至纯科技(603690):国泰海通证券股份有限公司关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司2025年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见
关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司 2025年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见 国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐机构”）作为上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“至纯科技”或“公司”）的持续督导机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 1号——规范运作》等相关规定，对公司 2025年度募集资金存放与使用情况进行了审慎核查，具体情况如下： 一、募集资金基本情况 （一）实际募集资金金额、资金到位时间 经中国证券监督管理委员会证监许可[2020]3020号文《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司非公开发行股票的批复》，公司非公开发行人民币普通股（A股）4,774.97万股，每股面值人民币 1元，每股发行价格人民币 28.79元，募集资金总额为 137,471.27万元，扣除承销费和保荐费 1,900万元（含增值税）后，募集资金实际到账金额为人民币 135,571.27万元。本次募集资金总额为137,471.27万元，扣除各项不含税发行费用人民币 2,018.47万元后，募集资金净额为人民币 135,452.81万元。上述募集资金到位情况经众华会计师事务所（特殊普通合伙）验证，并出具了众会字（2020）第 8380号验资报告。 （二）募集资金本年度使用金额及年末余额 2025年，公司已使用募集资金 21,477.81万元。截至 2025年 12月 31日，公司募集资金使用及结存情况如下： 单位：万元
二、募集资金管理情况 （一）募集资金的管理情况 为规范募集资金的管理和使用，提高资金使用效率和效益，保护投资者利益，公司根据《公司法》《证券法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所股票上市规则（2025年 4月修订）》及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 1号——规范运作（2025年 5月修订）》等有关法律、法规和规范性文件的规定，结合公司实际情况，公司制定了《上海至纯洁净系统科技股份有限公司募集资金管理办法》（以下简称《管理办法》）。根据《管理办法》，公司对募集资金采用专户存储制度，在银行设立募集资金专户，并连同保荐机构分别与兴业银行股份有限公司上海市南支行签订了《募集资金专户存储三方监管协议》，明确了各2 方的权利和义务。三方监管协议与上海证券交易所三方监管协议范本不存在重大差异，公司在使用募集资金时已经严格遵照履行，以便于募集资金的管理和使用以及对其使用情况进行监督，保证专款专用。 （二）募集资金专户存储情况 截至 2025年 12月 31日，募集资金具体存放情况如下： 单位：万元
注 2：公司于 2022年 4月 12日公告，经公司第四届董事会第十六次会议、第四届监事会第十五次会议审议通过将本次发行“光电子材料及器件制造基地建设项目”的实施主体由天津波汇、科谱半导体两个实施主体变更为由天津波汇实施，该募投项目的实施内容、实施方案均保持不变。变更后募集资金存放于上海农村商业银行股份有限公司张江科技支行-天3 津波汇账户中。科谱半导体后续已于 2022年 12月完成出售。 三、本年度募集资金实际使用情况 （一）募集资金投资项目（以下简称“募投项目”）的资金使用情况 募集资金实际使用情况详见附表 1《募集资金使用情况对照表》。 （二）用募集资金置换已投入募投项目的自筹资金情况 本年度，公司不存在用募集资金置换已投入募投项目的自筹资金的情况。 （三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况 2024年 10月 29日公司召开第五届董事会第九次会议及第五届监事会第八次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意将闲置募集资金中不超过人民币 29,000.00万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过 12个月。截至 2025年 10月 28日，公司已将用于暂时补充流动资金的募集资金 29,000.00万元全部归还至公司募集资金专户。 公司于 2025年 10月 30日分别召开第五届董事会第十五次会议及第五届监事会第十三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意将闲置募集资金中不超过人民币 8,000.00万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过 12个月。截至 2025年 12月 31日，公司已陆续归还 350万元至公司募集资金专户，尚未归还暂时补充流动资金金额为 7,650.00万元。 （四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况 本年度，公司不存在对闲置募集资金进行现金管理的情况。 （五）超募资金使用情况 公司不存在超募资金使用的情况。 4 （六）节余募集资金使用情况 公司不存在节余募集资金使用的情况。 （七）募集资金使用的其他情况 公司不存在募集资金使用的其他情况。 四、变更募集资金投资项目的资金使用情况 2023年 12月 7日召开第四届董事会第四十二次会议、第四届监事会第三十八次会议审议通过《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的议案》。公司结合 2020年非公开发行股份募集资金投资项目的进度情况，将募投项目“半导体湿法清洗设备扩产项目”节余的募集资金永久补充流动资金；将募投项目“半导体晶圆再生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”。该募投项目变更事项已经 2023年第三次临时股东大会审议通过。具体变更情况详见附表 2。 报告期内，公司不存在变更募集资金投资项目的情况，不存在募集资金投资项目已对外转让或置换的情况。 五、募集资金使用及披露中存在的问题及整改措施 公司已按《上市公司募集资金监管规则》及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 1号——规范运作》等相关法律法规的规定及时、真实、准确、完整地披露了公司募集资金的存放及实际使用情况，不存在募集资金管理违规的情况。 公司对募集资金的投向和进展情况均如实履行了披露义务，公司募集资金使用及披露不存在重大问题。 六、保荐机构的核查意见 经查阅公司募集资金管理使用制度、募集资金专户银行对账单和募集资金使用明细账，对大额募集资金支付进行凭证抽查，依据公司年审会计师出具的募集资金存放、管理与使用情况鉴证报告，保荐机构认为，公司 2025年度募集资金存放和使用情况总体符合《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资5 金监管规则》《上海证券交易所股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 1号——规范运作》《上海至纯洁净系统科技股份有限公司募集资金管理办法》等法律法规和制度文件的规定，对募集资金进行了专户存储和专项使用，并及时履行了相关信息披露义务，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集资金的情形，发行人募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。 综上，保荐机构对公司 2025年度募集资金存放和使用情况无异议。 （以下无正文） 6 7 附表 1：募集资金使用情况对照表 编制单位：上海至纯洁净系统科技股份有限公司 单位：万元
注 2：“截至期末承诺投入金额”以最近一次已披露募集资金投资计划为依据确定。 注 3：“本年度实现的效益”的计算口径、计算方法应与承诺效益的计算口径、计算方法一致。 注 4：2023年 12月 7日经公司第四届董事会第四十二次会议审议通过，“半导体晶圆再生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”，调整后的 投资总额为截止至变更时实际发生的投资金额。 注 5：“半导体湿法清洗设备扩产项目”系实施主体江苏启微新增产能项目，无法单独核算效益。目前该项目已建设完毕，但由于 2022年后国际贸易摩擦和地缘政治等因素，公司 重点服务的下游领域扩产计划推迟，导致公司半导体湿法清洗设备新签订单及设备交付进度不达预期，项目实施主体江苏启微总体收入及利润均未达到预期水平。 注 6：“半导体湿法清洗设备扩产项目”和“光电子材料及器件制造基地建设项目”截至期末累计投入金额与承诺投入金额的差额与剩余募集资金永久补充流动资金之间的差异为利息 收入所致。 注 7：由于项目变更，调整后的投资总额合计与募集资金净额 135,571.27万元的差异为利息收入所致。 注 8：不考虑剩余募集资金永久补流金额 8,846.65万元的影响。 10 附表 2：变更募集资金投资项目情况表 编制单位：上海至纯洁净系统科技股份有限公司 单位：万元
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