盛美上海(688082):盛美半导体设备(上海)股份有限公司向特定对象发行股票证券募集说明书(申报稿)

时间:2024年11月11日 19:01:25 中财网

原标题:盛美上海:盛美半导体设备(上海)股份有限公司向特定对象发行股票证券募集说明书(申报稿)

股票简称:盛美上海 股票代码:688082 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 ACM Research(Shanghai), Inc. (中国(上海)自由贸易试验区丹桂路 999弄 5、6、7、8号全幢) 2024年度向特定对象发行 A股股票 募集说明书 (申报稿) 保荐人(主承销商) 声 明
本公司及全体董事、监事、高级管理人员承诺募集说明书及其他信息披露资料不存在任何虚假记载、误导性陈述或重大遗漏,并对其真实性、准确性及完整性承担相应的法律责任。

公司负责人、主管会计工作负责人及会计机构负责人保证募集说明书中财务会计资料真实、完整。

中国证监会、交易所对本次发行所作的任何决定或意见,均不表明其对申请文件及所披露信息的真实性、准确性、完整性作出保证,也不表明其对发行人的盈利能力、投资价值或者对投资者的收益作出实质性判断或保证。任何与之相反的声明均属虚假不实陈述。根据《证券法》的规定,证券依法发行后,发行人经营与收益的变化,由发行人自行负责。投资者自主判断发行人的投资价值,自主作出投资决策,自行承担证券依法发行后因发行人经营与收益变化或者证券价格变动引致的投资风险。


重大事项提示
本部分所述的词语或简称与本募集说明书“释义”中所定义的词语或简称具有相同的含义。

1、公司本次向特定对象发行股票的相关事项已经公司第二届董事会第八次会议、2024年第一次临时股东大会、第二届董事会第十四次会议审议通过,本次发行方案尚需经上海证券交易所审核通过、中国证监会同意注册后方可实施。

2、本次发行对象为不超过 35名符合中国证监会规定条件的特定对象,包括证券投资基金管理公司、证券公司、信托公司、财务公司、资产管理公司、保险机构投资者、合格境外机构投资者、其他境内法人投资者、自然人或其他合格投资者。证券投资基金管理公司、证券公司、合格境外机构投资者、人民币合格境外机构投资者以其管理的 2只以上产品认购的,视为一个发行对象;信托公司作为发行对象的,只能以自有资金认购。

最终发行对象由公司董事会及其授权人士根据股东大会授权,在本次发行申请获得上海证券交易所审核通过并经中国证监会做出予以注册决定后,由公司董事会根据询价结果,与保荐机构(主承销商)协商确定。若发行时国家法律、法规或规范性文件对发行对象另有规定的,从其规定。所有发行对象均以人民币现金方式并按同一价格认购本次发行的股票。

3、本次向特定对象发行股票采取询价发行方式,本次向特定对象发行的定价基准日为发行期首日。

本次向特定对象发行股票的发行价格为不低于定价基准日前二十个交易日公司股票交易均价的 80%,上述均价的计算公式为:定价基准日前二十个交易日股票交易均价=定价基准日前二十个交易日股票交易总额/定价基准日前二十个交易日股票交易总量。若公司股票在本次发行定价基准日至发行日期间发生派息、送股、资本公积金转增股本等除权、除息事项,则本次发行的发行价格将进行相应调整。

最终发行价格将在本次发行申请获得上海证券交易所审核通过并经中国证监会作出予以注册决定后,由公司董事会根据股东大会授权与保荐机构(主承销商)按照相关法律法规的规定和监管部门的要求,遵照价格优先等原则,根据发行对象申购报价情况协商确定,但不低于前述发行底价。

4、本次向特定对象发行股票的数量按照募集资金总额除以发行价格确定,且不超过本次发行前公司总股本的 10%,即本次发行不超过 43,615,356股(含本数)。最终发行数量将在本次发行获得中国证监会做出予以注册决定后,根据发行对象申购报价的情况,由公司董事会根据股东大会的授权与本次发行的保荐机构(主承销商)协商确定。

若公司在审议本次向特定对象发行事项的董事会决议公告日至发行日期间发生送股、资本公积金转增股本等除权事项或者因股份回购、员工股权激励计划等事项导致公司总股本发生变化,本次向特定对象发行的股票数量上限将作相应调整。

若本次向特定对象发行的股份总数因监管政策变化或根据发行注册文件的要求予以变化或调减的,则本次向特定对象发行的股份总数及募集资金总额届时将相应变化或调减。

5、本次向特定对象发行股票募集资金总额不超过 450,000.00万元(含本数),扣除发行费用后,募集资金净额拟投入以下项目:
单位:万元

序号项目名称拟投资总额拟使用募集资金投资金额
1研发和工艺测试平台建设项目94,034.8594,034.85
2高端半导体设备迭代研发项目225,547.08225,547.08
3补充流动资金130,418.07130,418.07
合计450,000.00450,000.00 
在上述募集资金投资项目的范围内,公司可根据项目的进度、资金需求等实际情况,对相应募集资金投资项目的投入顺序和具体金额进行适当调整,募集资金到位前,公司可以根据募集资金投资项目的实际情况,以自筹资金先行投入,并在募集资金到位后予以置换。募集资金到位后,若扣除发行费用后的实际募集资金净额少于拟投入募集资金总额,不足部分由公司以自筹资金解决。

6、本次向特定对象发行股票不会导致公司控股股东和实际控制人发生变化,不会导致公司股权分布不具备上市条件。

7、本次向特定对象发行股票完成后,公司本次发行前滚存的未分配利润由公司新老股东按照本次发行完成后各自持有的公司股份比例共同享有。

8、根据《国务院办公厅关于进一步加强资本市场中小投资者合法权益保护工作的意见》(国办发〔2013〕110号)、《国务院关于进一步促进资本市场健康发展的若干意见》(国发〔2014〕17号)以及中国证监会发布的《关于首发及再融资、重大资产重组摊薄即期回报有关事项的指导意见》(证监会公告〔2015〕31号)等法律、法规、规章及其他规范性文件的要求,为保障中小投资者知情权、维护中小投资者利益,公司制定了本次发行后填补被摊薄即期回报的措施,公司控股股东、实际控制人、董事、高级管理人员对公司填补回报措施能够得到切实履行作出了承诺。

公司所制定的填补回报措施不代表公司对未来经营情况及趋势的判断,不构成承诺,不构成盈利预测。投资者不应据此进行投资决策,投资者据此进行投资决策造成损失的,公司不承担赔偿责任。提请广大投资者注意。

9、董事会特别提醒投资者仔细阅读本募集说明书“第六章 与本次发行相关的风险因素”有关内容。其中,特别提醒投资应注意以下主要风险: (1)募集资金不足的风险
本次发行股票数量不超过 43,615,356股(含本数),募集资金总额不超过450,000.00万元(含本数),在扣除发行相关费用后拟用于研发和工艺测试平台建设项目、高端半导体设备迭代研发项目以及补充流动资金。但若二级市场行情波动导致公司股价大幅下跌,存在筹资不足的风险,从而导致募集资金投资项目无法顺利实施。

(2)募投项目无法顺利实施的风险
公司本次发行募集资金投资项目的选择是基于当前市场环境、公司现有业务状况和未来发展战略等因素做出的,募集资金投资项目经过了慎重、充分的可行性研究论证。若前述因素发生重大变化,本次募集资金投资项目的投资进度、建设过程及实施结果等将存在一定的不确定性。如果本次募投项目的投资进度、建设过程及实施结果与预期不符,或者公司无法补足募投项目的资金缺口,募投项目将会面临无法按期充分实施的风险。

(3)募投项目的研发成果不达预期的风险
本次募投项目中的高端半导体设备迭代研发项目系基于当前市场环境、国家产业政策以及技术发展趋势等因素做出,经过了慎重、充分的可行性分析论证,但如果行业发展趋势、下游市场需求、技术研发方向的变化等发生调整,将可能导致研发项目投入效果或进度未达预期,无法形成产品或服务、产品或服务无法满足客户需求或销售情况未达预期,从而对公司生产经营及经营业绩产生不利影响的风险。

(4)募投项目新增折旧摊销导致净利润下滑的风险
公司本次募投项目将投入较大金额用于硬件设备、软件等购置。项目达到预定可使用状态后,将新增相应的固定资产折旧和无形资产摊销。如果未来行业或市场环境等因素发生重大不利变化,公司利润增长无法覆盖募集资金投资项目的折旧、摊销费用,则存在折旧摊销增加导致净利润下滑的风险。

(5)市场竞争风险
全球半导体专用设备行业市场竞争激烈,市场主要被国际巨头企业所占据,公司产品在其面向的市场均与国际巨头直接竞争。与中国大陆半导体专用设备企业相比,国际巨头企业拥有更强的资金实力、技术储备、销售团队、制造能力、销售渠道和市场知名度,拥有更广泛的客户和合作伙伴关系,也拥有更长的经营历史、更为丰富的产品系列、更为广泛的地域覆盖,能够更好地识别和应对市场和客户需求的变化。部分国际巨头还能为同时购买多种产品的客户提供捆绑折扣。

近年来随着中国半导体终端应用市场的不断增长,中国半导体制造、封测、材料、设备等子行业的发展迅速。中国大陆市场预计将成为全球半导体设备企业竞争的主战场,公司未来将面临国际巨头企业和中国新进入者的双重竞争。公司产品与国际巨头相比,在适用技术节点、市场占有率等方面有一定的差距,如果公司无法有效应对与该等竞争对手之间的竞争,公司的业务收入、经营成果和财务状况都将受到不利影响。

(6)行业风险
公司所处的半导体专用设备行业是半导体产业链的关键性支撑行业,其需求直接受到芯片制造、封测行业及终端应用市场的影响。如果未来宏观经济发生剧烈波动,导致 5G通信、计算机、消费电子、网络通信、汽车电子、物联网等终端市场需求下降,晶圆制造、封测企业将面临产能过剩的局面,从而导致芯片产品销量和价格的下降,其营业收入、盈利能力也将随之下降。晶圆制造、封测企业通常会在行业低迷期间大幅削减资本性支出,而且资本性支出的下降幅度往往会超过其营业收入的下降幅度,从而削减对半导体专用设备的采购金额,将会对公司的业务发展和经营业绩造成不利影响。

而在半导体行业景气度提升的周期,公司必须提高产量以满足预期的客户需求,这要求公司及供应商增加库存、扩大生产能力。如果公司不能及时应对客户需求的快速增长,或者对需求增长的期间、持续时间或幅度判断错误,一方面公司可能会失去现有客户,另一方面也可能发生与营业收入增长不成比例的成本增加,进而可能会对公司的业务、经营成果、财务状况或现金流量产生重大不利影响。

(7)应收账款回收的风险
报告期末,公司的应收账款账面价值为 198,936.79万元,占总资产的比例为17.50%。报告期内,公司的应收账款金额较大,对公司造成了一定的营运资金压力。但公司的主要客户均为国内外主流半导体企业,总体信用状况良好。公司已根据谨慎性原则对应收账款计提了坏账准备。如果未来公司应收账款管理不当或者客户自身发生重大经营困难,可能导致公司应收账款无法及时收回,将对公司的经营业绩造成不利影响。

(8)存货跌价风险
公司的半导体专用设备产品进入市场需要经历较长的验证过程,生产阶段需要根据订单提前备货,且交付后需要安装调试后客户才完成验收,因此公司的原材料及发出商品随着业务规模快速扩张、产品种类的增加、在手订单规模的扩大而增加。报告期末,公司的存货账面价值为 435,894.98万元,占流动资产的比例为 48.74%,库存商品和发出商品账面价值为 204,758.67万元,占存货账面价值的比例为 46.97%,账面价值较高且在报告期内随公司业务发展逐年增加。

公司难以准确预测客户的需求,公司的设备需求预测基于多项假设,包括从客户处得到的非约束性预测,但每一个假设都可能导致公司的预测出现差错,导致原材料及零部件的存货水平超过客户需求。或者由于产品设计方案变更造成零部件或原材料清单变化、客户订单的减少,均可能导致公司的部分零部件和原材料在库存期间过时或过剩,从而导致存货发生跌价风险。

如果未来产品销售价格发生重大不利变化或发出商品在客户端未能验收通过而被退回,可能导致存货可变现净值低于账面净值,而需要计提存货跌价准备,从而影响公司的盈利水平。

(9)宏观环境风险
近年来,国际政治经济环境变化,国际贸易摩擦不断升级,半导体产业成为受到影响最为明显的领域之一,也对中国相关产业的发展造成了客观不利影响。

国际政治环境的不确定性可能会对半导体行业产生负面影响,包括降低晶圆制造、封测企业对半导体专用设备的需求。如果所在国贸易政策、关税、附加税、出口限制或其他贸易壁垒进一步恶化,将可能对公司客户的生产或销售能力造成不利影响,使公司客户的经营状况恶化,导致客户对公司设备产品的需求降低。此外,如果中国政府对公司从美国采购的原材料或零部件加征关税,公司的经营成本也将增加,进而会对公司的营业收入、经营成果或财务状况产生不利影响。

(10)知识产权争端风险
公司所处的半导体专用设备行业属于典型的技术密集型行业,具有技术优势的行业领先企业需要通过申请专利的方式对自身核心技术进行保护。公司取得的经营成果在一定程度上依赖于自身知识产权体系,以及公司维持该等知识产权和保护商业秘密的能力,还包括公司在不侵犯他人专利的情况下开展经营的能力。

公司高度重视知识产权的保护,帮助技术研发人员形成专利技术成果,同时提高不侵犯他人知识产权的意识。若公司被竞争对手诉诸知识产权争端,或者公司自身的知识产权被竞争对手侵犯,将对公司的生产经营造成不利影响。

目录
释 义 ........................................................................................................................... 12
一、基本术语...................................................................................................... 12
二、专业术语...................................................................................................... 14
第一章 发行人基本情况 ......................................................................................... 17
一、发行人概况.................................................................................................. 17
二、发行人股权结构、控股股东及实际控制人情况...................................... 17 三、所处行业的主要特点及行业竞争情况...................................................... 20 四、主要业务模式、产品或服务的主要内容.................................................. 29 五、现有业务发展安排及未来发展战略.......................................................... 38 六、截至最近一期末,不存在金额较大的财务性投资的基本情况.............. 39 七、科技创新水平以及保持科技创新能力的机制或措施.............................. 42 第二章 本次证券发行概要 ....................................................................................... 50
一、本次发行的背景和目的.............................................................................. 50
二、发行对象及与发行人的关系...................................................................... 55
三、发行证券的价格或定价方式、发行数量、限售期.................................. 55 四、募集资金投向.............................................................................................. 57
五、本次发行是否构成关联交易...................................................................... 57
六、本次发行是否将导致公司控制权发生变化.............................................. 57 七、本次发行方案取得有关主管部门批准的情况以及尚需呈报批准的程序...................................................................................................................................... 58
第三章 本次募集资金使用的可行性分析 ............................................................. 59
一、本次募集资金使用计划.............................................................................. 59
二、本次募集资金投资项目的基本情况.......................................................... 59 三、项目实施的必要性和可行性...................................................................... 65
四、本次募集资金投资项目涉及立项、土地、环保等有关审批、批准或备案事项的进展、尚需履行的程序及是否存在重大不确定性...................................... 73 五、募集资金用于研发投入的情况.................................................................. 74
六、募集资金用于补充流动资金的情况.......................................................... 77 七、本次募集资金投资于科技创新领域的主营业务...................................... 82 八、本次发行满足“两符合”和不涉及“四重大” .............................................. 84 九、本次发行符合“理性融资、合理确定融资规模”规定 .............................. 85 十、公司具有轻资产、高研发的特点.............................................................. 86 第四章 董事会关于本次发行对公司影响的讨论与分析 ....................................... 88 一、本次发行完成后,上市公司的业务及资产的变动或整合计划.............. 88 二、本次发行完成后,上市公司控制权结构的变化...................................... 88 三、本次发行完成后,上市公司与发行对象及发行对象的控股股东和实际控制人从事的业务存在同业竞争或潜在同业竞争的情况.......................................... 88 四、本次发行完成后,上市公司与发行对象及发行对象的控股股东和实际控制人可能存在的关联交易的情况.............................................................................. 88
五、本次发行完成后,上市公司科研创新能力的变化.................................. 89 第五章 历次募集资金运用 ....................................................................................... 90
一、最近五年内募集资金运用的基本情况...................................................... 90 二、前次募集资金的实际使用情况.................................................................. 91
三、前次募集资金使用对发行人科技创新的作用.......................................... 97 四、会计师事务所对前次募集资金运用所出具的专项报告结论.................. 98 第六章 与本次发行相关的风险因素 ..................................................................... 100
一、对公司核心竞争力、经营稳定性及未来发展可能产生重大不利影响的因素................................................................................................................................ 100
二、可能导致本次发行失败或募集资金不足的因素.................................... 107 三、对本次募投项目的实施过程或实施效果可能产生重大不利影响的因素.................................................................................................................................... 108
第七章 与本次发行相关的声明 ............................................................................. 110
一、全体董事、监事、高级管理人员声明.................................................... 110 二、发行人控股股东声明................................................................................ 117
三、发行人实际控制人声明............................................................................ 118
四、保荐人(主承销商)声明(一)............................................................ 119 四、保荐人(主承销商)声明(二)............................................................ 120 五、发行人律师声明........................................................................................ 121
六、审计机构声明............................................................................................ 122
七、发行人董事会声明.................................................................................... 123

释 义
本募集说明书中,除非文义另有所指,下列词语或简称具有如下含义: 一、基本术语

发行人、公司、股份公 司、盛美上海盛美半导体设备(上海)股份有限公司
盛帷上海盛帷半导体设备(上海)有限公司,发行人全资子公司
香港清芯CleanChip Technologies Limited(清芯科技有限公司),发行人全 资子公司,系一家注册于香港的公司
盛美韩国ACM Research Korea CO., LTD.,香港清芯的全资子公司,系一 家注册于韩国的公司
盛美加州ACM Research (CA), Inc.,香港清芯的全资子公司,系一家注册 于美国的公司
盛奕科技盛奕半导体科技(无锡)有限公司,发行人参股公司
芯物科技上海芯物科技有限公司,发行人参股公司
韦睿医疗昆山韦睿医疗科技有限公司,发行人参股公司
石溪产恒合肥石溪产恒集成电路创业投资基金合伙企业(有限合伙),发 行人参股企业
中科共芯广州中科共芯半导体技术合伙企业(有限合伙),发行人参股企 业
科芯二期南通全德学镂科芯二期创投基金管理合伙企业(有限合伙),发 行人参股企业
安徽晶纭安徽晶纭先进材料有限责任公司,发行人参股企业
海普瑞海普瑞(常州)洁净系统科技有限公司,发行人参股企业
美国 ACMRACM Research, Inc.,发行人控股股东,系 NASDAQ上市公司, 股票代码:ACMR
股票、A股公司本次发行的人民币普通股股票
本次向特定对象发行 股票、本次向特定对象 发行、本次发行盛美半导体设备(上海)股份有限公司 2024年度向特定对象发 行 A股股票的行为
本募集说明书2024年度向特定对象发行 A股股票募集说明书
定价基准日本次发行的发行期首日
长江存储长江存储科技有限责任公司,发行人客户
华虹集团上海华虹(集团)有限公司,发行人客户
海力士SK hynix Inc.,发行人客户
中芯国际中芯国际集成电路制造有限公司,发行人客户
合肥长鑫合肥长鑫集成电路有限责任公司,发行人客户
长电科技江苏长电科技股份有限公司,发行人客户
通富微电通富微电子股份有限公司,发行人客户
盛合晶微盛合晶微半导体(江阴)有限公司,发行人客户
NepesNepes corporation,发行人客户
金瑞泓浙江金瑞泓科技股份有限公司,发行人客户
合晶科技合晶科技股份有限公司,发行人客户
中科院微电子所中国科学院微电子研究所,发行人客户
上海集成电路研发中 心上海集成电路研发中心有限公司,发行人客户
华进半导体华进半导体封装先导技术研发中心有限公司,发行人客户
士兰微杭州士兰微电子股份有限公司,发行人客户
芯恩半导体芯恩(青岛)集成电路有限公司,发行人客户
晶合合肥晶合集成电路股份有限公司,发行人客户
中科智芯江苏中科智芯集成科技有限公司,发行人客户
芯德江苏芯德半导体科技有限公司,发行人客户
华天科技天水华天科技股份有限公司,发行人客户
斯达嘉兴斯达半导体股份有限公司,发行人客户
比亚迪半导体成都比亚迪半导体有限公司,发行人客户
成都奕成成都奕成集成电路有限公司,发行人客户
德州仪器德州仪器半导体制造(成都)有限公司,发行人客户
厦门联芯联芯集成电路制造 (厦门 )有限公司,发行人客户
渠梁电子渠梁电子有限公司,发行人客户
Applied MaterialsApplied Materials, Inc.
ASMLASML Holding N.V.
TELTOKYO ELECTRON LTD.
LAMLAM RESEARCH CORPORATION
DNSSCREEN Holdings Co., Ltd.
KLAKLA CORPORATION
SEMESSEMES Co. Ltd.
芯源微沈阳芯源微电子设备股份有限公司
拓荆科技拓荆科技股份有限公司
《证券法》《中华人民共和国证券法》
《注册管理办法》《上市公司证券发行注册管理办法》
《证券期货法律适用 意见第 18号》《<上市公司证券发行注册管理办法>第九条、第十条、第十一条 第十三条、第四十条、第五十七条、第六十条有关规定的适用意 见——证券期货法律适用意见第 18号》
《募集资金管理制度》《盛美半导体设备(上海)股份有限公司募集资金管理制度》
中国证监会中国证券监督管理委员会
上交所上海证券交易所
报告期2021年度、2022年度、2023年度及 2024年 1-9月
近三年2021年度、2022年度及 2023年度
报告期各期末2021年末、2022年末、2023年末及 2024年 9月末
保荐机构、本保荐机 构、保荐人、主承销商 海通证券海通证券股份有限公司
会计师、立信立信会计师事务所(特殊普通合伙)
发行人律师、金杜北京市金杜律师事务所
元、万元人民币元、人民币万元
二、专业术语

半导体常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,按照制造技术可 分为集成电路(IC)、分立器件、光电子和传感器,可广泛应用 于下游通信、计算机、消费电子、网络技术、汽车及航空航天等 产业
硅片Silicon Wafer,半导体级硅片,用于集成电路、分立器件、传感 器等半导体产品制造
IC、集成电路Integrated Circuit,指通过一系列特定的加工工艺,将晶体管、二 极管等有源器件和电阻器、电容器等无源元件按一定的电路互联 并集成在半导体晶片上,封装在一个外壳内,执行特定功能的电 路或系统
晶圆在氧化/扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长、清洗与抛光 金属化等特定工艺加工过程中的硅片
芯片集成电路的载体,也是集成电路经过设计、制造、封装、测试后 的结果
晶圆制造、芯片制造将通过一系列特定的加工工艺,将半导体硅片加工制造成芯片的 过程,分为前道晶圆制造和后道封装测试。
存储器电子系统中的记忆设备,用来存放程序和数据
5G5th-Generation,即第五代移动电话行动通信标准
光刻利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将电路图形传 递到单晶表面或介质层上,形成有效图形窗口或功能图形的工艺 技术
刻蚀用化学或物理方法有选择地在硅表面去除不需要的材料的过程, 是与光刻相联系的图形化处理的一种主要工艺,是半导体制造工 艺的关键步骤
涂胶将光刻胶均匀涂覆到晶圆表面的过程
显影将曝光完成的晶圆进行成像的过程,通过这个过程,成像在光阻 上的图形被显现出来
Track涂胶/显影机,又称涂布/显影机、匀胶/显影机
CVDChemical Vapor Deposition,化学气相沉积
PVDPhysical Vapor Deposition,物理气相沉积
ECPElectro Chemical Plating,电化学电镀,利用电解原理在晶圆表面 上镀上一薄层其它金属或合金的过程
PECVDPlasma Enhanced Chemical Vapor Deposition(等离子体增强化学 气相沉积),是 CVD的一种,在沉积室利用辉光放电使其电离 后在衬底上进行化学反应沉积的半导体薄膜材料制备和其他材 料薄膜的制备方法
LPCVDLow Pressure Chemical Vapor Deposition,低压力化学气相沉积
ALDAtomic Layer Deposition,原子层沉积,是一种可以将物质以单 原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法
PEALDPlasma Enhanced Atomic Layer Deposition(等离子体增强原子层 沉积),一种原子层沉积技术
SFPStress Free Polish,无应力抛光技术,该技术利用电化学反应原 理,在抛除晶圆表面金属膜的过程中,摒弃抛光过程的机械压力 根除机械压力对金属布线的损伤
ArF一种以深紫外(DUV)为光源、光波长为 193nm、应用技术节 点为 0.13μm-7nm的光刻工艺
KrF一种以深紫外(DUV)为光源、光波长为 248nm、应用技术节 点为 0.25-0.13μm的光刻工艺
i-line一种以紫外光(汞灯)为光源、光波长为 365nm、应用技术节点 为 0.35-0.25μm的光刻工艺
k、介电常数希腊文 Kappa,描述一种材料保有电荷的能力
CMPChemical Mechanical Polishing,化学机械抛光,使晶圆表面保持 完全平坦或进行平坦化处理
DRAMDynamic Random Access Memory,动态随机存取存储器
NAND闪存,属于非易失性存储器。
3D NAND一种新兴的闪存类型,通过把存储单元堆叠在一起来解决 2D或 者平面 NAND闪存带来的限制。
ChipletChip in Package on Package,在同一个封装或系统里集成多个裸 片的一种新型芯片设计模式
TSVThrough Silicon Via,通过在芯片和芯片之间、晶圆和晶圆之间 制作垂直导通,实现芯片之间互连的新的技术解决方案
良率被测试电路经过全部测试流程后,测试结果为良品的电路数量占 据全部被测试电路数量的比例
前道、后道芯片制造分为前道和后道工艺,前道主要是光刻、刻蚀、清洗、 离子注入、化学机械平坦等;后道主要有打线、Bonder、FCB、 BGA 植球、检查、测试等
封装封装技术的定义为,在半导体开发的最后阶段,将一小块材料(如 芯片)包裹在支撑外壳中,以防止物理损坏和腐蚀,并允许芯片 连接到电路板的工艺技术
先进封装处于前沿的封装形式和技术。目前,带有倒装芯片(FC)结构 的封装、圆片级封装(WLP)、系统级封装(SiP)、2.5D封装 3D封装等均被认为属于先进封装范畴
晶圆级封装(WLP)晶圆级封装(Wafer level packaging)将封装尺寸减小至集成电路 芯片大小,以及它可以晶圆形式成批加工制作,使封装降低成本
凸块下金属、UBMUBM是焊盘和焊球之间的金属过渡层,位于圆片钝化层的上部 UBM与圆片上的金属化层有着非常好的粘附特性,与焊料球之 间也有着良好的润湿特性,在焊球与 IC金属焊盘之间作为焊料 的扩散层。UBM作为氧化阻挡层还起着保护芯片的作用
UBM/RDL技术凸点底层金属/薄膜再分布技术,可以在去除阻挡层和种子层的 同时尽量减少底切,控制和精确监测刻蚀步骤完成的时间,从而 减少底切并保证临界特征(线或凸点)尺寸
PillarBump柱状凸块
FinFETFin Field-Effect Transistor,鳍式场效应晶体管,是一种新的互补 式金氧半导体晶体管,可以改善电路控制并减少漏电流,缩短晶 体管的栅长
IPA干燥利用异丙醇(IPA)的低表面张力和易挥发的特性,取代硅片表 面的具有较高表面张力的水分,然后用氮气吹干,达到彻底干燥 硅片水膜的目的
Fan-Out、扇出式基于晶圆重构技术,将芯片重新埋置到晶圆上,然后按照与标准 WLP工艺类似的步骤进行封装,得到的实际封装面积要大于芯 片面积,在面积扩展的同时也可以增加其它有源器件及无源元件 形成 SIP
伯努利卡盘在晶圆清洗时,利用伯努利空气动力学悬浮原理,把晶圆吸在夹 盘上的装置
SAPS清洗技术Space Alternative Phase Shift,空间交替相移技术,利用兆声波的 交替相,在微观水平上以高度均匀的方式向平板和图案化的晶圆 表面提供兆声波能量,有效地去除整个晶圆上的随机缺陷,并减 少化学药品的使用
TEBO清洗技术Timely Energized Bubble Oscillation,时序能激气穴震荡,通过使 用一系列快速的压力变化迫使气泡以特定的尺寸和形状振荡,在 兆频超声清洗过程中精确、多参数地控制气泡的空化,避免传统 超音速清洗中出现的由瞬时空化引起的图案损坏,对图案化芯片 进行无损清洗
Tahoe技术盛美上海自主研发的清洗技术,在单个湿法清洗设备中集成了槽 式模块和单片模块,兼具二者的优点;Tahoe清洗设备的清洗效 果与工艺适用性可与单片清洗设备相媲美,还可大幅减少硫酸使 用量,帮助客户降低生产成本又能更好的符合节能环保的政策
大马士革工艺衍生自古代的 Damascus(大马士革)工匠之嵌刻技术,先在介 电层上刻蚀金属导线用的图膜,然后再填充金属,特点是不需要 进行金属层的刻蚀
工艺、节点、制程即晶体管栅极宽度的尺寸,用来衡量半导体芯片制造的工艺水准
SEMISemiconductor Equipment and Materials International,国际半导体 设备与材料产业协会。
GartnerIT领域领先的研究与顾问公司,研究范围覆盖从最上游的硬件 设计、制造到最下游终端应用的 IT产业全环节
mm-3 毫米,10 米,用于描述半导体晶圆的直径的长度
μm-6 微米,10 米
nm-9 纳米,10 米
注:本募集说明书中除特别说明外所有数值保留 2位小数,若出现总数与各分项数值之和尾数不符的情况,均为四舍五入原因造成。


第一章 发行人基本情况
一、发行人概况

中文名称盛美半导体设备(上海)股份有限公司
英文名称ACM Research (Shanghai), Inc.
法定代表人HUI WANG
股票上市地上海证券交易所
股票简称盛美上海
股票代码688082
上市时间2021年 11月 18日
总股本43,615.3563万股
公司住所中国(上海)自由贸易试验区丹桂路 999弄 5、6、7、8号全幢
邮政编码201203
电话号码021-50808868
传真号码021-50808860
公司网址www.acmrcsh.com.cn
电子信箱[email protected]
经营范围一般项目:半导体器件专用设备制造;电子专用设备制造;机械零 件、零部件加工;半导体器件专用设备销售;电子专用设备销售; 专用设备修理;专业设计服务;技术服务、技术开发、技术咨询、 技术交流、技术转让、技术推广;货物进出口;技术进出口。(除 依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
二、发行人股权结构、控股股东及实际控制人情况
(一)发行人股权结构
截至 2024年 9月 30日,发行人股权结构如下:

序号股份类型数量(股)比例
1有限售条件股份360,288,77182.61%
 ——首次公开发行前股份357,692,30882.01%
 ——其他限售股份2,596,4630.60%
2无限售条件股份75,864,79217.39%
3股份总数436,153,563100.00%
(二)发行人前十名股东的持股情况
截至 2024年 9月 30日,发行人前十大股东持股情况如下:

序 号股东名称持股比例持股数 (万股)股本性质股东性质质押或冻结 的股份数量 (万股)
1美国 ACMR82.01%35,769.2308限售流通 A股境外法人-
2招商银行股份有限公司-华 夏上证科创板 50成份交易型 开放式指数证券投资基金1.56%681.1427A股流通股其他-
3上海浦东新兴产业投资有限 公司1.06%461.5384A股流通股国有法人-
4中国工商银行股份有限公司 -诺安成长混合型证券投资 基金1.05%458.2795A股流通股其他-
5中国工商银行股份有限公司 -易方达上证科创板 50成份 交易型开放式指数证券投资 基金0.94%411.5212A股流通股其他-
6中国农业银行股份有限公司 -东方人工智能主题混合型 证券投资基金0.84%366.1978A股流通股其他-
7香港中央结算有限公司0.80%350.7989A股流通股其他-
8上海集成电路产业投资基金 股份有限公司0.61%265.5015A股流通股国有法人-
9中国建设银行股份有限公司 -华夏国证半导体芯片交易 型开放式指数证券投资基金0.42%183.1675A股流通股其他-
10中国工商银行股份有限公司 -华泰柏瑞沪深 300交易型开 放式指数证券投资基金0.33%144.6473A股流通股其他-
合计89.62%39,092.0256--- 
(三)发行人实际控制人、控股股东情况
截至 2024年 9月 30日,美国 ACMR系发行人第一大股东,持有发行人357,692,308股股份,持股比例为 82.01%,为发行人的控股股东。HUI WANG为发行人的实际控制人。

1、控股股东基本情况
截至 2024年 9月 30日,美国 ACMR作为公司控股股东持有公司 357,692,308股,占比 82.01%,其基本信息如下:

名称ACM RESEARCH, INC.  
证券代码ACMR  
国际证券识别码:US00108J1097  
上市日期2017年 11月 3日  
成立日期1998年 1月 18日  
公司网站www.acmr.com  
董事长David H. Wang  
主要经营业务控股型公司,现阶段未从事研发、生产等具体业务  
注册地址c/o Corporation Service Company, 251 Little Falls Drive, County of New Castle, Wilmington, Delaware 19808  
办公地址42307 Osgood Road, Suite #I, ROOM A, Fremont, CA 94539  
主要财务数据 (万美元)项目2024年 6月 30日2023年 12月 31日
 总资产166,757.50149,090.80
 净资产100,138.8092,616.20
 项目2024年 1-6月2023年度
 营业收入35,467.1055,772.30
 净利润4,164.307,734.90
注:美国 ACMR登记信息中登记主席的姓名为 David H.Wang,与 HUI WANG系同一自然人,下同。

2、实际控制人基本情况
截至 2024年 9月 30日,HUI WANG直接持有发行人 269,231股股份,直接持股比例为 0.06%。

截至 2024年 9月 30日,HUI WANG持有美国 ACMR的 A类普通股 504,018股、B类普通股 3,440,802股,其一致行动人 JING CHEN、BRIAN WANG与SOPHIA WANG及家族信托 David Hui Wang& Jing Chen Family Living Trust及 David Hui Wang& Jing Chen Irrevocable Trust持有美国 ACMR的 A类普通股945,840股、B类普通股 726,006股。HUI WANG及其一致行动人合计持有美国ACMR投票权比例为 53.68%,并通过美国 ACMR控制发行人 82.01%的股权。

综上,HUI WANG总计控制发行人 82.07%的股权,为公司的实际控制人。

HUI WANG作为公司的董事长,负责公司整体战略规划,并作为核心技术人员为公司的技术研发方向提供指导和支持。

HUI WANG,男,1961年 11月出生,美国国籍,拥有中国永久居留权,精密工学专业博士,上海市“浦江人才计划”获得者。1994年 2月至 1997年 11月,担任美国 Quester Technology Inc.研发部经理。1998年 5月至今任美国 ACMR董事长、首席执行官、盛美上海董事长。

3、报告期内控股股东和实际控制人变化情况
报告期内发行人控股股东及实际控制人未发生变化。

三、所处行业的主要特点及行业竞争情况
(一)公司所处行业的主要特点
公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售。根据国家统计局发布的《国民经济行业分类》(GB/T4754-2017),公司所属行业为“专用设备制造业”下的“半导体器件专用设备制造”(C3562)。

根据国家统计局颁布的《战略性新兴产业分类(2018年版)》,公司从事的半导体器件专用设备制造为战略性新兴产业:1新一代信息技术产业-1.2电子核心产业-1.2.1 新型电子元器件及设备制造-半导体器件专用设备制造。

1、行业概况
(1)半导体行业概况
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,被广泛应用于各种电子产品中。半导体产品可细分为四大类:集成电路、分立器件、光电子器件和传感器。集成电路作为半导体产业的核心,占据半导体行业规模的八成以上,其细分领域包括逻辑芯片、存储器、微处理器和模拟芯片等,被广泛应用于 5G通信、计算机、消费电子、网络通信、汽车电子、物联网等产业,是绝大多数电子设备的核心组成部分。

从产业链的角度看,半导体产业链涉及材料、设备等支撑性行业,芯片设计、晶圆制造和封测行业,半导体产品终端应用行业等。以集成电路为代表的半导体产品应用领域广泛,下游应用行业的需求增长是半导体产业快速发展的核心驱动力

半导体产业链图
半导体产业支撑性行业 半导体产业链 半导体产品终端应用
芯片设计
半导体材料 半导体设备 按产品分类 5G通信 计算机
硅片 扩散设备
集成电路
存储器 逻辑芯片 微处理器 模拟芯片光掩模 刻蚀设备
刻、刻蚀、清 汽车电子 物联网
分立器件
洗、离子注入、

 IGBT MOSFET 二极管 晶闸管
  
MEMS 图像传感器 
后道: 先进封装 
  

近年来,随着 5G、物联网设备、新能源车以及人工智能等新产品和技术的不断普及,全世界对于芯片半导体的需求大幅增长,2020年全球半导体销售实现 7%的增长,市场规模达到 4,404亿美元。2021年随着新能源汽车的大规模量产,全球半导体市场规模更是达到了创记录的 5,559亿美元,同比增长 26%。继2021年强劲增长之后,2022年全球半导体销售额增长至 5,740亿美元,同比增长 3%。

在连续三年的增长之后,2023年全球半导体市场出现 8%的个位数收缩。展望 2024年,全球半导体市场将重新恢复强劲增长,WSTS预计同比增长 16%,达到 6,112亿美元,预计 2025年将继续增长 12%至 6,873亿美元。

2016-2025E全球半导体市场规模

8,000 30% 25% 7,000 20% 6,000 15% 5,000 10% 4,000 5% 3,000 0% 2,000 -5% 1,000 -10% - -15% 2016 2017 2018 2019 2020 2021 2022 2023 2024E 2025E 市场规模(亿美元) YOY(右轴)
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
数据来源:WSTS
中国半导体市场规模迅猛增长,自 2016年到 2022年中国集成电路产业销售额由 4,336亿元增长至 12,006亿元,年复合增速高达 18.5%,突破万亿级别大关,虽然期间增速趋势放缓,但相较于全球同时期的增速仍然表现强势。未来随着5G、人工智能、无人驾驶、云计算、物联网等新技术的迅猛发展和广泛应用,将带动相关行业的复苏和迅速发展。

2016-2022年中国集成电路销售额及增速

14,000 30% 12,000 25% 10,000 20% 8,000 15% 6,000 10% 4,000 5% 2,000 - 0% 2016 2017 2018 2019 2020 2021 2022 市场规模(亿元) YOY(右轴)
 
 
 
数据来源:中国半导体行业协会 (未完)
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