[年报]欧莱新材(688530):欧莱新材2024年年度报告

时间:2025年04月26日 15:27:34 中财网

原标题:欧莱新材:欧莱新材2024年年度报告

重要提示
一、本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实性、准确性、完整性,不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏,并承担个别和连带的法律责任。

二、公司上市时未盈利且尚未实现盈利
□是√否
三、重大风险提示
公司已在本报告中描述了经营过程中可能面临的各种风险,敬请查阅本报告“第三节管理层讨论与分析”之“四、风险因素”。

四、公司全体董事出席董事会会议。

五、容诚会计师事务所(特殊普通合伙)为本公司出具了标准无保留意见的审计报告。

六、公司负责人文宏福、主管会计工作负责人毛春海及会计机构负责人(会计主管人员)李润女声明:保证年度报告中财务报告的真实、准确、完整。

七、董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案公司2024年度利润分配预案如下:公司拟以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数,向全体股东每10股派发现金红利0.65元(含税),不实施送股和资本公积转增股本。截至本报告披露日,公司总股本为160,044,824股,以此为基数计算合计拟派发现金红利金额为10,402,913.56元(含税)。若在实施权益分派的股权登记日前公司总股本发生变动的,公司拟维持分配总额不变,相应调整每股分配比例。

公司2024年度利润分配预案已经公司于2025年4月24日召开的第二届董事会第十次会议、第二届监事会第八次会议审议通过,尚需提交公司股东大会审议通过后方可实施。

公司已于2024年10月16日完成2024年半年度权益分派,以实施权益分派股权登记日的公司总股本160,044,824股为基数,向全体股东每10股派发现金红利0.40元(含税),不实施送股和资本公积转增股本,实施后共计派发现金红利6,401,792.96元(含税)。如前述2024年度利润分配预案经公司股东大会审议通过,公司2024年度将向全体股东合计派发现金红利16,804,706.52元(含税),占2024年度合并报表实现归属于上市公司股东的净利润的比例为59.66%。

八、是否存在公司治理特殊安排等重要事项
□适用√不适用
九、前瞻性陈述的风险声明
√适用□不适用
本报告所涉及公司未来发展计划、发展战略等前瞻性陈述,不构成公司对投资者的实质承诺,投资者及相关人士均应当对此保持足够的风险认识,并且应当理解计划、预测与承诺之间的差异,敬请投资者注意投资风险。

十、是否存在被控股股东及其他关联方非经营性占用资金情况

十一、是否存在违反规定决策程序对外提供担保的情况

十二、是否存在半数以上董事无法保证公司所披露年度报告的真实性、准确性和完整性否
十三、其他
□适用√不适用
目录
第一节 释义..................................................................5第二节 公司简介和主要财务指标................................................8第三节 管理层讨论与分析.....................................................13第四节 公司治理.............................................................57第五节 环境、社会责任和其他公司治理.........................................74第六节 重要事项.............................................................84第七节 股份变动及股东情况..................................................107第八节 优先股相关情况......................................................120第九节 债券相关情况........................................................120第十节 财务报告............................................................121
备查文件目录载有公司负责人、主管会计工作负责人、会计机构负责人签名并盖章的 财务报表
 载有会计师事务所盖章、注册会计师签名并盖章的审计报告原件
 报告期内在中国证监会指定网站上公开披露过的所有公司文件的正本及 公告的原稿
第一节 释义
一、 释义
在本报告书中,除非文义另有所指,下列词语具有如下含义:

常用词语释义  
公司、本公司、母 公司、欧莱新材广东欧莱高新材料股份有限公司
欧莱有限韶关市欧莱高新材料有限公司,为公司前身
东莞欧莱东莞市欧莱溅射靶材有限公司,系本公司全资子公司
合肥欧莱合肥欧莱高新材料有限公司,系本公司全资子公司
欧莱铟广东欧莱铟科技有限公司,系本公司全资子公司
欧莱高纯韶关市欧莱高纯材料技术有限公司,系本公司全资子公司
欧莱金属广东欧莱新金属材料有限公司,系本公司全资子公司
控股股东文宏福、方红
实际控制人文宏福、方红、文雅
宏文创鑫深圳市宏文创鑫科技有限公司
欧创汇才深圳市欧创汇才投资合伙企业(有限合伙)
欧创东升深圳市欧创东升投资合伙企业(有限合伙)
奥银湖杉苏州奥银湖杉投资合伙企业(有限合伙)
宁波西电宁波西电天朗创业投资合伙企业(有限合伙)
宁波聚科宁波聚科股权投资合伙企业(有限合伙)
宁波聚卓宁波保税区聚卓股权投资合伙企业(有限合伙)
广西东来广西东来嘉华投资合伙企业(有限合伙)
聚卓创发宁波保税区聚卓创发股权投资合伙企业(有限合伙)
上海湖杉上海湖杉浦芯创业投资中心(有限合伙)
北京昆仑北京昆仑互联网智能产业投资基金合伙企业(有限合伙)
杭州富春杭州富春凤凰一号股权投资基金合伙企业(有限合伙)
苏州嘉元苏州嘉元壹号创业投资合伙企业(有限合伙)
国投创业基金国投(广东)科技成果转化创业投资基金合伙企业(有限合伙)
京东方京东方科技集团股份有限公司及其控制的公司
华星光电TCL华星光电技术有限公司及其控制的公司
惠科惠科股份有限公司及其控制的公司
超视界超视界显示技术有限公司
彩虹光电咸阳彩虹光电科技有限公司
深超光电深超光电(深圳)有限公司
超声电子广东汕头超声电子股份有限公司及其控制的公司
莱宝高科深圳莱宝高科技股份有限公司及其控制的公司
南玻集团中国南玻集团股份有限公司及其控制的公司
长信科技芜湖长信科技股份有限公司
TPK(宸鸿科技)TPKHoldingCo.,Ltd.及其控制的公司
AGC(旭硝子)AGCFlatGlassKlinLLC
旗滨集团株洲旗滨集团股份有限公司及其控制的公司
越亚半导体珠海越亚半导体股份有限公司
SKHynix(海力士)SkHynixInc.
宝明科技深圳市宝明科技股份有限公司及其子公司、分公司
万顺新材汕头万顺新材兆丰林科技有限公司和汕头万顺新材集团股份有限 公司光电科技分公司
中建材中国建材集团有限公司及其控制的公司
华晟新能源安徽华晟新能源科技股份有限公司
中国证监会、证监 会中国证券监督管理委员会
股东大会广东欧莱高新材料股份有限公司股东大会
董事会广东欧莱高新材料股份有限公司董事会
监事会广东欧莱高新材料股份有限公司监事会
《公司法》《中华人民共和国公司法》
《证券法》《中华人民共和国证券法》
《科创板股票上 市规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》
《公司章程》《广东欧莱高新材料股份有限公司章程》
《股东大会议事 规则》《广东欧莱高新材料股份有限公司股东大会议事规则》
《董事会议事规 则》《广东欧莱高新材料股份有限公司董事会议事规则》
《监事会议事规 则》《广东欧莱高新材料股份有限公司监事会议事规则》
招股说明书、招股 书广东欧莱高新材料股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上 市招股说明书
报告期2024年1月1日至2024年12月31日
元、万元、亿元人民币元、人民币万元、人民币亿元
溅射用带有几十电子伏以上动能的粒子或粒子束轰击固体表面,靠近 固体表面的原子会获得入射粒子所带能量的一部分进而向真空中 射出,这种现象称为溅射
溅射镀膜在真空环境中,利用高能粒子轰击固体表面,使表面的原子获能 离开固体并沉积在基板形成薄膜的技术
溅射靶材在溅射镀膜过程中,被高能粒子轰击的固体是溅射法沉积薄膜的 原材料,称为溅射靶材
ITOITO英文全称为IndiumTinOxide,即氧化铟锡
TCOM一种靶材牌号专用代码,为公司注册商标。主要用于不含铟的氧 化物靶材牌号。
显示面板玻璃或塑料基板上沉积、涂布光电功能材料,经过一定的工艺处 理以实现显示功能,是显示模组的基础元件
TFTTFT英文全称为ThinFilmTransistor,薄膜晶体管,主要用于 驱动液晶显示器上的液晶像素点,实现高速度、高亮度、高对比 度的屏幕显示
LCDLCD英文全称为LiquidCrystalDisplay,液晶显示器
TFT-LCDTFT-LCD英文全称为ThinFilmTransistor-LCD,薄膜晶体管型 液晶显示器,指使用薄膜晶体管驱动液晶以实现显示的技术
LEDLED英文全称为LightEmittingDiode,发光二极管
MiniLEDMiniLED英文全称为MiniLightEmittingDiode,即芯片尺寸 介于100-200微米的发光二极管
MicroLEDMicroLED英文全称为MicroLightEmittingDiode,即芯片尺 寸小于50微米的微型发光二极管
2N8、3N、3N5、4N、 5N、6N化学中对于物质纯度的表示方式,2N8纯度为2个9和1个8,即 99.8%,3N纯度为3个9,即99.9%,以此类推
AMOLEDAMOLED英文全称为Active-matrix Organic Light Emitting Diode,有源矩阵有机发光二极管,指使用有源器件(如薄膜晶体
  管等)像素电路阵列驱动对应有机电致发光器件发光的显示器
4K、UHDUHD英文全称为UltraHighDefinition,超高清分辨率,分辨率 为3840*2160,其中横向分辨率3840,俗称4K
8K、QUHDQUHD英文全称为QuadUltraHighDefinition,四倍超高清分辨 率,分辨率为7680*4320,其中横向分辨率7680,俗称8K
晶粒度表示材料晶粒大小的物理量,由单位面积内所包含的晶粒个数或 平均直径来表示
绑定焊合率溅射靶材的靶坯与背板/背管连接的密封性能及抗拉脱强度的指 标
迁移率固体物理学中指单位电场强度下所产生的载流子(电子和空穴) 平均漂移速度。迁移率代表了载流子导电能力的大小,它和载流 子浓度决定了半导体的电导率
热处理对物料进行去应力、再结晶等处理过程
电子束焊接将高能电子束作为加工热源,用高能量密度的电子束轰击焊件接 头处的金属,使其快速熔融,然后迅速冷却来达到焊接的目的
粉末制备基于高温制粉设备,结合气雾化制粉技术,在设备炉内利用感应 加热原理,将基材加热熔化后经高压气体雾化分离系统形成粉末
烧结烧结是指在高温下(低于熔点温度)的某个特定温度,通过加热 使质点获得足够的能量进行迁移,使粉末体产生颗粒黏结,产生 强度并导致致密化和再结晶的过程
机加工机械加工,指通过机械精确加工去除材料的加工工艺
G5、G6、G8.5、 G8.6、G8.7、 G10.5、G11G是Generation的缩写,代表“生产世代线”,显示面板的生产 世代线划分没有统一的标准,行业内通常将生产线所应用的玻璃 基板尺寸作为划分生产世代线的依据。G5、G6、G8.5、G8.6、G8.7、 G10.5、G11中的数字对应了玻璃基板的不同尺寸,显示面板生产 世代线越高,对应的面板尺寸越大
世代线半导体显示面板产线的划分方式,按照玻璃基板尺寸大小进行界 定,玻璃基板尺寸越大,世代线越高
稼动率设备在所能提供的时间内为了创造价值而占用的时间所占的比 重,即设备实际的生产数量与可能的生产数量的比值
集成电路、芯片、 ICIC是IntegratedCircuit的英文简称,集成电路,是采用一定 的工艺,将一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件 及布线连在一起,制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片 上,然后封装在一个管壳内,成为具有所需电路功能的微型结构
封装把晶圆上的半导体集成电路,用导线及各种连接方式,加工成含 外壳和管脚的可使用的芯片成品,起着安放、固定、密封、保护 芯片和增强电热性能的作用
光伏利用半导体界面的光生伏特效应而将光能直接转变为电能的一种 技术
HJT太阳能电池HJT英文全称为Hetero-junctionwithIntrinsicThin-layer, 本征薄膜异质结电池,一种高效晶硅太阳能电池结构,利用晶体 硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池
集流体用于承载电池内的活性物质,并在活性物质和电极间汇集、传递 电流,起到降低电池的内电阻,提升电池的库伦效率、循环稳定 性和倍数性的金属箔状结构组件
低辐射玻璃即LOW-E玻璃。是在玻璃表面镀上多层金属或其他化合物组成的 膜系产品,其镀膜层具有对可见光高透过及对中远红外线高反射 的特性
第二节 公司简介和主要财务指标
一、公司基本情况

公司的中文名称广东欧莱高新材料股份有限公司
公司的中文简称欧莱新材
公司的外文名称OmatAdvancedMaterials(Guangdong)Co.,Ltd.
公司的外文名称缩写Omat
公司的法定代表人文宏福
公司注册地址韶关市武江区创业路5号C幢厂房
公司注册地址的历史变更情况
公司办公地址韶关市武江区创业路5号
公司办公地址的邮政编码512029
公司网址http://www.omat.com.cn/
电子信箱[email protected]
二、联系人和联系方式

 董事会秘书证券事务代表
姓名文雅龚文家
联系地址韶关市武江区创业路5号韶关市武江区创业路5号
电话0751-87025160751-8702516
传真0751-81367960751-8136796
电子信箱[email protected][email protected]
三、信息披露及备置地点

公司披露年度报告的媒体名称及网址《上海证券报》(www.cnstock.com) 《中国证券报》(www.cs.com.cn) 《证券时报》(www.stcn.com) 《证券日报》(www.zqrb.cn) 《经济参考报》(www.jjckb.cn)
公司披露年度报告的证券交易所网址www.sse.com.cn
公司年度报告备置地点公司证券部
四、公司股票/存托凭证简况
(一)公司股票简况
√适用□不适用

公司股票简况    
股票种类股票上市交易所及板块股票简称股票代码变更前股票简称
A股上海证券交易所科创板欧莱新材688530不适用
(二)公司存托凭证简况
□适用√不适用
五、其他相关资料

公司聘请的会计师事务所(境 内)名称容诚会计师事务所(特殊普通合伙)
 办公地址北京市西城区阜成门外大街22号1幢10层 1001-1至1001-26
 签字会计师姓名栾艳鹏、荆伟伟、黄信欣
报告期内履行持续督导职责的 保荐机构名称中国国际金融股份有限公司
 办公地址北京市朝阳区建国门外大街1号国贸大厦2 座27层及28层
 签字的保荐代表 人姓名张钰堃、黄志伟
 持续督导的期间2024年5月9日至2027年12月31日
六、近三年主要会计数据和财务指标
(一)主要会计数据
单位:元 币种:人民币

主要会计数据2024年2023年本期比上年 同期增减(%)2022年
营业收入436,756,352.46476,255,564.04-8.29391,970,940.66
归属于上市公司股 东的净利润28,169,302.0649,343,305.94-42.9135,323,118.87
归属于上市公司股 东的扣除非经常性 损益的净利润18,601,014.1037,073,093.48-49.8324,128,798.79
经营活动产生的现 金流量净额-60,318,296.7197,826,857.96-161.66-31,714,415.80
 2024年末2023年末本期末比上 年同期末增 减(%)2022年末
归属于上市公司股 东的净资产856,362,788.35509,604,371.9668.04457,704,869.98
总资产1,109,677,969.49798,089,301.8639.04744,811,663.09
(二)主要财务指标

主要财务指标2024年2023年本期比上年同期增减(%)2022年
基本每股收益(元/股)0.200.41-51.210.29
稀释每股收益(元/股)0.200.41-51.210.29
扣除非经常性损益后的基本每股收 益(元/股)0.130.31-58.060.20
加权平均净资产收益率(%)3.9510.20减少6.25个百分点8.05
扣除非经常性损益后的加权平均净 资产收益率(%)2.617.67减少5.06个百分点5.50
研发投入占营业收入的比例(%)5.115.69减少0.58个百分点7.09
报告期末公司前三年主要会计数据和财务指标的说明
1、本期归属于上市公司股东的净利润较上年同期下降42.91%,归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润较上年同期下降49.83%,本期基本每股收益较上年同期下降51.21%,稀释每股收益较上年同期下降51.21%,扣除非经常性损益后的基本每股收益较上年同期下降58.06%,主要系:公司本期靶材及废料销售额减少;同时公司报告期内首次公开发行上市涉及中介费、招待费等偶发性费用支出增加;募投项目“高端溅射靶材生产基地项目(一期)”开始投产、“高纯无氧铜生产基地建设项目”加快建设,资产折旧、人员支出等运营成本增加所致。

2、本期经营活动产生的现金流量净额较上年同期下降161.66%,主要系采购支付的现金增加所致。

3、本期归属于上市公司股东的净资产较上年同期增加68.04%,总资产较上年同期增加39.04%,主要系取得上市发行新股募集资金所致。

七、境内外会计准则下会计数据差异
1、同时按照国际会计准则与按中国会计准则披露的财务报告中净利润和归属于上市公司股东的净资产差异情况
□适用√不适用
2、同时按照境外会计准则与按中国会计准则披露的财务报告中净利润和归属于上市公司股东的净资产差异情况
□适用√不适用
3、境内外会计准则差异的说明:
□适用√不适用
八、2024年分季度主要财务数据
单位:元 币种:人民币

 第一季度 (1-3月份)第二季度 (4-6月份)第三季度 (7-9月份)第四季度 (10-12月份)
营业收入111,416,076.93103,393,600.3782,104,411.61139,842,263.55
归属于上市公司股东 的净利润10,601,285.524,983,338.82-5,710,042.4318,294,720.15
归属于上市公司股东 的扣除非经常性损益 后的净利润8,110,472.324,850,465.28-6,079,589.1511,719,665.65
经营活动产生的现金 流量净额-22,998,747.655,080,188.74-54,553,824.9012,154,087.10
季度数据与已披露定期报告数据差异说明
□适用 √不适用
九、非经常性损益项目和金额
√适用□不适用
单位:元 币种:人民币

非经常性损益项目2024年金额附注(如 适用)2023年金额2022年金额
非流动性资产处置损益,包括已 计提资产减值准备的冲销部分48,890.86 -52,696.83-227,103.15
计入当期损益的政府补助,但与 公司正常经营业务密切相关、符 合国家政策规定、按照确定的标 准享有、对公司损益产生持续影 响的政府补助除外4,394,458.97 13,465,999.4812,567,995.90
除同公司正常经营业务相关的有 效套期保值业务外,非金融企业 持有金融资产和金融负债产生的 公允价值变动损益以及处置金融 资产和金融负债产生的损益6,157,140.01 731,436.57803,440.53
计入当期损益的对非金融企业收 取的资金占用费    
委托他人投资或管理资产的损益    
对外委托贷款取得的损益    
因不可抗力因素,如遭受自然灾 害而产生的各项资产损失    
单独进行减值测试的应收款项减 值准备转回    
企业取得子公司、联营企业及合 营企业的投资成本小于取得投资 时应享有被投资单位可辨认净资 产公允价值产生的收益    
同一控制下企业合并产生的子公 司期初至合并日的当期净损益    
非货币性资产交换损益    
债务重组损益    
企业因相关经营活动不再持续而 发生的一次性费用,如安置职工 的支出等    
因税收、会计等法律、法规的调 整对当期损益产生的一次性影响    
因取消、修改股权激励计划一次 性确认的股份支付费用    
对于现金结算的股份支付,在可 行权日之后,应付职工薪酬的公 允价值变动产生的损益    
采用公允价值模式进行后续计量 的投资性房地产公允价值变动产 生的损益    
交易价格显失公允的交易产生的 收益    
与公司正常经营业务无关的或有 事项产生的损益    
受托经营取得的托管费收入    
除上述各项之外的其他营业外收 入和支出13,774.01 238,050.61-1,272.81
其他符合非经常性损益定义的损 益项目  55,060.7519,775.15
减:所得税影响额1,045,975.89 2,167,638.121,968,515.54
少数股东权益影响额(税后)    
合计9,568,287.96 12,270,212.4611,194,320.08
对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》未列举的项目认定为非经常性损益项目且金额重大的,以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目,应说明原因。

□适用√不适用
十、非企业会计准则财务指标情况
□适用√不适用
十一、采用公允价值计量的项目
√适用□不适用
单位:元 币种:人民币

项目名称期初余额期末余额当期变动对当期利润的影响 金额
(一)交易性金融资产 38,059,780.5938,059,780.596,157,140.01
(二)应收款项融资2,245,636.168,075,820.915,830,184.75 
合计2,245,636.1646,135,601.5043,889,965.346,157,140.01
十二、因国家秘密、商业秘密等原因的信息暂缓、豁免情况说明
√适用□不适用
公司对本报告中可能对本公司经营产生不利影响,损害公司及股东利益的部分涉及商业秘密的披露信息进行豁免。公司已根据《科创板股票上市规则》等法律法规及公司《信息披露暂缓与豁免业务管理制度》的有关规定,对上述豁免的信息履行了信息披露豁免内部登记及审批程序。

第三节 管理层讨论与分析
一、经营情况讨论与分析
欧莱新材是一家从事高性能溅射靶材的研发、生产和销售的国家级专精特新“小巨人”企业和国家级高新技术企业。公司秉承“以客户为中心”的经营理念,全面贯彻“以屏为依托,多前沿领域深入发展”的战略方针,通过持续加大技术研发投入,扩大现有生产制造规模,积极布局上游高纯金属材料,拓展产品下游应用领域,巩固并持续提升公司高性能溅射靶材在技术、产品、市场等方面的行业领先地位和核心竞争力,力争在全球高性能溅射靶材领域内成为具有一定市场竞争力和行业影响力的知名厂商。

(一)报告期内主要经营情况
2024年度,公司实现营业收入43,675.64万元,较上年同期下降8.29%,主要系市场竞争激烈,公司为维持利润未持续降低产品价格致使靶材出货量有所减少,同时本期处置的废料也有减少;实现归属于上市公司股东的净利润2,816.93万元,较上年同期下降42.91%,主要系本期产品及废料销售额减少,公司报告期内首次公开发行上市涉及中介费、招待费等偶发性费用支出增加,叠加募投项目“高端溅射靶材生产基地项目(一期)”开始投产、“高纯无氧铜生产基地建设项目”加快建设,资产折旧、人员支出等运营成本增加。

2024年末,公司资产总额110,967.80万元,较期初增加39.04%,主要系取得上市发行新股募集资金;负债总额25,331.52万元,较期初下降12.19%,主要系短期借款、应付账款减少;资产负债率22.83%。

(二)报告期内重点工作回顾
1、业务拓展维度:巩固原优势、拓宽新领域
2024年,公司继续加大对铜靶、铝靶、钼及钼合金靶、ITO靶、TCOM靶等的推广力度,积极开拓产品在超高清显示、HJT太阳能电池、新能源电池等多类新型应用领域,与京东方、华星光电、惠科、超视界、彩虹光电、深超光电、华晟新能源等长期合作客户及新客户加强多种靶材品类的扩展合作。

其中,公司光伏TCOM靶已完成客户验证并实现批量交货;光伏ICO颗粒靶材研发取得重要进展并进入批量测试阶段;一体式高纯铬管靶已实现批量交货;G8.5BMTD平面靶已交付客户;新型铝合金半导体靶、银合金靶已交付客户;钼合金靶在多家客户同步推进测试。

此外,本年度,公司还向铜基新材料领域积极拓展,公司高纯微晶磷铜球、高纯高导铜排、高纯无氧铜杆、铜及铜镍合金管以及高纯无氧铜材料等创新产品,正式亮相国际电子电路(深圳)展览会,公司产业链上游业务积极推进。

2、技术研发维度:专注新技术研发、新产品开发
公司依托“博士后科研工作站”、“广东省博士工作站”、“广东省科技专家工作站”、“省级企业技术中心”、“广东省高性能靶材工程技术研究中心”以及高纯材料研发中心、薄膜技术研发中心等多个实验室,围绕业务布局,加快新技术研发和新产品开发。

本年度,公司成功研发出满足客户需求的新型铝合金半导体靶配方,样品已通过客户测试;研发出满足高世代线大尺寸靶HIP防变形技术,已量产;新研发的光伏高效靶样品通过客户验证测试;继光伏ICO颗粒靶材成功研制出后,多种配方光伏颗粒靶研发正在有序进行;同时公司持续加大对集成电路靶材的研发投入,合肥公司组建薄膜技术中心,扩招了相关的研发团队、并购置了相关设备。

此外,公司积极与高等院校、科研院所深度合作,积极推动新技术、新产品研发。

截至2024年12月31日,公司共拥有136项有效授权专利,其中发明专利31项,实用新型专利105项,形成覆盖溅射靶材生产的各个关键环节的核心技术体系。

3、项目建设维度:围绕战略布局,按既定计划稳步推进
2024年,公司继续加快建设安徽合肥“高端溅射靶材生产基地项目(一期)”和韶关乳源“高纯无氧铜生产基地建设项目”,目前两项目均进展顺利:其中合肥“高端溅射靶材生产基地项目(一期)”已完成建设,并于2024年9月5日正式投产;乳源“高纯无氧铜生产基地建设项目”(2024年广东省重点投资项目)主体建筑已封顶,正在进行室内安装及厂区配套设施施工,并已订购部分生产设备,争取早日投产。

此外,公司溅射靶材扩产技改项目厂房于2024年12月28日顺利封顶;公司明月湖半导体材料产业园项目(一期)投资协议已于2024年11月18日签署,项目预计投资总额为3.22亿。

4、资本市场维度:加强投关管理,维护公司市值
2024年5月9日,公司正式在上海证券交易所科创板上市,公司积极加强投资者关系管理,构建与投资者间的良性互动,积极向投资者展示公司核心价值。公司积极通过中期分红、信息披露(35份临时公告、1份半年报报告、1份三季度报告)、业绩说明会(两场)、投资者网上集体接待活动(一场,2024年广东辖区)、上证e互动问题公开回复(99次)、机构现场调研(7次)、接听投资者来电、公司新闻报道等方式,传递公司价值,提振投资者信心,确保公司股东利益最大化。

5、品牌影响维度:锦上添花,全方位提升公司影响力
(1)2024年3月,公司全资子公司东莞欧莱凭借其卓越的业绩和持续的创新能力,荣获东莞市厚街镇“2023年度亿元以上工业增加值增速前10名企业”的殊荣。

(2)2024年8月,公司荣获维科杯·OFweek2024太阳能光伏行业“最具成长力企业”奖。

(3)2024年9月,公司参与制定的《氧化铟锡靶材》GB/T20510—2024、参与修订的《真空技术术语》GB/T3163—2024等两项国家标准获得批准发布,为促进靶材行业的发展再添新彩,同时也有助于我司进一步掌握更多的自主可控技术,发展新质生产力,提高在行业内的话语权。

(4)2024年11月,公司子公司合肥欧莱取得“ISO9001:2015质量管理体系认证”证书。

(5)2024年12月,在韶关市创新科技大会上,公司获得“创新突围企业”的荣誉。

非企业会计准则业绩变动情况分析及展望
□适用√不适用
二、报告期内公司所从事的主要业务、经营模式、行业情况及研发情况说明(一)主要业务、主要产品或服务情况
1、公司主要业务情况
报告期内,欧莱新材主要业务为高性能溅射靶材的研发、生产和销售,主要产品包括多种尺寸和各类形态的铜靶、铝靶、钼及钼合金靶、ITO靶和TCOM靶等,产品可广泛应用于半导体显示、触控屏、建筑玻璃、装饰镀膜、集成电路封装、新能源电池和太阳能电池等领域,是各类薄膜工业化制备的关键材料。

公司主要代表性客户包括京东方、华星光电、惠科、超视界、彩虹光电和深超光电等半导体显示面板行业主流厂商,超声电子、莱宝高科、南玻集团、长信科技和TPK(宸鸿科技)等知名触控屏厂商,AGC(旭硝子)、南玻集团和旗滨集团等建筑玻璃龙头厂商。此外,公司持续推动产品研发与技术升级,不断拓展产品应用范围,目前已进入越亚半导体、SKHynix(海力士)等知名半导体厂商的集成电路封装材料供应体系和宝明科技、万顺新材等新能源电池复合集流体正负极材料和镀膜设备核心厂商的供应链,并应用于中建材、华晟新能源等厂商的太阳能电池中。

2、公司主要产品情况
公司主要产品包括多种尺寸和各类形态的铜靶、铝靶、钼及钼合金靶、ITO靶和TCOM靶等,除上述产品外,公司其他类靶材包括铝钕合金靶、锌锡合金靶、硅铝合金靶、镍铬合金靶、钛靶等近40种金属/非金属单质靶材、合金靶材和陶瓷化合物靶材。公司主要产品综合性能突出,纯度、致密度、晶粒度、绑定焊合率等多项核心技术指标已达到行业领先水平,具有较高的市场美誉度和品牌认可度。公司主要产品情况如下:

产品类型产品名称产品图例产品简介主要应用领 域
铜靶平面铜靶 ? 具有电阻率低、抗电迁移性优、稳 定性佳等特点 ? 可用于制备TFT阵列电极和互连线 膜层、触控屏导线层、彩膜层、光 学膜层、陶瓷基板覆铜层、新能源 电池的集流体复合铜箔 ? 主要产品纯度在4N以上,晶粒度在 100μm以下,平面铜靶绑定焊合率 在98%以上,旋转铜靶直线度在 0.1mm/m以下半导体显示、 触控屏、装饰 镀膜、建筑玻 璃、集成电路 封装、新能源 电池
 旋转铜靶   
铝靶平面铝靶 ? 具有电阻率低、耐腐蚀性强、蚀刻 性能佳等特点 ? 可用于制备TFT阵列电极和互连线 膜层、彩膜层、光学膜层、太阳能 薄膜电池导线层、新能源电池的集 流体复合铝箔 ? 主要产品纯度在5N以上,晶粒度在 200μm以下,平面铝靶绑定焊合率 在95%以上,旋转铝靶直线度在 0.1mm/m以下半导体显示、 装饰镀膜、太 阳能电池、新 能源电池
 旋转铝靶   
钼及钼合 金靶平面钼及钼 合金靶 ? 具有熔点高、电导率高、抗氧化性 高、比阻抗低和膨胀系数低等特点 ? 可用于制备TFT阵列阻隔层、触控 屏电极和导线阻隔层 ? 主要产品纯度在3N5以上,相对密 度在99.7%以上半导体显示、 触控屏
 旋转钼及钼 合金靶   
产品类型产品名称产品图例产品简介主要应用领 域
ITO靶平面ITO靶 ? 具有透光率高、导电性能优、刻蚀 性能佳等特点 ? 可用于制备触控屏透明导电层、 TFT阵列透明电极、彩色滤光片 ? 主要产品纯度在4N以上,相对密度 在99.7%以上触控屏、半导 体显示
 旋转ITO靶   
TCOM靶旋转TCOM 靶 ??具有透光率高、导电性能优、稳定 性佳等特点 ? 可用于制备HJT太阳能光伏电池的 透明电极,是低成本替代现有高铟 靶材的良好材料 ? 主要产品纯度在4N以上,相对密度 在99.5%以上太阳能电池
其他铝钕合金靶 ? 可用于制备触控屏导线层 ? 主要产品纯度在4N以上触控屏
 锌锡合金靶 ? 可用于制备光学膜层 ? 主要产品纯度在3N以上建筑玻璃
 硅铝合金靶 ? 可用于制备保护膜层 ? 主要产品纯度在3N以上建筑玻璃
 镍铬合金靶 ? 可用于制备保护膜层 ? 主要产品纯度在2N8以上建筑玻璃
 钛靶 ? 可用于制备彩膜层 ? 可用于制备陶瓷基板的阻隔层装饰镀膜、集 成电路封装
(二)主要经营模式
报告期内,公司主要经营模式稳定,未发生重大变化。

1、采购模式
公司采用以产定购、主要原材料适当备货的采购模式,综合考虑各类原材料的市场价格情况、库存情况、运输时间等因素制定采购计划并实施采购,确保公司原材料保持合理的安全库存。

公司制定了供应商评审制度,供应商与公司开展合作前,均需通过评审。公司采购部及相关需求部门根据采购需求提出候选供应商名单,并在必要时召集其他相关部门组成评审小组,对潜在供应商的产品质量、生产产能、技术实力和成本效率等进行评审,通过后方可纳入合格供应商名单。公司每年对合格供应商的产品质量、产品价格、交货及时性、售后服务情况等进行考核,及时调整合格供应商名单。公司与主要原材料供应商已建立起长期稳定的战略合作关系,有效保障了原材料的稳定供应。针对各类主要原材料,公司同时向多家合格供应商进行采购,为原材料采购提供了多种的备选方案。

公司各部门根据需求情况向采购部提出采购申请,采购部和计划物控部综合考虑市场价格情况、库存情况、运输时间等因素,共同制定采购计划。公司采购部选取合格供应商进行询价,供应商根据订单情况向公司报价,采购部结合产品质量、市场价格等情况与供应商议价,确定采购价格,与供应商签订采购合同或直接向供应商下达采购订单。供应商根据采购合同或订单约定的交期向公司交付原材料,验收合格后完成入库。公司与供应商对账后,供应商向公司开具发票,采购部发起付款申请,经审批通过后向供应商支付采购款项。

2、生产模式
公司采用“以销定产”与提前备货相结合的生产模式,为保障按时交付产品,公司通常综合考虑客户订单、需求预测等情况制定生产计划,提前排期进行生产和备货。

公司生产方式主要为自主生产。公司销售部根据客户订单、需求预测等情况向计划物控部提交产品需求量、交付期限等信息,计划物控部制定具体的生产计划,并向仓库和生产部下达生产指令,仓库安排原材料或半成品投入生产线,生产部合理调配机器设备等生产资源,组织实施生产。在生产过程中,为保证并提升产品良率,公司在各关键生产工序环节均进行质量检验。产品生产完成后,经品质部质量检验合格后入库。

除自主生产方式,公司还存在外协生产方式。公司计划物控部根据生产需求向采购部提出委外加工申请,采购部结合加工能力、报价情况等合理选择外协厂商,并与其签订外协加工合同。

仓库管理人员向外协厂商发出委托加工产品,外协厂商加工完成后,经质量检验合格后入库。公司已经掌握了高性能溅射靶材生产的关键技术,形成了全流程生产加工体系,可通过合理调配生产资源开展柔性化生产。出于经济性考虑,公司将少量工序委托外协厂商加工,能够充分利用专业化协作分工机制提升成本效益。

3、销售模式
公司产品销售主要采用直销模式。公司主要通过参加行业展会与专业论坛、主动商务拜访、客户推荐等方式开拓客户。公司与客户确立初步合作意向后,需先通过客户严格的产品认证流程,方可成为其合格供应商,向其批量供货。

一般而言,客户的产品认证流程主要包括供应商初步评价、技术能力评价、首套产品测试、小批量测试等步骤。供应商初步评价和技术能力评价主要对公司设备、产能、组织架构、业务规模、经营情况、产品性能、产品价格、技术团队、研发能力、售后服务能力等方面的情况进行综合评价。通过客户评价后,公司向客户提供首套产品供其进行可靠性测试,首套产品测试通过后进入小批量测试阶段,即对产品进行稳定性测试。完成小批量测试后,公司获得批量供货资质。

公司销售部定期收集市场及客户信息,在接到客户向公司下达的批量采购订单后,公司销售部与计划物控部对订单交期进行评审,并与客户就订单交期、运输方式、交付方式等达成一致。

公司向客户交付产品后,销售部持续跟踪客户的产品使用状况,及时响应客户需求并提供售后服务。

4、研发模式
公司始终专注于高性能溅射靶材领域内核心技术及生产工艺的研发创新,现已建立起科学合理的研发管理体系。公司研究院密切关注客户需求和市场动态,根据客户对溅射靶材的技术性能要求,不断提升产品性能、丰富产品类型,研发适配于客户需求的新技术、新工艺和新产品。公 司亦高度重视行业前沿领域的技术研究,持续探索研究溅射靶材及相关领域内具有创新性的技术 与产品,保证公司的技术领先地位。 公司产品研发流程主要包括需求分析、研发立项、设计开发、样品试制、首套产品测试、验 证评审、小批量测试、研发结项,具体如下图所示:公司研发人员根据客户需求或市场需求确定产品或工艺的研发方向,提交《立项申请书》,并经研究院负责人审核、内部专家评审、总经理审批后,研发项目正式立项。立项通过后,研发人员根据研发项目内容,开展相关技术和工艺研究工作,设计开发符合需求的溅射靶材,并试制样品,检测样品的性能指标,出具样品检测报告。

样品成功试制后,公司将首套产品送至客户处进行产品认证。产品认证过程中,公司研究院及其他相关部门协同配合为客户解决溅射靶材生产使用过程中的相关技术问题,及时调整和完善溅射靶材在客户产线中的应用,并根据上线验证情况,通过调试设备、调整技术与工艺等方式进一步优化改善产品工艺和性能指标,提升溅射靶材和客户产线的适配性。

首套产品通过客户产品认证后,公司将根据客户订单情况进行产品小批量测试,进一步评估是否满足客户生产需求,小批量测试完成后,研发人员提交《项目结题报告》,经内部审批通过后,研发项目正式结项。

5、特殊经营模式
溅射靶材的应用系根据磁控溅射原理,在被溅射的靶材和基板之间施加一个正交磁场和电场,将对应磁场线上靶坯原子轰击至基板表面积淀成膜。因此,溅射过程中仅位于磁场线上的靶坯可有效利用,消耗更快。受电磁场分布影响,平面靶在溅射过程中会形成“跑道”状的刻蚀环,跑道之外的位置溅射消耗较少,靶坯利用率一般较低;旋转靶在溅射过程中,靶材可绕固定条状磁铁组件旋转,靶坯表面可被均匀刻蚀,靶坯利用率通常较高。为防止靶材被击穿导致产品覆膜不完整或不均匀,客户通常会在靶材未完全消耗时停止使用,靶材溅射后剩余部分称为“残靶”。

为简化管理、提升交易便捷性,通常显示面板厂商等下游客户会与供应商约定在溅射靶材使用完毕后由靶材供应商免费回收残靶,并由供应商自行处理,残靶的价值在双方确定溅射靶材销售价格的过程中已予以考虑,该处理方式系溅射靶材行业惯例。

(三)所处行业情况
1、行业的发展阶段、基本特点、主要技术门槛
报告期内,公司主营业务为高性能溅射靶材的研发、生产和销售。根据《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录(2016版)》,公司主营业务产品属于“1新一代信息技术产业”之“1.3电子核心产业”之“1.3.2新型显示器件”之“新型显示材料”之“高纯度靶材”。根据《国民经济行业分类》(GB/T4754-2017),公司所处行业属于“C39计算机、通信和其他电子设备制造业”的子行业“C3985电子专用材料制造”,为国家发改委颁布的《产业结构调整指导目录(2024年本)》规定的鼓励类产业。根据《战略性新兴产业分类(2018)》,公司所处行业属于“3新材料产业”之“3.2先进有色金属材料”之“3.2.9其他有色金属材料制造”之“3.2.9.2高性能靶材制造”。

作为各类薄膜工业化制备的关键材料,溅射靶材广泛应用于平面显示、集成电路、太阳能电池、新能源电池、低辐射玻璃等领域,各应用领域对溅射靶材的制备技术、产品性能等要求各异。

平面显示是溅射靶材需求规模最大的市场应用领域,溅射靶材主要应用于显示面板和触控屏的生产制造环节。镀膜是现代平面显示产业的基础环节,为保证大面积膜层的均匀性,提高生产效率和降低成本,几乎所有类型的平面显示器件都会使用大量溅射靶材来制备各类功能薄膜,电视、电脑、手机、车载显示屏等终端产品的很多性能如分辨率、透光率等均与溅射薄膜的性能密切相关。近年来平面显示产业链呈现出向中国大陆加速转移的趋势,国内平面显示领域溅射靶材仍存在较大的进口替代空间。

溅射靶材是制备半导体集成电路的核心材料之一,溅射靶材主要应用于晶圆制造和芯片封装环节。集成电路中每个单元器件内部由衬底、绝缘层、介质层、导体层及保护层等组成,其中介质层、导体层甚至保护层均需用到溅射镀膜工艺。自集成电路出现以来,集成电路产业一直遵循“一代装备、一代工艺、一代产品”的模式快速发展,近年来芯片集成度不断提高,芯片尺寸不断缩小,对制备集成电路的溅射靶材性能要求亦越来越高。

太阳能电池是溅射靶材未来发展潜力较大的应用领域之一,溅射靶材主要用于制备薄膜电池背电极以及HJT太阳能电池导体层。近年来,世界各国均加大力度扶持光伏产业,太阳能电池技术在全球范围内快速发展,从早期的单晶硅、多晶硅太阳能电池技术已发展到第三代太阳能技术—薄膜太阳能电池技术,溅射镀膜工艺是薄膜电池首选的制备方法。同时,为进一步提高光电转换效率和降低制造成本,HJT太阳能电池技术等新兴太阳能电池技术不断涌现,太阳能电池的大幅应用及推广将推动溅射靶材市场需求快速增长。

新能源电池处于新能源产业链的中游,是新能源产业链的核心环节。锂离子电池目前应用最为广泛,早期锂离子电池多采用生产工艺复杂、成本高的压延铝箔、铜箔作为正负极集流体。随着技术工艺的发展,电解铜箔以其生产工艺相对简单、效率高、成本低等优势逐步替代压延铜箔。

复合集流体是以PET等高分子材料膜层作为基膜,经过真空镀膜等工艺,将其双面堆积上铜、铝分子的复合材料,具有轻量化、高安全性、高能量密度、低成本等优势,未来将替代传统集流体,发展成为新能源电池行业的主流产品,符合新能源电池高能量密度、安全性、轻量化等发展趋势。

溅射靶材是复合铜箔、铝箔生产制备中的必备原材料,主要应用于磁控溅射过程中,其纯度要求一般在4N以上。

此外,溅射靶材亦可广泛应用于信息存储、玻璃镀膜、装饰镀膜、工模具镀膜等领域。相对于平面显示和集成电路领域而言,信息存储、玻璃镀膜、装饰镀膜等领域对溅射靶材纯度、晶粒晶向控制等方面的技术要求均较低,在满足产品品质及技术要求的前提下更关注成本、产能规模、供货稳定性及交期等。

2、公司所处的行业地位分析及其变化情况
公司是国内技术领先、规模较大的高性能溅射靶材生产企业之一,主要从事铜靶、铝靶、钼及钼合金靶、ITO靶和TCOM靶等多种尺寸和各类形态溅射靶材的研发、生产和销售。公司主要产品综合性能突出,纯度、致密度、晶粒度、绑定焊合率等多项核心技术指标已达到行业领先水平。

公司钼铌合金靶材、氧化铌靶、钼管靶材分别于2017年、2018年、2019年被认定为“广东省高新技术产品”,2019年公司旋转铜靶、旋转铝靶获得“2018年度中国新型显示产业链发展突出贡献奖”,2020年公司G10.5平面铜靶获得“2019年度中国新型显示产业链发展突出贡献奖”,2021年公司G8.5代平面铜靶材、大尺寸钼铌平面靶材被认定为“韶关市高新技术产品”,2023年公司TFT高纯铝旋转靶材被认定为“广东省名优高新技术产品”,平板显示用铜靶材被评为“2022年省级制造业单项冠军产品”,钼基合金靶材获得“2022年度中国新型显示产业链贡献奖创新突破奖”并被认定为“广东省名优高新技术产品”,2023年东莞欧莱TFT高纯铜靶材被认定为“广东省名优高新技术产品”。2021年公司被认定为国家级专精特新“小巨人”企业、中央财政支持第二批重点“小巨人”企业,2022年公司获得韶关市人民政府颁发的“韶关市政府质量奖”,2024年公司被韶关市人民政府评为“创新突围企业”,同年公司荣获维科杯·OFweek2024太阳能光伏行业“最具成长力企业”奖。子公司东莞欧莱2022年和2023年分别被广东省工业和信息化厅认定为“2022年创新型中小企业”、“广东省专精特新中小企业”。

公司坚持以技术研发为核心战略驱动力,不断投入研发资源用于技术创新和工艺改进,在溅射靶材关键核心技术领域持续突破创新,目前已形成创新性强、实用性高的核心技术体系,并广泛运用于主营业务产品中。在半导体显示领域,公司已实现G5、G6、G8.5、G8.6、G10.5、G11等世代线半导体显示用溅射靶材的量产供货,报告期内,公司溅射靶材运用于G8.5以上高世代产线半导体显示产品中的销售收入占半导体显示用溅射靶材销售收入的比例超过95%。公司铜靶、铝靶、钼及钼合金靶和ITO靶等主要产品已批量运用于京东方、华星光电、惠科、超视界、彩虹光电和深超光电等下游知名半导体显示面板厂商TFT-LCD产品中,并进一步开拓了在MiniLED和MicroLED等新型半导体显示产品中的应用。

3、报告期内新技术、新产业、新业态、新模式的发展情况和未来发展趋势(1)技术持续创新与突破
高性能溅射靶材行业的发展与下游平面显示、半导体集成电路、新能源电池、光伏等新兴产业的市场需求及技术革新密切相关,下游行业的持续发展升级对溅射靶材性能、技术均提出了更高要求。随着终端用户需求的不断扩展以及高性能薄膜材料与磁控溅射技术的蓬勃发展,溅射靶材正朝着高纯度(如99.9999%以上)、大尺寸(如12英寸以上)、高致密度、高溅射速率和高利用率等方向快速发展,综合性能将持续提升,并进一步拓展至复合铜箔、BIPV、航空航天材料等新型下游应用领域。此外,高硬度和耐磨性等高端需求的出现,也推动了新型复合靶材(如ITO靶材、稀土靶材)和陶瓷靶材(如氧化钛、氧化锌)的技术迭代,并在平板显示和光伏等领域广泛应用。

(2)产业应用场景不断拓展
随着5G、半导体集成电路、互联网、人工智能等产业的迅速发展,人类社会已从“万物互联”步入“万屏互联”、“万物显示”时代,新型显示成为创新领域最蓬勃发展的产业方向之一。近年来,电子光学、材料学、机械学等领域相关学科不断取得重大突破,OLED、MiniLED、MicroLED新型显示技术竞相发展,8K超高清、3D显示、柔性显示、透明显示等技术领域进步显著,正颠覆传统显示终端应用形态。这些新型显示应用场景的普及,正不断加快推动对高端显示靶材的需求。

此外,高性能溅射靶材的新兴应用拓展还包括3DNAND闪存、先进制程芯片的制造对高精度集成电路靶材的需求;ITO靶材、高霍尔迁移率靶材、无铟氧化物靶材等靶材在HJT太阳能电池薄膜制备中的应用;高温合金靶材和节能玻璃镀膜材料在航天器涂层和建筑光伏一体化(BIPV)中崭露头角等领域。

(3)产业链垂直整合
我国溅射靶材行业起步相对较晚,长期以来一直依赖进口。在国家相关政策的支持下,国内溅射靶材产业得到了快速发展,国产化速度也在加快。溅射靶材产业链中,上游金属提纯环节主要是将自然界含有杂质的金属进行提纯处理,从而满足靶材制造环节的生产需求,但本土相关厂商高纯度加工技术和规模化生产能力较低,金属纯度较低,大部分无法达到生产需求,因而在上游高纯金属原材料供给方面,国内靶材企业长期受制于日、美等高纯金属生厂商。

近年来,为满足高性能靶材生产企业降低原料成本,规模化生产需求,中国本土企业在超高纯原料的制备发展迅速,正逐步实现国产替代进口。以欧莱新材为代表的国内靶材企业也在积极布局向上游金属提纯环节延伸,实现产业链垂直整合,从而降低原材料进口依赖,优化成本结构与生产效率,推动企业向高附加值领域延伸,也为我国突破“卡脖子”技术、实现关键材料自主可控贡献自己的力量。

(四)核心技术与研发进展
1、核心技术及其先进性以及报告期内的变化情况
公司是国家级专精特新“小巨人”企业和国家级高新技术企业,自设立以来始终专注于高性能溅射靶材领域内核心技术及生产工艺的研发创新,通过长期技术积累形成了较强的自主创新能力,形成了独立完整的自主研发体系,主要产品铜靶、铝靶、钼及钼合金靶、ITO靶和TCOM靶等溅射靶材的核心技术均通过自主研发取得。公司在长期经营过程中结合自身经营特点形成了集基础研究、结构及配方设计、应用技术开发和技术产业化于一体的核心技术体系,核心技术涵盖了变形加工、热处理、晶粒细化、电子束焊接、粉末制备、靶材成型、烧结、机加工、绑定、清洗包装等溅射靶材生产的各个关键环节。

目前公司主要产品的核心技术均已成熟,处于大批量生产阶段,公司主要核心技术先进性及其在生产工艺中的应用情况如下:

序 号核心技 术名称技术先进性及具体表征涉及主要 生产环节技术来源专利情况
1高纯金 属成型? 高纯金属成型与微观结构控制技术是显示 面板用高纯金属溅射靶材长期稳定可靠的热轧、冷 轧、热处自主研发2项 (均为发
序 号核心技 术名称技术先进性及具体表征涉及主要 生产环节技术来源专利情况
 与微观 结构控 制技术关键保障技术之一。该技术基于对高纯金属 材料大尺寸产品成型过程中温度和应力应 变分布的深刻理解,通过高纯铜锭和铝锭预 处理、成型过程温度控制、加工方式和变形 量控制等,实现了任意位置和任意深度上晶 粒组织的均匀性、稳定性和所有批次产品的 一致性。同时,该技术突破了国内传统金属 加工行业加工温度高、尺寸形状精度差、产 品状态受工艺环境变化影响大的技术难题, 大幅提高溅射靶材的均匀性和稳定性,公司 G8.5旋转铜靶和旋转铝靶在国内首家通过 客户验证 ? 应用该技术制备的溅射靶材致密度高,不存 在气孔、疏松等影响溅射稳定性的结构缺 陷,晶粒尺寸呈正态分布,高纯铜靶晶粒尺 寸平均值≤70μm;高纯铝靶晶粒尺寸平均值 ≤90μm理、挤压 明专利)
2旋转靶 材结构 设计技 术? 旋转靶材结构设计技术通过靶材结构设计 技术、辅助结构材质选材处理和焊接工艺, 解决了传统焊接工艺以高热量使熔池区域 熔融实现焊接导致的熔池和热影响区组织 疏松、晶粒粗大、力学性能差等问题,有效 提高旋转靶的结构稳定性,是旋转靶应用稳 定性的关键保障技术。其中,靶材结构设计 根据高纯材料特性和溅射使用工艺要求,针 对性地进行研究与设计,有效提高旋转靶的 结构稳定性,保证其在磁控溅射的高温环境 中持续工作的稳定性;辅助结构材质选材处 理和焊接工艺中,公司进行了精密小区域高 性能焊接的深入研究,成功实现小深度小尺 寸高密封性精准焊接,能够解决厚度超过 10mm旋转靶和溅射镀膜设备的连接和密 封,生产至今不存在冷却水泄漏引起的腔室 污染或溅射异常失效情形 ? 应用该技术制备的溅射靶材结构尺寸形状 精度高、与溅射镀膜设备连接处的密封性 -4 好、具备较高的结构稳定性,能够在10 Pa 的真空环境下不变形、不泄漏焊接自主研发11项 (其中发 明专利4 项,实用 新型专利 7项)
3高纯低 氧金属 粉末制 备技术? 高纯低氧金属粉末制备技术采用定制的加 热设备及脱氧装置,内部设有特殊材质的, 一定间隔多层结构的粉体烧舟,以及特定设 计的气流通道,确保炉内粉体充分均匀接触 气氛,同时具有较佳温度均匀性,在特定温 度及气氛条件下实现脱氧等杂质异物的去 除及提纯,并能有效控制粉体团聚问题以及 后续制备溅射靶材时的晶粒长大问题,为后 续制备高品质溅射靶材奠定坚实基础 ? 应用该技术制备的金属粉末粉体性能更具粉末预处 理自主研发5项 (其中发 明专利4 项,实用 新型专利 1项)
序 号核心技 术名称技术先进性及具体表征涉及主要 生产环节技术来源专利情况
  优势,粉体纯度≥99.99%,粒度符合正态分 布D90<50μm,氧含量≤200ppm   
4大尺寸 坯锭的 冷等静 压技术? 大尺寸坯锭的冷等静压技术采用特殊组份 的弹性模具及自主设计工装夹具,在超高压 力下仍保持高弹性及耐磨性,通过合理设计 各阶段冷压参数,能够保证坯料在超高压力 的环境中均匀收缩、密度均匀一致、表面平 整光滑,有效避免坯料的脱层开裂问题,减 少二次加工余量,从而有效降低生产成本, 提高生产效率,为制备高品质大尺寸溅射靶 材提供有力保障 ? 应用该技术能够压制单节2.5-4m的方形或 管状坯料,坯料相对密度≥70%,坯料整体 弯曲变形量≤3mm冷等静压自主研发7项 (其中发 明专利3 项,实用 新型专利 4项)
5热等静 压包套 技术? 目前国内热等静压包套技术主要集中在航 空及特殊模具钢制造业,行业内靶材企业热 等静压包套模具通常采用外协加工制备,时 间周期长、包套模具内部真空度较低、成本 较高。同时,大尺寸热等静压包套模具普遍 存在弯曲变形大及泄露破裂问题,热等静压 良率较低。公司是行业内较早采用特殊材料 及结构自主制备高品质热等静压密封包套 的国产溅射靶材厂商之一,公司的热等静压 密封包套能够确保内部保持较高真空状态 -4 (真空度可达10 Pa),在热等静压过程中 有效消除溅射靶材内部的气孔及缺陷,确保 热等静压过程实现最大限度的收缩致密化, 有效提高内部材料纯度,并显著减少热等静 压密封包套开裂风险;同时,自主制备热等 静压包套能够有效降低生产成本、缩短交货 周期 ? 应用该技术制备的热等静压密封包套在较 -10 3 高真空状态漏率≤10 Pa?m/s,确保在热等 静压过程中实现最大限度的收缩,使内部材 料相对密度≥99.9%,能够有效控制热等静 压后溅射靶材的变形量,溅射靶材热等静压 良率≥99.5%致密化烧 结自主研发5项 (其中发 明专利3 项,实用 新型专利 2项)
6超高密 度烧结 技术? 公司将超高温气氛烧结与热等静压技术有 机结合,通过在高温气氛烧结的不同阶段温 度、压力、时间、气氛等参数的精密控制, 以及特制的包套材质及结构设计,确保在热 等静压特定的升温及压力条件参数下实现 材料内部气孔完全闭合消除。该技术解决了 行业内难熔金属及其合金靶材致密度难以 提升、晶粒粗大、纯度较低的核心难题,相 较于预先压制成型再热等静压的工艺,在产 品纯度、微观组织结构控制等方面均具备较 为明显的竞争优势致密化烧 结自主研发9项 (其中发 明专利5 项,实用 新型专利 4项)
序 号核心技 术名称技术先进性及具体表征涉及主要 生产环节技术来源专利情况
  ? 应用该技术制备的难熔类金属及合金靶材 组织均匀,纯度≥99.99%,相对密度≥ 99.9%,平均晶粒尺寸≤30μm   
7高纯纳 米 ITO 粉末制 备技术? 高纯纳米ITO粉末制备技术通过液体沉淀 与悬浮分散、高动能混合与分散技术以及粉 末球形雾化与干燥技术解决了纳米粉末易 团聚,混合粉末均匀性较差、流动性不佳等 问题,为后续制备高品质溅射靶材奠定坚实 基础 ? 应用该技术制备的ITO粉末形貌呈球形且 流动性好,粉末指标的稳定性和重现性好, 保障后续制备的溅射靶材纯度≥99.99%,相 对密度≥99.8%,平均晶粒尺寸≤5μm制粉、研 磨分散、 干燥造粒自主研发2项 (其中发 明专利1 项,实用 新型专利 1项)
8大尺寸 高密度 陶瓷靶 材的高 精度成 型技术? 在模压成型环节,大尺寸高密度陶瓷靶材的 高精度成型技术通过对成型模具和工装的 优化设计以及成型工艺的精细控制,解决了 大尺寸陶瓷靶材生坯成型时易出现夹层、气 孔、翘曲和扭曲变形问题,确保成型压制致 密,成型坯料均匀无缺陷,生坯相对密度高, 有利于溅射靶材致密度的提升 ? 在冷等静压环节,大尺寸高密度陶瓷靶材的 高精度成型技术应用超高压冷等静压机(工 作压力可达400MPa),通过优化成型模具 材质和结构的设计及压制曲线,解决了大尺 寸平面及旋转陶瓷靶材生坯冷等静压时常 见的偏心、扭曲变形、尺寸形状精度低、粉 料利用率低以及存在气孔和裂纹等缺陷的 问题 ? 应用该技术制备的靶材相对密度≥99.8%, 平面靶单片长度≥1,190mm,旋转靶单节长 度≥1,020mm模压成 型、冷等 静压自主研发8项 (其中发 明专利1 项,实用 新型专利 7项)
9大尺寸 高密度 陶瓷靶 材烧结 技术? 平面陶瓷板的高温烧结一般采用多层棚板 支撑叠放烧结,陶瓷管采用吊烧或者直接立 放在炉台上烧结;由于大尺寸坯料在炉膛内 不同部位的温度和气氛偏差较大,容易出现 密度不均匀、坯料变形和弯曲过大甚至开裂 等问题。大尺寸高密度陶瓷靶材烧结技术通 过定制化的烧结炉和烧结窑具材质与结构 设计以及独特的烧结曲线和气氛控制,解决 了上述大尺寸陶瓷靶材烧结时易开裂、易变 形、产品良率低等难题,能够降低产品所需 加工余量,提高材料利用率 ? 应用该技术制备的溅射靶材性能优异,相对 密度≥99.8%,平均晶粒尺寸≤5μm,电阻 -4 率≤1.5*10 Ω·cm,平面靶单片长度≥ 1,190mm,旋转靶单节长度≥1,020mm高温气氛 烧结自主研发2项 (其中发 明专利1 项,实用 新型专利 1项)
10大尺寸 靶材的? 大尺寸靶材的机加工技术针对不同材料在 加工区域应力应变的特性,解决机加工过程机加工自主研发11项 (均为实
序 号核心技 术名称技术先进性及具体表征涉及主要 生产环节技术来源专利情况
 机加工 技术中由于材料软、粘、脆导致的表面粗糙、崩 角、开裂问题,根据靶坯形制特点,进行基 准选择、加工定位和工艺设计,有效保障了 溅射靶材的尺寸形状精度和表面光洁度 ? 应用该技术制备的溅射靶材无应力变形、无 崩角、无裂纹,尺寸形状精度能够控制在 ±0.02mm  用新型专 利)
11大尺寸 靶材绑 定技术? 大尺寸靶材绑定技术能够有效解决不同膨 胀系数材料之间的有效粘合问题,所制备的 靶材绑定组件结构稳定,长期使用无变形, 溅射使用稳定可靠;同时,大尺寸靶材绑定 技术以靶材材料特性为基础,分析靶材焊合 绑定过程和溅射使用过程的动态变化规律, 能够显著缩短新靶材绑定工艺开发周期 ? 应用该技术制备的大尺寸平面靶材绑定焊 合率≥99%,旋转靶材绑定焊合率≥98%绑定自主研发28项 (其中发 明专利8 项,实用 新型专利 20项)
12靶材清 洗包装 技术? 靶材清洗包装技术通过对靶材表面吸附物 充分清除和靶材氧化污染防护,能够充分保 证溅射靶材表面清洁,防止靶材表面氧化, 通过对溅射靶材表面的状态控制,减少靶材 预溅射时间,抑制使用过程中的异常放电, 是靶材良好使用性能的关键保障技术之一 ? 应用该技术制备的靶材包装可靠性高,仓储 保质期间无明显氧化;靶材表面清洁无污 染,预溅射时间较短;靶材溅射稳定,使用 初期异常放电少清洗包装自主研发13项 (其中发 明专利1 项,实用 新型专利 12项)
公司高度重视知识产权管理,制定了《保密管理办法》《研发项目管理办法》《知识产权管理手册》等,并于2019年10月10日取得了《知识产权管理体系认证证书》,并于2022年10月通过复审。公司各项核心技术均已申请专利并获授权,公司与核心技术人员均已签署《保密、知识产权与不竞争协议》或《员工保密/禁业合同》,对核心技术人员在公司任职期间及离职后的保密、竞业限制等相关事项均进行了严格约定,有力地保障了公司核心技术的安全性。(未完)
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