苏大维格(300331):常州维普半导体设备有限公司评估报告（中水致远评报字[2025]第020837号）

时间：2025年11月06日 22:06:12 中财网

原标题:苏大维格:常州维普半导体设备有限公司评估报告（中水致远评报字[2025]第020837号）

本报告依据中国资产评估准则编制 苏州苏大维格科技集团股份有限公司拟收购股权 涉及的常州维普半导体设备有限公司 股东全部权益价值 资产评估报告 中水致远评报字[2025]第 020837号 （共1册，第1册） 常州维普半导体设备有限公司股东全部权益价值·资产评估报告
目 录
声 明 ............................................................................................................. 1
摘 要 ............................................................................................................. 2
正 文 ............................................................................................................. 5
一、委托人、被评估单位和其他资产评估报告使用人概况..................... 5 二、评估目的 ............................................................................................... 13
三、评估对象和评估范围 ........................................................................... 14
四、价值类型 ............................................................................................... 19
五、评估基准日 ........................................................................................... 19
六、评估依据 ............................................................................................... 20
七、评估方法 ............................................................................................... 24
八、收益法的具体评估方法应用 ............................................................... 25 九、市场法的具体评估方法应用 ............................................................... 27 十、评估程序实施过程和情况 ................................................................... 28 十一、评估假设 ........................................................................................... 31
十二、评估结论 ........................................................................................... 33
十三、特别事项说明 ................................................................................... 34
十四、资产评估报告使用限制说明 ........................................................... 38 十五、资产评估报告日 ............................................................................... 38
资产评估报告附件 ................................................................................... 40
常州维普半导体设备有限公司股东全部权益价值·资产评估报告
声 明
一、本资产评估报告依据财政部发布的资产评估基本准则和中国资
产评估协会发布的资产评估执业准则和职业道德准则编制。

二、委托人或者其他资产评估报告使用人应当按照法律、行政法规
规定和资产评估报告载明的使用范围使用资产评估报告；委托人或者其他资产评估报告使用人违反前述规定使用资产评估报告的，资产评估机构及其资产评估师不承担责任。

三、资产评估报告仅供委托人、资产评估委托合同中约定的其他资
产评估报告使用人和法律、行政法规规定的资产评估报告使用人使用；除此之外，其他任何机构和个人不能成为资产评估报告的使用人。

四、资产评估报告使用人应当正确理解和使用评估结论，评估结论
不等同于评估对象可实现价格，评估结论不应当被认为是对评估对象可实现价格的保证。

五、资产评估机构及其资产评估专业人员遵守法律、行政法规和资
产评估准则，坚持独立、客观、公正的原则，并对所出具的资产评估报告依法承担责任。

六、评估对象涉及的资产、负债清单及未来盈利预测由委托人、被
评估单位申报并经其采用签名、盖章或法律允许的其他方式确认；委托人和其他相关当事人依法对其提供资料的真实性、完整性、合法性负责。

七、本报告不具有产权证明的法律属性，不能作为产权证明文件。

八、资产评估报告使用人应当关注评估结论成立的假设前提、资产
评估报告特别事项说明和使用限制。



常州维普半导体设备有限公司股东全部权益价值·资产评估报告
苏州苏大维格科技集团股份有限公司拟收购股权
涉及的常州维普半导体设备有限公司
股东全部权益价值
资产评估报告

[2025] 020837
中水致远评报字 第 号
摘 要
中水致远资产评估有限公司接受苏州苏大维格科技集团股份有限
公司委托，对苏州苏大维格科技集团股份有限公司拟收购股权涉及的常州维普半导体设备有限公司股东全部权益于 2025年 6月 30日的市场价值进行评估。现将本资产评估报告的主要内容摘要如下：
一、评估目的：苏州苏大维格科技集团股份有限公司拟收购常州维
普半导体设备有限公司股权，中水致远资产评估有限公司接受苏州苏大维格科技集团股份有限公司的委托，对上述经济行为涉及的常州维普半导体设备有限公司股东全部权益于评估基准日的市场价值进行了评估，作为该经济行为的价值参考。

二、评估对象和评估范围：评估对象为常州维普半导体设备有限公
司股东全部权益市场价值，评估范围为常州维普半导体设备有限公司审计后申报的全部资产和负债。于评估基准日 2025年 6月 30日，常州维普半导体设备有限公司合并口径资产总额账面价值为 16,233.09万元，负债总额账面价值为 8,848.85万元，净资产（所有者权益）账面价值为7,384.24万元，其中归属于母公司股东权益账面价值 7,384.24万元。

三、价值类型：市场价值。

四、评估基准日：2025年 6月 30日。

五、评估方法：采用收益法和市场法两种评估方法，评估结论采用
收益法的测算结果。

序 号	名称	专利号/软件著作 权登记号	类型	申请日/开 发完成日	权利人
1	掩膜版支撑装置	202123153110.6	实用新型	2021/12/14	江苏维普光电科 技有限公司、无 锡迪思微电子有 限公司
2	掩模取放定位结构	202123318851.5	实用新型	2021/12/27
3	晶圆键合对准系统 1.0	2024SR0546875	软件著作权	2022/5/31	江苏维普光电科 技有限公司、中 国电子科技集团 公司第二研究所
4	晶圆边缘对准系统 1.0	2024SR0799958	软件著作权	2023/10/31

根据共有权利人之间的约定：双方对共有知识产权享有共同的权利，常州维普半导体设备有限公司股东全部权益价值·资产评估报告
承担共同的义务。双方均可自行使用知识产权，不必征得对方同意，但一方实施份额转让、权利转让、利用知识财产进行担保和进行许可等行为的，须征得对方同意。双方生产经营中使用共有知识产权所创造的收益归各自所有。本次评估未考虑上述产权瑕疵事项对评估结论的影响。

在使用本评估结论时，提请评估报告使用人关注报告正文中的评估
假设和限制条件、特别事项说明及其对评估结论的影响，并在使用本报告时给予充分考虑。

以上内容摘自资产评估报告正文，欲了解本评估业务的详细情况和
正确理解和使用评估结论，应当阅读资产评估报告正文。

常州维普半导体设备有限公司股东全部权益价值·资产评估报告
苏州苏大维格科技集团股份有限公司拟收购股权
涉及的常州维普半导体设备有限公司
股东全部权益价值
资产评估报告

中水致远评报字[2025]第020837号
正 文
苏州苏大维格科技集团股份有限公司：
中水致远资产评估有限公司接受贵公司的委托，按照有关法律、行
政法规和资产评估准则的规定，坚持独立、客观和公正的原则，采用收益法和市场法，按照必要的评估程序，对苏州苏大维格科技集团股份有限公司拟收购股权涉及的常州维普半导体设备有限公司股东全部权益于评估基准日 2025年 6月 30日的市场价值进行评估。

现将资产评估情况报告如下：
一、委托人、被评估单位和其他资产评估报告使用人概况
（一）委托人概况
公司名称：苏州苏大维格科技集团股份有限公司（以下简称“苏大
维格”）
统一社会信用代码：913200007325123786
证券代码：300331.SZ
法定代表人：朱志坚
注册资本：25,966.2286万元
公司类型：股份有限公司（上市）
成立日期：2001年 10月 25日
注册地址：中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏虹东路北钟南
街 478号；苏州工业园区新昌路 68号
常州维普半导体设备有限公司股东全部权益价值·资产评估报告
经营范围：数码光学技术产品的研发、制造、生产激光全息制品、
激光立体照排系统、激光包装材料生产线、包装材料、防伪技术产品、自动化控制、光学元器件、光学仪器、提供相关技术、软件的咨询服务。

经营本企业自产产品的出口业务和本企业所需的机械设备、零配件、原辅材料的进口业务。包装印刷制品，商标印刷。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）。

（二）被评估单位概况
1. 企业基本信息
公司名称：常州维普半导体设备有限公司（以下简称“维普半导体”） 统一社会信用代码：91320402MA1Y58HA9F
法定代表人：蒋开
注册资本：346.6326万元
公司类型：有限责任公司（自然人投资或控股）
成立日期：2019年 3月 28日
注册地址：常州市新北区华山路 18号
经营范围：半导体设备的研发、销售、技术咨询、技术服务；货物
或技术进出口（国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外）。

（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）一般项目：半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；电子测量仪器制造；电子测量仪器销售；软件开发；信息技术咨询服务；信息系统运行维护服务（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。

2．企业历史沿革
维普半导体曾用名为“常州煜辉半导体设备有限公司”，于 2019年
3月 28日在常州市天宁区市场监督管理局办理设立登记，注册资本为人民币 300.00万元。设立时，维普半导体股权结构如下：

股东名称	认缴出资额（万元）	认缴比例（%）	出资方式
蒋开	81.00	27.00	货币
蒋平	54.00	18.00	货币
刘建明	42.30	14.10	货币
刘庄	41.10	13.70	货币
张彦鹏	41.10	13.70	货币
金斌	40.50	13.50	货币
合 计	300.00	100.00	——

2019年 7月，维普半导体召开股东会并决议通过增加注册资本至
342.8571万元，新增注册资本 42.8571万元由新股东苏州工业园区智禹博弘投资合伙企业（有限合伙）以货币方式认缴出资，相关工商变更手续于 2019年 9月 3日办理完结。本次增资后，维普半导体股权结构如下：

股东名称	认缴出资额（万元）	认缴比例（%）	出资方式
蒋开	81.0000	23.6250	货币
蒋平	54.0000	15.7500	货币
刘建明	42.3000	12.3375	货币
刘庄	41.1000	11.9875	货币
张彦鹏	41.1000	11.9875	货币
金斌	40.5000	11.8125	货币
苏州工业园区智禹博弘投资合 伙企业（有限合伙）	42.8571	12.5000	货币
合 计	342.8571	100.0000	——

2019年 9月，维普半导体召开股东会并决议通过增加注册资本至
380.9523万元，新增注册资本 38.0952万元由新股东常州市地平线创业投资发展合伙企业（有限合伙）以货币方式认缴出资，同意股东蒋开将其持有的维普半导体 7.619万元出资额转让给常州市地平线创业投资发展合伙企业（有限合伙），相关工商变更手续于 2019年 10月 14日办理完结。本次变更后，维普半导体股权结构如下：

股东名称	认缴出资额（万元）	认缴比例（%）	出资方式
蒋开	73.3810	19.2625	货币
蒋平	54.0000	14.1750	货币
刘建明	42.3000	11.1038	货币
股东名称	认缴出资额（万元）	认缴比例（%）	出资方式
刘庄	41.1000	10.7888	货币
张彦鹏	41.1000	10.7888	货币
金斌	40.5000	10.6313	货币
苏州工业园区智禹博弘投资合 伙企业（有限合伙）	42.8571	11.2500	货币
常州市地平线创业投资发展合 伙企业（有限合伙）	45.7142	12.0000	货币
合 计	380.9523	100.0000	——

2020年 3月，维普半导体召开股东会并决议通过增加注册资本至
390.8795万元，新增注册资本 9.9272万元由苏州工业园区智禹博弘投资合伙企业（有限合伙）以资本公积转增股本的方式出资，相关工商变更手续于 2020年 3月 17日办理完结。本次增资后，维普半导体股权结构如下：

股东名称	认缴出资额（万元）	认缴比例（%）	出资方式
蒋开	73.3810	18.7733	货币
蒋平	54.0000	13.8150	货币
刘建明	42.3000	10.8217	货币
刘庄	41.1000	10.5147	货币
张彦鹏	41.1000	10.5147	货币
金斌	40.5000	10.3612	货币
苏州工业园区智禹博弘投资合 伙企业（有限合伙）	52.7843	13.5040	货币
常州市地平线创业投资发展合 伙企业（有限合伙）	45.7142	11.6952	货币
合 计	390.8795	100.0000	——

2020年 9月，维普半导体召开股东会并决议通过减少注册资本至
350.3795万元，减少的注册资本 40.50万元为股东金斌原认缴出资的40.50万元，相关工商变更手续于 2020年 12月 15日办理完结。本次减资后，维普半导体股权结构如下：

股东名称	认缴出资额（万元）	认缴比例（%）	出资方式
蒋开	73.3810	20.9433	货币
蒋平	54.0000	15.4119	货币
刘建明	42.3000	12.0726	货币
刘庄	41.1000	11.7301	货币
股东名称	认缴出资额（万元）	认缴比例（%）	出资方式
张彦鹏	41.1000	11.7301	货币
苏州工业园区智禹博弘投资合 伙企业（有限合伙）	52.7843	15.0649	货币
常州市地平线创业投资发展合 伙企业（有限合伙）	45.7142	13.0471	货币
合 计	350.3795	100.0000	——

2021年 3月，维普半导体召开股东会并决议通过减少注册资本至
296.3795万元，减少的注册资本 54.00万元为股东蒋平原认缴出资的54.00万元，相关工商变更手续于 2021年 6月 4日办理完结。本次减资后，维普半导体股权结构如下：

股东名称	认缴出资额（万元）	认缴比例（%）	出资方式
蒋开	73.3810	24.7591	货币
刘建明	42.3000	14.2722	货币
刘庄	41.1000	13.8674	货币
张彦鹏	41.1000	13.8674	货币
苏州工业园区智禹博弘投资合 伙企业（有限合伙）	52.7843	17.8097	货币
常州市地平线创业投资发展合 伙企业（有限合伙）	45.7142	15.4242	货币
合 计	296.3795	100.0000	——

2023年 3月，维普半导体召开股东会并同意股东苏州工业园区智禹
博弘投资合伙企业（有限合伙）将其持有的维普半导体 52.7843万元出资额转让给苏州丛蓉文容创业投资合伙企业（有限合伙），相关工商变更手续于 2023年 3月 8日办理完结。本次变更后，维普半导体股权结构如下：

股东名称	认缴出资额（万元）	认缴比例（%）	出资方式
蒋开	73.3810	24.7591	货币
刘建明	42.3000	14.2722	货币
刘庄	41.1000	13.8674	货币
张彦鹏	41.1000	13.8674	货币
苏州丛蓉文容创业投资合伙企 业（有限合伙）	52.7843	17.8097	货币
常州市地平线创业投资发展合 伙企业（有限合伙）	45.7142	15.4242	货币
合 计	296.3795	100.0000	——
股东名称	认缴出资额（万元）	认缴比例（%）	出资方式
蒋开	73.3810	22.2832	货币
刘建明	42.3000	12.8450	货币
刘庄	41.1000	12.4860	货币
张彦鹏	41.1000	12.4860	货币
苏州丛蓉文容创业投资合伙企 业（有限合伙）	52.7843	16.0287	货币
常州市地平线创业投资发展合 伙企业（有限合伙）	45.7142	13.8819	货币
深圳市红土一号私募股权投资 基金合伙企业（有限合伙）	26.3448	8.0000	货币
深圳市创新资本投资有限公司	6.5862	2.0000	货币
合 计	329.3105	100.0000	——

2024年 12月，维普半导体召开股东会并决议通过增加注册资本至
346.6326万元，其中新增注册资本 15.5898万元由新股东常州丛蓉创予管理合伙企业（有限合伙）以其持有的江苏维普光电科技有限公司 11.60%的股权认缴，新增注册资本 1.7323万元由深圳市创新资本投资有限公司和深圳市红土一号私募股权投资基金合伙企业（有限合伙）以维普半导体资本公积金转增股本方式认缴，相关工商变更手续于 2024年 12月 26日办理完结。本次增资后，维普半导体股权结构如下：

股东名称	认缴出资额（万元）	认缴比例（%）	出资方式
蒋开	73.3810	21.1697	货币
刘建明	42.3000	12.2031	货币
刘庄	41.1000	11.8569	货币
张彦鹏	41.1000	11.8569	货币
苏州丛蓉文容创业投资合伙企 业（有限合伙）	52.7843	15.2277	货币
常州市地平线创业投资发展合 伙企业（有限合伙）	45.7142	13.1882	货币
股东名称	认缴出资额（万元）	认缴比例（%）	出资方式
深圳市红土一号私募股权投资 基金合伙企业（有限合伙）	27.7306	8.0000	货币
深圳市创新资本投资有限公司	6.9327	2.0000	货币
常州丛蓉创予管理合伙企业 （有限合伙）	15.5898	4.4975	股权
合 计	346.6326	100.0000	——

截止评估基准日 2025年 6月 30日，维普半导体股权结构如下：

股东名称	认缴出资额 （万元）	实缴出资额 （万元）	实缴比例 （%）
蒋开	73.3810	73.3810	21.1697
刘建明	42.3000	42.3000	12.2031
刘庄	41.1000	41.1000	11.8569
张彦鹏	41.1000	41.1000	11.8569
苏州丛蓉文容创业投资合伙企业（有限合伙）	52.7843	52.7843	15.2277
常州市地平线创业投资发展合伙企业（有限合伙）	45.7142	7.6190	2.1980
深圳市红土一号私募股权投资基金合伙企业（有 限合伙）	27.7306	27.7306	8.0000
深圳市创新资本投资有限公司	6.9327	6.9327	2.0000
常州丛蓉创予管理合伙企业（有限合伙）	15.5898	15.5898	4.4975
合 计	346.6326	308.5374	89.0099

2025年 7月，维普半导体召开股东会并同意股东苏州丛蓉文容创业
投资合伙企业（有限合伙）将其持有的维普半导体 14.8192万元出资额转让给新股东苏州丛蓉禾智创业投资合伙企业（有限合伙），相关工商变更手续于 2025年 8月 21日办理完结。

2025年 8月 25日，常州市地平线创业投资发展合伙企业（有限合
伙）以货币资金 38.0952万元缴足其认缴维普半导体注册资本。

截止评估报告日 2025年 11月 5日，维普半导体股权结构如下：

股东名称	认缴出资额 （万元）	实缴出资额 （万元）	实缴比例 （%）
蒋开	73.3810	73.3810	21.1697
刘建明	42.3000	42.3000	12.2031
刘庄	41.1000	41.1000	11.8569
张彦鹏	41.1000	41.1000	11.8569
苏州丛蓉文容创业投资合伙企业（有限合伙）	37.9651	37.9651	10.9525
常州市地平线创业投资发展合伙企业（有限合伙）	45.7142	45.7142	13.1881
股东名称	认缴出资额 （万元）	实缴出资额 （万元）	实缴比例 （%）
深圳市红土一号私募股权投资基金合伙企业（有 限合伙）	27.7306	27.7306	8.0000
深圳市创新资本投资有限公司	6.9327	6.9327	2.0000
常州丛蓉创予管理合伙企业（有限合伙）	15.5898	15.5898	4.4975
苏州丛蓉禾智创业投资合伙企业（有限合伙）	14.8192	14.8192	4.2752
合 计	346.6326	346.6326	100.0000

3．企业主营业务和经营情况 （1）主营业务 维普半导体主营半导体制造领域自动光学检测设备的研发、生产和 销售。维普半导体的解决方案可满足苛刻的半导体晶圆、半导体掩模制 造过程中的缺陷检测，产品应用于泛半导体、CMOS图像传感器、MEMS 和 RF领域，服务于行业领先的 FAB、IDM、OSAT和代工厂。 （2）组织架构图 （3）近年财务和经营情况
资产、负债及经营业绩（母公司口径）
金额单位：人民币万元

项目	2024年 12月 31日	2025年 6月 30日
总资产	9,471.36	11,812.05
负债	2,122.52	4,160.30
净资产	7,348.84	7,651.75
项目	2024年度	2025年 1-6月
营业收入	1,428.54	713.81
营业利润	229.95	-358.14
净利润	302.91	-202.17
审计机构	容诚会计师事务所（特殊普通合伙）
审计报告号	[2025]215Z0790 容诚审字 号
审计意见	标准无保留意见

资产、负债及经营业绩（合并口径）
金额单位：人民币万元

项 目	2024年 12月 31日	2025年 6月 30日
总资产	14,206.64	16,198.11
负债	6,462.72	8,848.85
净资产	7,743.92	7,349.26
归母净资产	7,699.86	7,349.26
项 目	2024年度	2025年 1-6月
营业收入	6,418.60	1,508.05
营业利润	2,003.72	-623.59
净利润	1,786.48	-394.66
归母净利润	1,555.57	-350.60
审计机构	容诚会计师事务所（特殊普通合伙）
审计报告号	容诚审字[2025]215Z0790号
审计意见	标准无保留意见

注：历史纳入维普半导体合并范围的控股孙公司常州奥创医疗科技有限公司已于 2025年 6月 11日清算注销，维普微电子技术（西安）有限公司已于 2025年 8月20日清算注销。

（三）委托人与被评估单位之间的关系
委托人苏大维格与被评估单位维普半导体无产权关系。

（四）资产评估委托合同约定的其他资产评估报告使用人
资产评估委托合同未约定其他资产评估报告使用人。

除国家法律法规另有规定外，任何未经资产评估机构和委托人确认
的机构或个人不能由于得到评估报告而成为资产评估报告使用人。

二、评估目的
苏大维格拟收购维普半导体股权，中水致远资产评估有限公司接受
苏大维格的委托，对上述经济行为涉及的维普半导体股东全部权益于评

项目	账面价值（人民币万元）
流动资产	15,152.27
非流动资产	1,045.85
其中：固定资产	203.13
使用权资产	115.55
长期待摊费用	344.21
递延所得税资产	382.95
资产总额	16,198.11
流动负债	8,742.58
非流动负债	106.26
负债总额	8,848.85
净资产（所有者权益）	7,349.26
归属于母公司股东权益	7,349.26

评估范围内全部资产及负债的具体情况以维普半导体提供的评估
申报表为准。

以上委托评估对象和评估范围与经济行为涉及的评估对象和评估
范围一致，容诚会计师事务所（特殊普通合伙）已对纳入本次评估范围的资产、负债进行审计， 并出具了标准无保留意见审计报告。本次评估

序号	被投资单位名称	成立日期	持股比例
			直接	间接
1	江苏维普光电科技有限公司（简称“江苏维普”）	2016-03-31	100%
2	维普微电子技术（西安）有限公司（简称“西安维普”）*注	2021-11-15		100%
3	西安维纳芯半导体技术有限公司（简称“维纳芯”）	2024-07-15	100%

注：维普微电子技术（西安）有限公司已于 2025年 8月 20日清算注销。

（三）评估范围内主要资产概况
1. 存货：包括原材料、在产品（自制半成品）和发出商品。原材料
主要为企业外购用于生产的相机、运动平台、机械手、激光器等材料。

在产品（自制半成品）主要为产线上正在生产的各种型号检测设备。发出商品主要为已经发往客户的光罩缺陷检测设备。

2. 固定资产—设备类资产：包括机器设备、车辆和电子设备，其中
机器设备主要为手持式探针三坐标测量仪、数控机床、ALIO XYR精密位移平台、奥林巴斯光学仪器；主要分布在维普半导体车间。委估车辆为办公用轿车；委估电子设备分布在各职能科室，主要为电脑、空调、复印机、办公家具等。截止评估基准日，委估设备均在正常使用，维护保养状况一般，工作环境一般。

3. 使用权资产：为 3笔长期租赁的生产经营用办公室，具体如下：

序号	租赁人	位置	出租人	租赁面积㎡	租赁期限
1	江苏维 普	常州市新北区秦岭路 6 号锦云大厦	常州三晶世界科技 产业发展有限公司	2,686.00	2023/11/1- 2028/10/31
2	江苏维 普	常州市新北区秦岭路 6 号锦云大厦	常州三晶世界科技 产业发展有限公司	260.00	2025/5/1- 2028/10/31
3	维纳芯	联声大厦 602号	西安永协商业运营 管理有限公司	290.70	2024/7/1- 2026/6/30

4. 长期待摊费用：为租赁厂房发生的装修改造费用。

（四）企业申报的账面未记录的无形资产的类型、数量
维普半导体申报的账面未记录的无形资产包括 49项专利权（其中 2
项实用新型专利为共有产权）、15项软件著作权（其中2项为共有产权）、

序 号	发明名称	专利 类型	法律 状态	申请日	专利号	权利人
1	一种基于弱分割信息的生物 荧光目标计数方法	发明 专利	授权	2020/4/9	CN20201027 2074.6	维普半导体
2	一种真菌荧光检测方法	发明 专利	授权	2020/12/31	CN20201162 3620.2	维普半导体
3	光学成像系统的装调方法	发明 专利	授权	2020/12/31	CN20201163 1214.0	维普半导体
4	一种掩模表面颗粒缺陷检测 方法	发明 专利	授权	2021/8/5	CN20211089 5622.5	维普半导体
5	一种基于自适应网格的荧光 暗场自动对焦方法	发明 专利	授权	2021/12/29	CN20211163 2584.0	维普半导体
6	一种掩模版玻璃区表面颗粒 检测方法	发明 专利	授权	2025/1/14	CN20251005 4384.3	维普半导体
7	一种用于掩膜版缺陷检测的 掩膜版标定方法	发明 专利	授权	2025/1/24	CN20251011 4126.X	维普半导体
8	一种用于半导体掩膜拐角缺 陷的检测方法	发明 专利	授权	2025/1/30	CN20251012 7092.8	维普半导体
9	基于 GPU的掩膜版和晶圆 缺陷检测方法	发明 专利	授权	2016/7/6	CN20161053 0681.1	江苏维普
10	GPU 基于 与网栅快速压缩 掩膜版和晶圆影像数据的方 法	发明 专利	授权	2016/7/6	CN20161053 0709.1	江苏维普
11	基于双光路的快速扫描装置 及应用其的扫描方法	发明 专利	授权	2017/12/4	CN20171126 2463.5	江苏维普
12	基于图像灰度值的掩膜版光 学缺陷检测方法	发明 专利	授权	2017/12/4	CN20171126 2401.4	江苏维普
13	一种掩膜版表面缺陷检测方 法	发明 专利	授权	2017/12/4	CN20171126 0449.1	江苏维普
14	半导体缺陷检测/光刻中的正 交性补偿方法及补偿系统	发明 专利	授权	2017/12/6	CN20171127 3529.0	江苏维普
15	掩模版和晶圆缺陷检测正交 性补偿方法	发明 专利	授权	2017/12/6	CN20171127 3504.0	江苏维普
16	一种基于 GPU的边缘检测 图像二值化方法	发明 专利	授权	2016/12/14	CN20161115 2692.7	江苏维普
17	消除设计版图公差的缺陷检 测方法及装置	发明 专利	授权	2019/3/4	CN20191015 9105.4	江苏维普
18	掩模夹具（见注3）	发明 专利	授权	2021/12/30	CN20211164 6171.8	江苏维普
序 号	发明名称	专利 类型	法律 状态	申请日	专利号	权利人
19	显微镜聚焦仪用安装支架	实用 新型	授权	2019/11/18	CN20192198 7575.1	维普半导体
20	光学检测装置	实用 新型	授权	2019/11/18	CN20192199 3236.4	维普半导体
21	载玻片治具	实用 新型	授权	2020/1/3	CN20202000 6935.1	维普半导体
22	用于固定载玻片治具的夹具	实用 新型	授权	2020/1/3	CN20202001 1438.0	维普半导体
23	物镜升降自动调节装置	实用 新型	授权	2020/1/4	CN20202001 2376.5	维普半导体
24	用于生物医疗检测的两轴运 动平台	实用 新型	授权	2020/1/4	CN20202000 8250.0	维普半导体
25	用于生物样片荧光检测的双 激发光源结构	实用 新型	授权	2020/4/9	CN20202051 3841.3	维普半导体
26	照明装置	实用 新型	授权	2020/12/28	CN20202321 6836.5	维普半导体
27	可旋转相机的光学测量装置	实用 新型	授权	2020/12/28	CN20202323 3332.4	维普半导体
28	光学模组后焦距调整固定结 构	实用 新型	授权	2020/12/28	CN20202323 3046.8	维普半导体
29	载玻片夹具	实用 新型	授权	2021/12/27	CN20212332 4730.1	维普半导体
30	一种掩模安全交互传输结构	实用 新型	授权	2024/5/13	CN20242102 6145.4	维普半导体
31	光路自动切换装置	实用 新型	授权	2019/3/4	CN20192027 1743.0	江苏维普
32	基于楔形推动的升降装置	实用 新型	授权	2019/8/16	CN20192133 1549.3	江苏维普
33	平板玻璃检测机	实用 新型	授权	2019/9/11	CN20192151 7165.0	江苏维普
34	明暗场切换光学模组	实用 新型	授权	2019/12/4	CN20192215 0175.1	江苏维普
35	掩膜版检测夹具	实用 新型	授权	2020/3/4	CN20202025 4564.9	江苏维普
36	适用线阵相机暗场检测的激 光线光源	实用 新型	授权	2021/7/1	CN20212148 4508.5	江苏维普
37	掩膜版缺陷检查装置	实用 新型	授权	2021/7/30	CN20212177 6982.5	江苏维普
38	掩膜版支撑装置	实用 新型	授权	2021/12/14	CN20212315 3110.6	江苏维普 光，无锡迪 思微电子有 限公司
39	掩膜及晶圆检测夹具	实用 新型	授权	2021/12/21	CN20212323 1015.3	江苏维普
40	掩模取放定位结构	实用 新型	授权	2021/12/27	CN20212331 8851.5	江苏维普， 无锡迪思微 电子有限公 司
41	晶圆片柔性理片装置	实用 新型	授权	2023/12/25	CN20232356 6776.3	江苏维普
序 号	发明名称	专利 类型	法律 状态	申请日	专利号	权利人
42	一种晶圆片盒切换装置	实用 新型	授权	2023/12/29	CN20232365 9504.8	江苏维普
43	适用于晶圆方片的预对准装 置	实用 新型	授权	2023/12/30	CN20232366 3726.7	江苏维普
44	一种机械手执行部件	实用 新型	授权	2024/3/21	CN20242056 9146.7	江苏维普
45	掩膜版检测光学系统	实用 新型	授权	2024/9/5	CN20242218 4068.1	江苏维普
46	AC- 生物样本检测仪（ 100X80 ）	外观 设计	授权	2020/8/25	CN20203049 0136.1	维普半导体
47	半导体光学缺陷检测仪 （STORM3000系列）	外观 设计	授权	2024/5/6	CN20243026 0875.X	维普半导体
48	WP-YNT- 样片检测仪（ 1000 ）	外观 设计	授权	2018/8/1	CN20183041 9389.2	江苏维普
49	半导体光学缺陷检测仪 （WP-STORM-2000）	外观 设计	授权	2018/8/1	CN20183041 9388.8	江苏维普

2. 软件著作权：共 15项软件著作权，其中 2项为江苏维普和中国（未完）