能扩张 机遇，制造端和应用端规模不断扩大，硅片、电池、组件出口量分别同比增长 93.6%、65.5%和 37.9%。 在光伏电池方向，2023年全国晶硅电池产量超过 545GW，同比增长 64.9%。电池新建项目中，TOPCon技术取代了之 前的 PERC技术，成为主流的电池生产技术路线。全年 TOPCon电池新增产能约 395GW，相关设备订单持续保持增长态势。 （二）真空及锂电装备业务板块 随着我国在 5G基站、轨道交通、人工智能、工业互联网等领域的飞速发展，对电子功能陶瓷、高性能结构陶瓷、纳米 陶瓷粉体等需求急剧上升，中国已成为全球最大的先进陶瓷市场。在半导体行业，半导体设备关键部件及分立器件等领域 均对先进陶瓷材料的质量和性能有更高的要求。这一趋势推动了相关产业的发展和创新，从而带动了热处理设备的市场需 求不断扩大。 在新能源锂电池领域，锂离子电池的技术发展正朝着高安全、高比能、低成本的方向迈进。新型复合集流体材料以其 绝缘性好、重量轻、成本低、高安全性的特性，有望在下一代高能量密度锂电池中得到广泛应用。同时，随着新能源氢燃 料电池技术的日趋成熟和上游电源结构的清洁化转型，氢燃料电池有望在未来十年内进入快速发展阶段。这些新的技术趋 势为高性能材料的制造和热处理装备带来更多的发展机遇。 （三）精密电子元器件业务板块 2023年，受全球经济环境和行业周期等多方面因素的影响，元器件市场需求有所放缓，产品需求量出现波动。然而新 一轮科技革命和产业变革蕴育出新的机遇，正成为我国经济社会发展的重要支撑，一批代表“新质生产力”的战略新兴产 业和未来产业为传统产业注入前所未有的活力。智能制造、物联网、算力、新能源汽车等领域的飞速发展，促进了制造业 向数字化、网络化、智能化转型，推动了元器件不断向“小型化、集成化、高精密”方向发展，为精密电子元器件产业带 来了新的机遇。 二、报告期内公司从事的主要业务 北方华创专注于半导体基础产品的研发、生产、销售和技术服务，主要产品为电子工艺装备和电子元器件，电子工艺 装备包括半导体装备、真空装备和新能源锂电装备，电子元器件包括电阻、电容、晶体器件、模块电源、微波组件等。北 方华创始终坚持科技创新，不断推动产品迭代升级，积极拓展产品应用领域，以满足快速发展的市场需求。 在半导体装备业务板块，北方华创的主要产品包括刻蚀、薄膜沉积、炉管、清洗、晶体生长等核心工艺装备，广泛应 用于集成电路、功率半导体、三维集成和先进封装、化合物半导体、新型显示、新能源光伏、衬底材料等制造领域。北方 华创借助产品种类多样、工艺覆盖广泛等优势，以产品迭代升级和成套解决方案为客户创造更大价值。 在真空及锂电装备业务板块，北方华创深耕高压、高温、高真空技术，研发的单晶硅晶体生长设备、真空热处理设备、 气氛保护热处理设备、连续式热处理设备、磁控溅射镀膜设备、多弧离子镀膜设备在材料热处理、真空电子、新能源光伏、 半导体材料、磁性材料、新能源汽车等领域广泛应用，为新材料、新工艺、新能源等绿色制造提供技术支持。 在精密电子元器件业务板块，北方华创推动元器件向小型化、集成化、高精密方向发展，研发的精密电阻器、新型电 容器、石英晶体器件、石英微机电传感器、模拟芯片、模块电源、微波组件等产品，广泛应用于电力电子、轨道交通、智 能电网、精密仪器、自动控制等领域，为客户打造高端精密电子元器件技术、产品、服务一体化的专业解决方案。 三、核心竞争力分析 1．加大科技创新力度，增强核心竞争优势 公司以国家级企业技术中心为依托，持续开展科技创新工作，多年来在自主创新的道路上稳步前行，不断取得技术和 产品的突破性成果。截至 2023年底，公司已累计申请专利 7,900余件，获得授权专利 4,700余件，体现了公司在半导体基 础产品领域的深厚技术积淀和强大的创新能力。特别是在集成电路核心装备领域，公司成功研发了多款具备自主知识产权 的高端设备，已在多家客户实现稳定量产，并获得客户的一致好评。同时，公司的核心产品广泛应用于化合物半导体、新 能源光伏、新型显示等多个领域，展现出良好的市场前景和发展潜力。凭借刻蚀技术、薄膜沉积技术、氧化和扩散技术、 清洗技术、晶体生长技术、真空热处理技术和高精密电子元器件工艺技术等核心技术的不断创新，公司被授予 2023年“国 家技术创新示范企业”，并连续第三年荣登中国电子信息竞争力百强企业榜单。通过不断创新和进取，公司进一步提升了 核心竞争力，为未来的发展奠定了更加坚实的基础。 2．以价值创造为核心，构建北方华创的卓越人才体系 北方华创秉承“以价值创造者为本”的核心价值观，致力于培养和激发员工的积极性和创造力。公司通过实施多期股 权激励计划，有效提升了核心团队的责任感和归属感。公司重视员工的成长与发展，为员工提供了施展才华的平台。通过 公平的培养和考核激励机制，鼓励员工创造价值。公司重视员工薪酬激励制度的建设，建立了多层次的福利保障体系，努 力营造有归属感的职场环境，提高员工的凝聚力和向心力。公司通过分层次、定制化的人才培养项目和丰富的学习资源， 促进员工专业能力和职业素养提升。同时，公司注重合规与职业道德教育，开展了一系列培训和活动，加强员工的合规意 识和专业能力。2023年，北方华创的人才理念和实践获得了业界的高度认可，荣获由中国半导体行业协会与集成电路产教 融合发展联盟联合颁发的芯雇主半导体行业“年度雇主奖”、由半导体投资联盟联合爱集微颁发的 IC风云榜“年度最佳雇 主奖”，并连续第 5年荣膺智联招聘“中国年度最佳雇主”大奖等九项荣誉。目前，公司员工总数已超过 12,000人，为公 司持续发展和向行业领先企业迈进奠定了坚实的基础。 3．坚守客户中心理念，持续优化服务铸就卓越品牌 北方华创坚守“以客户为中心”的核心价值观，不断优化服务组合与模式，确保客户需求在每个环节得到重视与满足。 北方华创在全国建立了 19个客户服务中心、4个备件调拨中心和 10个备件库，形成了完善的客户服务体系，提供及时专业 的技术支持与服务，建立了“强支撑、优服务、高质量”的核心竞争力。同时，北方华创进一步深化客户关系，积极收集 并分析客户反馈，确保需求有效传递到产品开发与生产环节。公司严格客户信息保密管理，遵守 ISO 27001标准，保护客 户信息安全。公司依托先进科技研发能力，结合可靠的生产安装和优质的技术支持，提高备件供应效率及服务质量。优化 资源配置，建立区域服务中心与备件调拨中心，实现智能化仓库管理，缩短备件响应时间。公司通过与客户保持紧密沟通 合作，及时响应需求变化，赢得了客户认可，帮助客户提升了市场竞争力。未来，公司将继续坚守以客户为核心，不断创 造更大的客户价值，成为客户信赖的长期伙伴。 4．强化平台运营生产实力，打造行业智造新标杆 经过多年的发展，北方华创构筑了强大的生产制造实力，成为行业新的智能制造标杆。公司持续优化产品组合和生产 模式，建立了超过 90万平方米的研发及生产基地，包括亦庄半导体设备基地、平谷马坊装备及元器件基地、顺义空港半导 体设备基地、酒仙桥真空与锂电设备基地、台马半导体设备基地，形成了完善的生产制造体系。这些基地配备先进设备， 运用自动化、物联网、人工智能等先进技术，实现工厂设备实时交互和数据共享，提高生产效率，确保产品品质和稳定性。 公司注重多工厂运营管理体系建设，通过高效协同的运营体系和信息化平台，实现多工厂间互联互通和业务协同，优化订 单与资源配置，提升生产集约化。公司积极践行精益管理理念，建立精益智能化生产管理体系，包括精益基础、人才育成、 过程保障和价值流动四大模块，不断提升生产效率和产品质量，向卓越制造迈进。北方华创致力于为客户提供高品质、高 性能的半导体基础产品，未来将继续秉持以客户为中心的理念，成为客户信赖的伙伴，创造更大价值。 5．管理提升助力跨越发展，夯实企业竞争新优势 北方华创以全面提升管理能力为目标，满足企业跨越式发展的重要需求。公司以“国企改革三年行动”为重要契机， 不断深化内部机制改革，成功建立完善的市场化决策机制与经营管理机制，为公司的创新发展注入源源不断的新活力，确 保在激烈的市场竞争中保持领先。同时，公司坚守诚信守法原则，构建高效合规、风险可控的经营管理体系，通过持续推 进安全文化建设，保障企业稳定健康发展。在质量管理上，公司倡导“全链条协同、全流程改善”的理念，建立了卓越的 质量生态，推动了产业链质量管理水平的持续提升。此外，公司还注重文化引领，将企业文化与经营紧密结合，提升企业 凝聚力，为未来发展提供强大支撑。这些举措共同奠定了北方华创跨越式发展的坚实基础，助力公司在市场竞争中稳步前 行。 四、主营业务分析 （一）概述 1．半导体装备 （1）刻蚀设备 刻蚀设备约占集成电路芯片制造设备总资本开支的 22%，是半导体制造过程中的关键环节。刻蚀工艺主要用于去除特 定区域的材料来形成微小的结构和图案。随着集成电路线宽的持续减小和 3D集成电路的发展，刻蚀设备在集成电路装备市 场中的地位愈加重要，已跃居集成电路采购额最大的设备类型。2023年公司刻蚀设备收入近 60亿元。 在刻蚀设备中，电感耦合等离子体刻蚀机（ICP）具有等离子体密度高、可在低压下生成、水平和垂直方向电场可独 立控制等优势，主要应用于硅和金属刻蚀，以及部分介质材料的精细刻蚀。 ICP市场份额在刻蚀机总量中占比约 53%。北 方华创作为国内领先的高端电子工艺装备供应商，深耕 ICP刻蚀技术二十余年，先后攻克了电感耦合脉冲等离子体源、多 温区静电卡盘、双层结构防护涂层和反应腔原位涂层等技术难题，实现了 12英寸各技术节点的突破。公司多晶硅及金属刻 蚀系列 ICP设备实现规模化应用，完成了浅沟槽隔离刻蚀、栅极掩膜刻蚀等多道核心工艺开发和验证，助力国内主流客户 技术通线，已实现多个客户端大批量量产并成为基线设备。截至 2023年底，北方华创 ICP刻蚀设备已累计出货超 3200腔。 电容耦合等离子体（CCP）介质刻蚀设备也在芯片制造领域扮演关键角色，特别是在后道介质膜层图形化工艺方面， 对整个芯片的性能具有重要影响。2021年，北方华创开始着力进行介质刻蚀设备研发，致力于攻克 12英寸关键介质刻蚀工 艺应用，支撑客户持续创新。凭借多年积累的核心技术以及对刻蚀领域的深刻理解，北方华创先后突破了 CCP领域等离子 体产生与控制、腔室设计与仿真模拟、低温静电卡盘、高功率等离子馈入等多项关键技术，建立起核心技术优势。截至目 前，北方华创集成电路领域 CCP介质刻蚀设备实现了逻辑、存储、功率半导体等领域多个关键制程的覆盖，为国内主流客 户提供了稳定、高效的生产保障，赢得客户信赖和认可。截至 2023年底，北方华创 CCP刻蚀设备已累计出货超 100腔。 硅通孔技术（ TSV ）是一种新兴的技术解决方案，通过垂直互连减小了芯片间互联长度，降低了信号延迟，实现了芯 片间的低功耗和高速通讯，大幅提升了芯片性能，是延续摩尔定律的重要技术之一。TSV技术中，硅通孔刻蚀是关键步骤 之一，其工艺在刻蚀形貌、刻蚀速率、选择比、深宽比、均匀性等方面要求严苛，存在较高的技术壁垒。北方华创推出的 12英寸 TSV刻蚀设备，通过快速气体和射频切换控制系统，结合优良的工艺配方架构，在高深宽比硅通孔刻蚀中可精确控 制侧壁形貌，实现侧壁无损伤和线宽无损失。通过优异的实时控制性能，大幅提升刻蚀速率，达到国际主流水平。目前北 方华创的 TSV刻蚀设备已广泛应用于国内主流 Fab厂和先进封装厂，是国内 TSV量产线的主力机台，市占率领先。 干法去胶又称等离子去胶，其工作原理是在真空状态下，通过活性等离子体去除晶片表面的掩膜材料，而不允许晶片 材料受损。随着集成电路器件结构不断演进，高介电常数（High-K）、低介电常数（Low-K）等新材料的引入使得干法去 胶的技术难度不断增加。北方华创凭借深厚的等离子源开发及应用经验，自主设计开发了低损伤等离子源，克服了 O2、 H2、NH3等去胶的各种技术难点，在高剂量离子注入后的去胶、新型材料去胶、高深宽比聚合物去除等方面取得了技术领 先优势。同时，优化了干法去胶设备在维护、量产方面的性能，开发了真空和大气双配置传输平台，在保证技术领先的同 时，使客户拥有更长的使用周期及更低的拥有成本（COO）、消耗成本（COC），受到客户广泛认可，形成了批量销售。 （2）薄膜沉积设备 薄膜沉积设备约占集成电路装备总资本开支的 21%，是半导体制造工艺中的关键环节。薄膜沉积设备主要用于在基底 材料上生长、沉积或涂布极薄的膜层，这些膜层在芯片中扮演重要的角色。2023年公司薄膜沉积设备收入超 60亿元。 物理气相沉积（PVD）主要用于金属薄膜制备。这些金属薄膜作为芯片中互连线的重要组成部分，对整个芯片的性能 具有至关重要的影响。北方华创作为中国 PVD工艺装备技术的先行者，早在 2008年就开始了 PVD装备的研发工作。经过 十余年的技术沉淀与创新突破，北方华创先后突破了磁控溅射源设计、等离子体产生及控制、腔室设计与仿真模拟、颗粒 控制、软件控制等多项核心技术，实现了对逻辑芯片和存储芯片金属化制程的全覆盖。截至 2023年底，集成电路领域铜 （Cu）互连、铝垫层（Al Pad）、金属硬掩膜（Metal Hard Mask）、金属栅（Metal Gate）、硅化物（Silicide）等工艺设备 在客户端实现稳定量产，成为多家客户的基线设备，并广泛应用在逻辑、存储等主流产线，同时也成功实现功率半导体、 三维集成和先进封装、新型显示、化合物半导体等多个领域的量产应用。截至 2023年底，公司已推出 40余款 PVD设备， 累计出货超 3500腔。 化学气相沉积（CVD）主要用于介质薄膜和金属薄膜的制备。按照薄膜材料，CVD分为介质化学气相沉积（DCVD）和金属化学气相沉积（MCVD）两大类。DCVD主要包括等离子增强型化学气相沉积（PECVD）、次常压化学气相沉积（SACVD）、介质原子层沉积（DALD）等。MCVD主要包括低压化学气相沉积（LPCVD）、有机金属化学气相沉积（MOCVD）和金属原子层沉积（MALD）等。北方华创基于十余年沉积工艺技术的丰富经验，布局拓展了 DCVD和MCVD两大系列产品。针对介质和金属化学气相沉积关键技术需求，攻克了进气系统均匀性控制、压力精确平衡、双频驱 动的容性等离子体控制、多站位射频功率均分控制等多项技术难题，实现金属硅化物、金属栅极、钨塞沉积、高介电常数 原子层沉积等工艺设备的全方位覆盖，关键技术指标均达到业界领先水平，赢得客户高度评价。截至 2023年底，北方华创 已实现 30余款 CVD产品量产应用，为超过 50家客户提供技术支持，累计出货超 1000腔。 外延（EPI）设备是材料生长的关键设备，广泛应用于集成电路、功率半导体、化合物半导体等领域。经过十余年的技 术沉淀与创新突破，北方华创已形成具有核心技术优势、品类齐全、应用广泛的外延系列化产品，具备单晶硅、多晶硅、 碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）等多种材料外延生长技术能力，覆盖集成电路、功率半导体、化合物半导体等领域应用需 求。截至 2023年底，北方华创已发布 20余款量产型外延设备，累计出货超 1000腔。 公司自主研发的 12英寸常压硅外延 设备，实现了对逻辑芯片、存储芯片、功率器件及特色工艺的全覆盖，且已全部成功量产，成为客户的基线产品。北方华 创“硅薄膜外延设备研发及产业化”项目于 2023年获评“北京市科学技术进步奖一等奖”。 （3）立式炉及清洗设备 立式炉和清洗设备分别约占集成电路装备总资本开支的 5%，在集成电路工艺生产线上发挥着关键作用。立式炉主要包 括立式氧化/退火炉、多片立式低压化学气相沉积设备（LPCVD）和多片立式原子层沉积设备（ALD）。清洗设备主要包 括单片清洗设备和槽式清洗设备。2023年公司立式炉和清洗设备收入合计超 30亿元。 在立式炉领域，北方华创突破并掌握了气流场/温度场控制、反应源精密输送、硅片表面热场设计等关键技术，实现了 立式炉系列化设备在逻辑和存储工艺制程应用的全面覆盖。截至 2023年底，公司立式炉累计出货超 700台。 在清洗设备领域，北方华创经过多年的技术积累，先后突破了多项关键模块设计技术和清洗工艺技术，包括伯努利卡 盘和双面工艺卡盘、高效率药液回收系统、热 SPM工艺、热磷酸工艺、低压干燥工艺等，实现了槽式工艺全覆盖，同时高 端单片工艺实现突破。公司在集成电路领域的工艺设备均已在客户端实现量产。截至 2023年底，公司清洗设备累计出货超 1200台。 （4）新能源光伏领域设备 在新能源光伏领域，公司晶硅电池制造设备实现了多项技术突破，建立了行业领先的技术优势。扩散设备工艺性能表 现突出，具有高产出、高效能、高稳定性的特点；PECVD设备覆盖多种电池技术； LPCVD设备实现了大尺寸硅片兼容和 高载片量的突破。目前，公司在 PERC、TOPCon、HJT等领域实现了扩散、氧化、退火类设备的全覆盖，为光伏行业提供 了更为专业、高效、先进、低成本的解决方案。截至 2023年底，公司光伏领域设备累计出货超过 4000台，实现头部客户 全覆盖，并出口越南、泰国、新加坡、马来西亚等地，成为光伏行业领先的解决方案提供商。2023年公司新能源光伏领域 设备收入近 20亿元。 2．真空及锂电工艺装备 真空装备作为基础材料制造业的工业母机，在多个领域发挥着重要作用。公司深耕高压、高温、高真空技术，研发的 真空热处理、气氛保护热处理、连续式热处理、磁控溅射镀膜、多弧离子镀膜、硅单晶生长等高端热处理工艺装备，广泛 应用于真空电子、半导体材料、储能材料、磁性材料、碳碳复材、碳陶材料等领域，为行业提供高效、节能、环保的真空 及锂电装备工艺解决方案。 （1）真空炉 北方华创紧跟新能源的技术发展方向，围绕先进陶瓷领域，根据氮化铝、氮化硅、碳化硼、高纯氧化铝等先进陶瓷制 备工艺需求，针对性开发了产业链相关的 13种工艺设备，丰富了公司真空产品线。真空热处理工艺设备在半导体行业的关 键零部件、分立器件等制造领域均实现广泛应用，其中气淬炉已通过客户工艺验证，高纯 SiC部件用渗硅炉、重结晶炉通 过客户工艺验证并实现销售，AMB基覆铜板钎焊炉及氧化铝 HTCC烧结炉已实现批量销售。此外，北方华创结合客户需 求，开发了应用于光伏行业高温材料制备的连续石墨化炉， 目前在碳碳、碳陶等领域已实现批量应用。 （2）单晶炉 针对光伏行业低成本、大产能需求，北方华创研发了连续拉晶系统（CCZ），可有效减小加料和熔料时间，显著降低 单晶圆棒非硅成本，同时具有晶棒电阻率范围窄且可控的优点。结合客户实际生产运行情况，北方华创开发了不同尺寸的 硅单晶生长炉，在行业头部客户累计销售硅单晶炉超过 5000台。同时，北方华创为客户提供最优的能耗解决方案，主导制 定了《单晶炉能源消耗规划》行业标准，为全行业提供了单晶炉生产能耗的量化标准。 （3）工业镀膜设备 工业镀膜设备包括工业 PVD镀膜设备和工业 CVD镀膜设备。北方华创围绕新能源电池新型材料，设计开发了新一代 复合集流体高速卷绕 PVD镀膜设备，解决锂电池下一代复合集流体的批量制备难题。针对氢燃料电池领域，采用多弧技术， 开发了双极板连续立式 PVD镀膜设备；针对各种 PVD工艺的测试与客户工艺验证，开发了多弧、蒸镀、磁控溅射为一体 的多功能工艺测试平台，为各类功能涂层制备奠定了基础。同时，围绕半导体设备关键零部件的制备，北方华创研发了重 结晶碳化硅结构件的 CVD工艺技术，开发碳化硅纤维增强、碳化硅复合材料的工业 CVD设备，为新一代陶瓷基复合材料 领域提供解决方案。 3．精密电子元器件 在高端精密电子元器件领域，公司主要产品为电源管理芯片、石英晶体器件、石英微机电传感器、高精密电阻器、钽 电容器、微波组件等。公司将现有工艺与半导体工艺相结合研制新产品，拓展新应用。新开发的模拟链路产品，采用国内 先进半导体工艺制程，结合先进塑封技术和高可靠金属陶瓷封装技术，具有产品种类覆盖宽、适用面广、宽温度适应性和 高可靠等优势，主要应用于通信、交通及电力等领域，在信号处理中有着无可替代的作用。新开发的硅电容器，采用半导 体 MOS工艺和微机电系统（MEMS）工艺相结合的技术，具有小型化、集成化、高精密的特点，主要应用于通信、射频微 波、2.5D/3D先进封装、汽车电子等领域，在天线匹配、射频滤波等电路中具有突出优势。 （二）收入与成本 1．营业收入构成 单位：元
单位：元
3．公司实物销售收入是否大于劳务收入 ?是 ?否
?适用 ?不适用 公司主营业务发展良好，应用于高端集成电路领域的刻蚀设备、薄膜沉积设备、清洗设备和炉管设备等多种核心工艺 装备突破多项关键技术并实现产业化应用，市场认可度持续提升，工艺覆盖度及市场占有率显著增长，产品销售量与生产 量实现同比较快增长。 4．公司已签订的重大销售合同、重大采购合同截至本报告期的履行情况 ?适用 ?不适用 5．营业成本构成 行业分类 单位：元
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